山梨大学   工学部   助手

1993年4月 - 2001年6月

日本学術振興会　   特別研究員

1991年4月 - 1993年3月

自然科学一般 / 半導体、光物性、原子物理  / 原子・分子・量子エレクトロニクス

ナノテク・材料 / グリーンサステイナブルケミストリー、環境化学  / グリーン・環境化学

低速イオンとファンデルワールス薄膜固体の衝突反応に関する基礎的研究

1997年7月 - 1999年3月

植物染料五倍子染色におけるバナジウム先媒染の最適条件 査読

上垣　良信,渡辺　誠,佐藤　哲也,小泉　雅子,長谷川　達也

日本繊維製品消費科学会   55 ( 4 )   270 - 275   2014年4月

Spontaneous formation of aluminum germanate on Ge(100) by atomic layer deposition with trimethylaluminum and microwave-generated atomic oxygen. 査読 重要な業績

Yukio Fukuda, Hiroki Ishizaki, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, Toshiyuki Takamatsu, Hiroshi Okamoto, and Hidehumi Narita

APPLIED PHYSICS LETTERS   102 ( 13 )   132904-1 - 132904-4   2013年4月( ISSN：0003-6951  eISSN：1077-3118 )

染色技術へのバナッジウムの利用 査読

上垣良信,渡辺誠,歌田誠,佐藤哲也,外川雅子,長谷川達也

繊維学会誌   69 ( 3 )   55 - 59   2013年3月

Effects of postdeposition annealing ambient on hysteresis in an Al2O3/GeO2 gate-dielectric stack on Ge 査読 重要な業績

Yukio Fukuda,Yohei Otani,Tetsuya Sato,Hiroshi Toyota,Toshiro Ono

J. App. Phys   110   26108   2011年6月

Formation of Al2O3 Film on Si Substrate by Microwave Generated Remote Plasma Assisted Atomic Layer Deposition Technique 査読 重要な業績

H. Ishizaki,M. Iiida,Y. Otani,Y. Fukuda,T. Sato,T. Takamatsu,T.Ono

ECS Trans.   33 ( 6 )   227 - 233   2010年10月( ISSN：1938-5862 )

メタン凝縮層からの炭素薄膜極低温合成　（DLC特集） 重要な業績

佐藤哲也,伊東佑将,森田直樹,井草裕志,小林憲明,中川清和,佐藤昇司

New Diamond   96 ( 1 )   29 - 32   2010年1月

Low-Temperature Formation of High-Quality GeO2 Interlayer for High-κ Gate Dielectrics by Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Techniques. 査読 重要な業績

Yukio Fukuda,Yuya Yazaki,Yohei Otani,Tetsuya Sato,Hiroshi Toyota,Toshiro Ono

IEEE Trans. Electron Devices   57 ( 1 )   282 - 287   2010年1月

Synthesis of Amorphous Germane by Tunneling Reactions of Hydrogen Atoms with van der Waals GeH4 Films at Cryogenic Temperatures 査読 重要な業績

Norihito Sogoshi,Shoji Sato,Hideaki Takashima,Tetsuya Sato,Kenzo Hiraoka

Jpn. J. of Appl. Phys.   48   115506-1 - 115506-6   2009年11月

Synthesis of Polysilanes by Tunneling Reactions of H Atoms with Solid Si2H6 at 10K 査読 重要な業績

Norihito Sogoshi,Shoji Sato,Hideaki Takashima,Tetsuya Sato,Kenzo Hiraoka

Chemistry Letters   38 ( 10 )   986 - 987   2009年10月

Microstructure difference of Ni induced poly-crystallized SiGe by changing the annealing atmosphere 査読 重要な業績

Junji Yamanaka,Tadashi Horie,Minoru Mitsui,Keisuke Arimoto,Kiyokazu Nakagawa,Tetsuya Sato,Kentarou Sawano,Yasuhiro Shiraki,Tomokazu Moritani,Minoru Doi

Thin Solid Films   517   232 - 234   2008年11月

Characterizations of Polycrystalline SiGe Films on SiO2 Grown by Gas-Source Molecular Beam Deposition 査読 重要な業績

M. Mitsui,M. Tamoto ,K. Arimoto,J. Yamanaka,K. Nakagawa,T. Sato,N. Usami,K. Sawano,Y. Shiraki

Thin Solid Films   517   254 - 256   2008年11月

Effects of Electron-Cyclotron-Resonance Oxygen Plasma Irradiation on Properties of Insulator/Ge-Semiconductor Interfaces Prior to Germanium Nitride Formation 査読 重要な業績

Yohei OTANI,Yukio FUKUDA,Tetsuya SATO,Kiyokazu NAKAGAWA,Hiroshi TOYOTA,Toshiro ONO

Japanese Journal of Applied Physics   47   7553 - 7555   2008年9月

Formation of microcrystalline Silicon and SiNx filmsby electron- beam-induced-chemical vapor deposition at ultra low temperature 査読 重要な業績

T.Sato, M. Mitsui, J. Yamanak, K. Nakagawa, Y. oki, S. Shouji, C. Miyata

Thin Solid films   508 ( 1-2 )   61 - 64   2006年6月( ISSN：0040-6090 )

Synthesis of Microcrystalline Silicon Films by Low-Energy Electron- Beam- Induced Deposition at Cryogenic Temperature 査読 重要な業績

T. Sato, K.Nakagawa, Y. Aoki, S.Sato

Material Research Society Symposium Proc. 832, F10.19. (Boston)   832   F10.1   2004年12月

8KにおけるAr、Kr、およびXe薄膜の400eV　He+イオン衝撃による二次イオンのTOF解析 査読 重要な業績

渡辺誠,江口大介,佐藤哲也,平岡賢三

J. Mass Spectrom. Soc. Jpn.   50   350 - 352   2002年11月

Secondary ions produced by 400eV He+ ion impact on solid films composed of binary mixtures of Ar/Xe, Ar/N2, and Ar/O2 at 7K 査読

K.Hiraoka,R.Hamamoto,K.Mori,M.Watanabe,T.Sato

Int. J. Mass Spectrom   218   173 - 180   2002年11月

Study on the tunneling reaction of H atoms with a solid thin film of C3H6 at 10K 査読 重要な業績

K.Hiraoka,T.Sato,S.Sato,T.Takayama,T.Yokoyama,N.Sogoshi,S.Kitagawa

J. Phys. Chem. B   106 ( 19 )   497s4 - 4978   2002年10月( ISSN：1520-6106 )

Secondary ions produced by 400eV He+ ion impact on N2 and O2 thin films at 8 K 査読 重要な業績

K.Hiraoka,T.Sato,M.Watanabe,K.Mori,M.Kimura

J. Chem. Phys.   117   6252 - 6258   2002年10月

Formation of formaldehyde by the tunneling reaction of H with solid CO at 10 K revisited 査読 重要な業績

K.Hiraoka,T.Sato,S.Sato,N.Sogoshi,T.Yokoyama

Astrophys. J.   577   265 - 270   2002年9月

Time-of-flight studies of secondary ions produced by 400 eV He+ ion impact on Ar, Kr, and Xe thin films at 8 K 査読

K.Hiraoka, M.Watanabe, D.Eguchi, S.Okazaki, T.Sato

Rapid Commun. Mass Spectrom.   16   1016 - 1022   2002年5月

400eVのHe+イオンによる8Kの窒素膜および酸素膜からの二次イオン生成 査読

渡辺誠,佐藤哲也,平岡賢三,森邦彦

J. Mass Sopectrom. Soc. Jpn   50   72 - 74   2002年4月

Formation of Amorphous Silicon by the Low-Temperature Tunneling Reaction of H Atoms with Solid Thin Film of SiH4 at 10K (共著) 査読 重要な業績

K.Hiraoka,他7人

Physical Chemistry   105 ( 29 )   6950 - 6955   2001年9月

Tunneling Reactions in Interstellar Ices 査読 重要な業績

K.Hiraoka,T.Sato,T.Takayama

Science   292 ( 4 )   869 - 870   2001年9月

星間物質の分析 招待 査読 重要な業績

佐藤哲也

ぶんせき   2   83 - 88   2001年2月

Study of the Reactions of H and D Atoms with Solid C2H2, C2H4, and C2H6 at Cryogenic Temperatures 査読 重要な業績

K.Hiraoka,T.Takayama,A.Euchi,H.Handa,T.Sato

Astrophysical Journal   532   1029 - 1037   2000年5月

Secondary Ions Produced by Low-energy Impact of He+ and Ne+ ions onvan der Waals Thin Films 査読 重要な業績

T.Sato,A.Shimizu,K.Nakamura,and K.Hiraoka

Rapid Communications in Mass Spectrometry   11   1139 - 1143   1997年7月

Explosive Vaporization of a liquid Water Beam by Irradiation with a 10.6um Infrared Laser 査読 重要な業績

Rapid Communication in Mass Spectrometry   11   474 - 478   1997年6月

p-Ge基板上に低温堆積した非晶質炭素膜のI-V特性

佐瀬亮平、戸田俊太郎、佐藤哲也、王谷洋平

令和４年度　応用物理学会　北陸・信越支部　学術講演会  2022年12月  応用物理学会 北陸・信越支部

大学の発達障害学生支援における具体的方策と連携の検討

山本和美、小畑文也、佐藤哲也、古野素子、小牧舞

日本キャリア・カウンセリング学会　第27回大会 ーカウンセリング再考ー  2022年11月  日本キャリア・カウンセリング学会　

c-C4F8/Si(CH3)4混合凝縮層の電子照射による a-SiC:Fの低温合成

戸田 俊太郎、佐藤 哲也

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月  応用物理学会

c-C4F8凝縮層への低速電子照射により銅基板上に低温形成した a-C:Fの物性評価 重要な業績

秋山 恒樹、佐藤 哲也

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月  応用物理学会

c-C4F8/Si(CH3)4混合凝縮層の電子照射による a-SiC:Fの低温合成

戸田 俊太郎, 佐藤 哲也

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月  応用物理学会

c-C4F8凝縮層への低速電子照射により銅基板上に低温形成した a-C:Fの物性評価

秋山 恒樹, 佐藤 哲也

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月  応用物理学会

Fabrication and Characterization of Ge-based MIS structures 国際会議

Yohei Otani, Daich Yamada, Hiroshi Okamoto, Toshiro Ono, Tetsuya Sato, Junji Yamanaka and Yukio Fukuda

240th ECS Meeting  2021年10月  The Electrochemical Society

Fabrication and Characterization of Ge-based MIS structures 国際会議

Yohei Otani, Daich Yamada, Hiroshi Okamoto, Toshiro Ono, Tetsuya Sato, Junji Yamanaka, Yukio Fukuda

240th ECS Meeting  2021年10月  The Electrochemical Society

Al(CH3)3凝縮層の酸素プラズマ照射によるAl2O3低温形成と物性評価 重要な業績

大川 敦輝、山田 大地、王谷 洋平、佐藤 哲也

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月  応用物理学会

Al(CH3)3凝縮層の酸素プラズマ照射によるAl2O3低温形成と物性評価

大川 敦輝, 山田 大地, 王谷 洋平, 佐藤 哲也

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月  応用物理学会

低温プラズマを用いた a C:H 薄膜の欠陥抑 制 招待

佐藤　哲也

第34回新領域研究会  2020年10月  応用物理学会プラズマエレクトロのクス分科会

Synthesis of Super-hydrophobic PTFE Thin Films Using Electronic Excitation of c-C4F8 Condensed Gas 国際会議 重要な業績

Toshihiro Mitani , Tetsuya Sato

The 16th Pacific Polymer Conference  2019年12月 

Synthesis of Super-hydrophobic PTFE Thin Films Using Electronic Excitation of c-C4F8 Condensed Gas 国際会議

Toshihiro Mitani, Tetsuya Sato

The 16th Pacific Polymer Conference  2019年12月  Pacific Polymer Federation

Al (CH ₃ )₃ 凝縮層の 低速電子および 酸素 ラジカル 照射 による Al ₂ O ₃薄膜の低温形成 重要な業績

大川 敦輝, 山田 大地, 王 谷 洋平, 佐藤 哲也

第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019年9月  応用物理学会

Al (CH ₃ )₃ 凝縮層の 低速電子および 酸素 ラジカル 照射 による Al ₂ O ₃薄膜の低温形成

大川 敦輝, 山田 大地, 王 谷 洋平, 佐藤 哲也

第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019年9月  応用物理学会

ぶどう色素増感型太陽電池の教材開発 重要な業績

米山 瑠華，佐藤 哲也

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

NF 3凝縮 SiO SiO2基板への DC 放電生起 電子 照射 による による による シリコン酸化膜 のクライオ エッチング 重要な業績

熊谷仁志、佐藤哲也

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

c-C4F8/SiF4混合凝縮層の電子励起によるa-C:Fの低温合成と物性評価 重要な業績

三谷 隼弘，佐藤 哲也, 塩澤 佑一朗, 上垣 良信

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

c-C4F8/SiF4混合凝縮層の電子励起によるa-C:Fの低温合成と物性評価

三谷 隼弘, 佐藤 哲也, 塩澤 佑一朗, 上垣 良信

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

ぶどう色素増感型太陽電池の教材開発

米山 瑠華, 佐藤 哲也

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

NF 3凝縮 SiO SiO2基板への DC 放電生起 電子 照射 による による による シリコン酸化膜 のクライオ エッチング

熊谷仁志, 佐藤哲也

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

低速電子線誘起堆積法により低温合成したグラッシーカーボンのナノ構造制御とＴＥＭ観察 重要な業績

赤池祐輝, 佐藤 哲也, 山本 千綾, 山中 淳二

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

低速電子線誘起堆積法により低温合成したグラッシーカーボンのナノ構造制御とＴＥＭ観察

赤池祐輝, 佐藤 哲也, 山本 千綾, 山中 淳二

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

c-C4F8凝縮層の電子励起による超撥水性樹状 a-C:F の形成 重要な業績

三谷 隼弘，上垣 良信, 佐藤 哲也

第65回応用物理学会春季学術講演会  2018年3月  応用物理学会

c-C4F8凝縮層の電子励起による超撥水性樹状 a-C:F の形成

三谷 隼弘, 上垣 良信, 佐藤 哲也

第65回応用物理学会春季学術講演会  2018年3月  応用物理学会

p-Ge基板上にALD堆積したAl2O3への 酸素ラジカル照射の及ぼす影響

王谷洋平，山田大地，白倉麻依，山本千綾，山中淳二，佐藤哲也，岡本浩，福田幸夫

平成29年度　応用物理学会　北陸・信越支部　学術講演会  2017年12月  応用物理学会 北陸・信越支部

Formation of Al and Hf germanates as interlayers between high-k dielectrics and Ge substrates by radical-enhanced atomic layer deposition 国際会議 重要な業績

Daichi Yamada, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka,Tetsuya Sato, Hiroshi Okamoto, and Yukio Fukuda

EM-NANO2017 The 6th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies  2017年6月  応用物理学会 北陸・信越支部

バンデグラフを用いた静電気帯電の学習教材研究

三谷 隼弘 佐藤 哲也

第64回応用物理学会 春季学術講演会  2017年3月  応用物理学会

バンデグラフを用いた静電気帯電の学習教材研究

三谷 隼弘, 佐藤 哲也

第64回応用物理学会 春季学術講演会  2017年3月  応用物理学会

フッ素化非晶質炭素薄膜の極低温合成および物性評価 重要な業績

齋藤 登之,年森 隆明,小林 直樹,佐藤 哲也

第76回応用物理学会秋季学術講演会  2016年3月  応用物理学会

プラズマ支援原子層堆積法によるa-TiNX薄膜の極低温合成（Ⅱ） 重要な業績

柳 炳學,関 渓太,佐藤 哲也

第６３回応用物理学会春季学術講演会  2016年3月  応用物理学会

極低温合成a-C:F膜のマイクロスクラッチ試験による密着性評価 重要な業績

曽我 遥華,山井 孝太,森川 恭兵,佐藤 哲也,中川 清和

第62回応用物理学会春季学術講演会  2015年3月  応用物理学会

PFCガスの極低温凝縮層への低速電子線照射により合成したa-C:F薄膜の物性評価 重要な業績

和光賢司，曽我遥華，森川恭兵，佐藤哲也，中川清和

第 61 回応用物理学会春季学術講演会  2014年3月  応用物理学会

テトラメチルシラン添加炭化水素混合凝縮層ヘの 低速電子線照射により極低温合成したa-C:Si:Hの物性評価 重要な業績

山田竜太郎,関渓太,坂巻直,小林直樹,佐藤哲也,中川清和

第61回応用物理学会春季学術講演会  2014年3月  応用物理学会

In situ formation of aluminum germanate interlayer for high-k/Ge metal-oxide-semiconductor structures by atomic layer deposition with trimethylaluminum and microwave-generated atomic oxygen 重要な業績

Hiroki Ishizaki,Yohei Otani,Chiaya Yamamoto,Junji Yamanaka,Tetsuya Sato,Toshiyuki Takamatsu,Yukio Fukuda

International Symposium on Sputtering & Plasma Process (12th ISSP)  2013年7月 

c-C4F8極低温凝縮層への低速電子線照射により合成したa-C:F薄膜の物性評価 重要な業績

曽我遥華,他5名

第60回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月 

アセチレン凝縮層への低速電子線照射により合成したa-C:Hの物性評価 重要な業績

小林直樹,山田竜太郎,佐藤哲也,中川清和

第60 回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月  応用物理学会

水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱現象を利用した多結晶Si形成技術とデバイスへの応用

中家大希,他9人

第60回応用物理学会春季学術講演会　  2013年3月  応用物理学会春

アセチレン凝縮層への低速電子線照射により極低温合成したDLC薄膜の物性評価 重要な業績

小林直樹,山田竜太郎,佐藤哲也,中川清和

第26回　ダイヤモンドシンポジウム  2012年11月  ニューダイヤモンドフォーラム

テトラメチルシラン凝縮層の低速電子照射により極低温合成したa-SiC:Hの物性評価 重要な業績

山田竜太郎,小林直樹,和光賢司,曽我遥華,佐藤哲也,中川清和

第26回ダイヤモンドシンポジウム  2012年11月  ニューダイヤモンドフォーラム

c-C4F8凝縮層の低速電子線衝撃によるa-C:F薄膜の極低温合成 重要な業績

和光賢司,曽我遥華,山田竜太郎,佐藤哲也,中川清和

第26回ダイヤモンドシンポジウム  2012年11月  ニューダイヤモンドフォーラム

Formation and characterization of electron-cyclotron-resonance plasma-derived germanium nitride for germanium-based CMOS applications.

Y. Fukuda,Y. Otani,T. Sato,H. Okamoto,T. Ono

1st Annual World Congress of Advanced Materials -2012  2012年6月 

低速電子線誘起反応と低温トンネル反応によるa-SiCx:Hの極低温合成 重要な業績

山田竜太郎,その他6名

2012春季第59回応用物理学関係連合講演会  2012年3月  応用物理学会

C3F8凝縮層の低速電子線衝撃によるa-C:F薄膜の極低温合成 重要な業績

胡　雪冰，山田竜太郎，小林直樹，川上浩一，佐藤哲也

2012春季第59回応用物理学関係連合講演会  2012年3月  応用物理学会

水素プラズマを用いた遷移金属加熱技術の開発(II)

中村浩之,その他8名

2012春季第59回応用物理学関係連合講演会  2012年3月  応用物理学会

Unintentional Formation of HfSixOy on Si Substrate during Atomic Layer Deposition of HfO2 from Tetrakis(dimethlyamido) hafnium and Plasma-Generated Atomic Oxygen 重要な業績

H. Ishizaki,M. Iida,Y. Fukuda,C. Yamamoto,J. Yamanaka,T. Sato

2011 MRS fall meeting  2011年12月  Mareirals Research Society

Low - temperature fabrication of TiO2 films combined with liquid phase deposition and microwave plasma heating 重要な業績

Tetsuya Sato,Kenta Hongo,Tetsuji Arai,Kiyokazu Nakagawa,Toshiyuki Takamatsu

21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference  2011年11月  PVSEC-21 Organizing committee

フルオロカーボン凝縮層の低速電子線照射によるa-C:Fの極低温合成 重要な業績

胡　雪冰,その他5名

2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会  2011年9月  応用物理学会

水素プラズマを用いた加熱技術の開発

中村浩之,その他7名

2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会  2011年9月  応用物理学会

Selective Heating Method for Poly-crystallization of Amorphous Si Using Hydrogen Microwave Plasma 重要な業績

Tetsuji ARAI,その他10名

International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT2011), CGCT-5-Functional materials crystallization, characterization and devices  2011年6月  Materials Research Society

Crystallization of Amorphous TiO2 Thin Films using Microwave Plasma Heating 重要な業績

Tetsuji ARAI,Kenta HONGO,Haocheng GUO,Toshiyuki TAKAMATSU,Tetsuya SATO,Kiyokazu NAKAGAWA

International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT2011), CGCT-5-Functional materials crystallization, characterization and devices  2011年6月  Materials Research Society

水素ラジカルによる選択加熱現象を利用した多結晶ゲルマニウム形成技術

荒井哲司,その他7人

2011 年春季第58 回応用物理学関係連合講演会  2011年3月  応用物理学会

RF スパッタ法によるGe 基板上へのSrTiO3 薄膜の作製

王谷 洋平，福田 幸夫，佐藤 哲也

2011 年春季第58 回応用物理学関係連合講演会  2011年3月  応用物理学会

マイクロ波生成プラズマ支援ALD法によるSi基板上HfO2薄膜の形成

飯田真正,その他7人

2011 年春季第58 回応用物理学関係連合講演会  2011年3月  応用物理学会

CF4凝縮層の低速電子線衝撃によるa-C:F薄膜の極低温合成 重要な業績

胡　雪冰,鍋田貴大,土屋新平,森田直樹,佐藤哲也

2010 年秋季第71回応用物理学会学術講演会  2010年9月  応用物理学会

CH4/Ar固体薄膜への低速電子線衝撃：Arマトリックス単離赤外分光法による反応解析 重要な業績

佐藤哲也,その他7人

2010年秋季第71 回応用物理学会学術講演会  2010年9月  応用物理学会

マイクロ波リモートプラズマを用いた原子堆積法によるSi基板上へのAl2O3薄膜の作製

石崎博基,その他6人

2010 年秋季第71 回応用物理学会学術講演会  2010年9月  応用物理学会

低速電子線誘起反応と低温トンネル反応により合成した炭素膜のＴＥＭ観察 重要な業績

森田直樹,伊東佑将,渡辺　陵,荒井哲司,佐藤哲也,山本千綾,有元圭介,山中淳二,中川清和

第57回応用物理学関係連合講演会  2010年3月  応用物理学会

Effective passivation of Ge surface by high-quality GeO2 formed by Electron-Cyclotron-Resonance plasma oxidation for Ge-based electronic and photonic device applications

Yukio Fukuda, Yohei Otani, Tetsuya Sato, Hiroshi Toyota and Toshiro Ono

5th International Workshop on New group IV Semiconductor Nanoelectronics  2010年1月  MEXT, JSPS, IEEJ

低速電子線誘起反応と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成 重要な業績

佐藤哲也

2009年度実用表面分析講演会（ＰＳＡ-09）  2009年11月  表面分析研究会

液相析出法とマイクロ波放電プラズマ加熱法により合成した酸化チタンの表面分析

本郷健太,荒井哲司,佐藤哲也,中川清和

2009年度実用表面分析講演会（ＰＳＡ-09）  2009年11月  表面分析研究会

低速電子線誘起反応とトンネル反応により合成した炭素薄膜の表面分析

森田直樹,伊東佑将,胡雪氷,土屋新平,渡辺陵,佐藤哲也,山本千綾,有元圭介,山中淳二,中川清和

2009年度実用表面分析講演会（ＰＳＡ-09）  2009年11月  表面分析研究会

低速電子線誘起堆積法と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成 重要な業績

伊東佑将,胡　雪氷,土屋新平,森田直樹,荒井哲司,佐藤哲也,中川清和

2009 年秋季第70 回応用物理学会学術講演会  2009年9月  応用物理学会

μ波プラズマ加熱による金属の選択加熱現象を利用した多結晶シリコン形成技術2

荒井哲司,有泉　慧,池野祐喜,板山泰裕,有元圭介,山中淳二,佐藤哲也,他4人

第56回応用物理学関係連合講演会  2009年3月  応用物理学会

マイクロ波プラズマ加熱による非晶質酸化チタン薄膜の結晶化 重要な業績

佐藤哲也,過　皓晟,本郷健太,村松親雄,今村友一,他５名

第56回応用物理学関係連合講演会  2009年3月  応用物理学会

メタン凝縮層の低速電子線衝撃による炭素薄膜の極低温合成（II） 重要な業績

佐藤哲也,井草裕志,伊東佑将,小林憲明,荒井哲司,他２名

第56回応用物理学関係連合講演会  2009年3月  応用物理学会

金属イオンによって変化するビオロゲン誘導体の光還元特性

今村友一,桑原哲夫,佐藤哲也

第56回有機合成化学協会関東支部シンポジウム  2008年11月 

分光エリプソ法によるSi3N4/GeNx/Ge構造の光学的評価

福田幸夫，,王谷洋平，,佐藤哲也，,坂口明生，,小野俊郎

2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会  2008年9月  応用物理学会

マイクロ波プラズマCVD法によるゲート酸化膜の形成 重要な業績

平田真大,有元圭介,山中淳二,佐藤哲也,その他5人

2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会  2008年9月  応用物理学会

メタン凝縮層の低速電子線衝撃によるダイヤモンド状アモルファス炭素膜の極低温合成 重要な業績

伊東佑将,その他５人

2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会  2008年9月  応用物理学会

ECR酸素プラズマ照射がGeNx/Ge界面特性に及ぼす影響

王谷洋平,福田幸夫,佐藤哲也,中川清和,豊田宏,小野俊郎

第25回強誘電体応用会議  2008年5月  強誘電体応用会議　運営委員会

低速電子誘起反応と極低温トンネル反応により合成したSiNxの電気特性評価 重要な業績

林憲明，その他6名

第55回応用物理学関係連合講演会  2008年3月 

ECR法によるSi3N4/GeNx/Ge MISキャパシタ界面特性の成膜温度依存性

笠原康司,その他5名

第55回応用物理学関係連合講演会  2008年3月  応用物理学会

ECR 法によるGeNx 形成前のECR 酸素プラズマ照射の効果に関する検討

王谷洋平, 他5名

第55回応用物理学関係連合講演会  2008年3月  日本応用物理学会

有機フィルム基板上へのSiNxおよびa-Si:Hの極低温形成 重要な業績

佐藤哲也, 他6名

第50 回放射線化学討論会  2007年10月  日本放射線化学会

低速電子誘起成膜法によるSiNxの極低温合成と物性評価 重要な業績

小林 憲明,その他7名

第50 回放射線化学討論会  2007年10月  日本放射線化学会

低速電子線誘起堆積法とH原子トンネル反応を利用した水素化アモルファスシリコンの合成 重要な業績

佐藤哲也, 小林憲明, 今村友一, 中川清和, 佐藤昇司

第54回応用物理学関係連合講演会  2007年3月  応用物理学会

シリコン窒化膜の極低温合成に関する研究 重要な業績

小林憲明, 今村友一,佐藤哲也,中川清和, 佐藤昇司

第49回放射線化学討論会  2006年10月  日本放射線化学会

低速電子誘起化学気相成長法によるSiNx膜の極低温合成

佐藤哲也,小林憲明,今村友一,三井実,中川清和,青木裕,佐藤昇司

2006年秋季　第67回応用物理学会学術講演会  2006年8月 

TEOS-SiO2の界面準位密度と酸化膜内欠陥密度（Ⅱ）

荒井哲司,平田真大,土屋勇介,三井実,有元圭介,佐藤哲也,中川清和,福田幸夫,高松利行,佐藤昇司

2006年秋季　第67回応用物理学会学術講演会  2006年8月 

ＴＥＯＳ酸化膜の界面準位密度と酸化膜内欠陥密度 重要な業績

土屋勇介,他8人

第53回応用物理学関係連合講演会  2006年3月  応用物理学会

低速電子誘起成膜法によるシリコン半導体薄膜の極低温合成 重要な業績

佐藤哲也, 三井実, 中川清和, 青木裕, 佐藤昇司

第47回　放射線化学討論会  2005年10月  日本放射線化学会

Formation of microcrystalline Silicon and SiNx films by electron- beam-induced-chemical vapor deposition at ultra low temperature 重要な業績

Tetsuya Sato,他6人

Fourth International Conference on　Silicon Epitaxy and Heterostructures (ISCI-4)  2005年5月 

微結晶シリコンの極低温形成 重要な業績

佐藤哲也,その他6人

2005春季第52回応用物理関係連合講演会  2005年3月  日本応用物理学会

Synthesis of Microcrystalline Silicon Films by Low Energy Electron-Beam-Induced Deposition at Cryogenic Temperature 重要な業績

T. Sato, K. Nakagawa, Y. Aoki, S. Sato

Group-IV Semiconductor Nanostructures, edited by Leonid Tsybeskov, David J. Lockwood, Christophe Delerue, and Masakazu Ichikawa (Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 832, Warrendale, PA , 2005),  2004年12月  US-MRS

電子誘起成膜法によるシリコン系半導体薄膜の合成と物性評価 重要な業績

佐藤哲也,他5名

第47回放射線化学討論会  2004年10月  日本放射線化学会

極低温で合成した半導体薄膜の表面分析

佐藤哲也

2004JEOL　EPMA・表面分析ユーザーズミーティング  2004年9月  日本電子株式会社

低速電子照射による微結晶Siの低温形成

佐藤哲也,その他6名

2004秋季第65回応用物理学会学術講演会  2004年9月  応用物理学会

極低温反応によるシリコン系薄膜の合成 重要な業績

佐藤哲也，望月慎高，中川清和,青木裕, 佐藤昇司, 宮田千治, 高松利行

第51回応用物理学関係連合講演会  2004年3月  日本応用物理学会

極低温反応によるa-Si:Hおよびμc-Si:H薄膜の形成

望月慎高，佐藤哲也，三井実，中川清和，佐藤昇司，宮田千治

第51回応用物理学関係連合講演会  2004年3月  日本物理学会

ホルムアルデヒド及びメタノール薄膜と水素原子との極低温トンネル反応に関する研究 重要な業績

上野敏幸,他8人

第46回放射線化学討論会  2003年9月  日本放射線化学会

単原子分子（Ar, Kr, Xe）薄膜の400eV Ne+イオン衝撃によるTOF-SIMS 重要な業績

雨宮僚,上原涼,佐藤哲也,平岡賢三

第51回質量分析総合討論会  2003年5月  日本質量分析学会

極低温トンネル反応によるa-Si:H薄膜の合成 重要な業績

高島英彰,他5人

第50回応用物理学関係連合講演会  2003年3月  応用物理学会

リニア直衝突/多重反射型飛行時間質量分析装置の開発と応用 重要な業績

佐藤哲也

日本質量分析学会創立50周年記念若手講演会  2002年11月  日本質量分析学会

Chemical synthesis by means of low temperature tunneling reaction : from interstellar molecules to thin film semiconductors 重要な業績

K.Hiraoka, N.Sogoshi, H.Takashima and T.Sato

4th International Conference on Low Temperature Chemistry  2002年8月  4th International Conference o

Study on the tunneling reaction of H atoms in interstellar ices 重要な業績

佐藤哲也,他8人

4th International Conference on Low Temperature Chemistry  2002年8月  4th International Conference o

MSのイオン化の進歩と未来 重要な業績

佐藤哲也

第50回質量分析総合討論会  2002年5月  日本質量分析学会

Si2H6薄膜とＨ原子の極低温トンネル反応によるSi薄膜の形成 重要な業績

佐藤昇司,他6人

Si2H6薄膜とＨ原子の極低温トンネル反応によるSi薄膜の形成  2002年3月  応用物理学会

Ｈ原子GeH4薄膜との極低温トンネル反応によるGe薄膜の形成 重要な業績

曽越宣仁,他6人

第49回応用物理学関係連合講演会  2002年3月  応用物理学会

水素原子とシラン薄膜の極低温トンネル反応：シリコン薄膜の形成

佐藤哲也,他11人

第42回真空に関する連合講演会  2001年10月  日本真空学会

vdW薄膜のHe＋イオン衝撃：二次イオン強度の膜厚依存性 重要な業績

佐藤哲也,他4人

第26回原子衝突研究協会研究会  2001年8月  原子衝突研究協会研究会

水素原子の固相トンネル反応を利用した新規な半導体薄膜形成法の開発 重要な業績

佐藤哲也,他9人

第49回質量分析総合討論会(2001)  2001年6月  日本質量分析学会

SiH4薄膜とH原子の極低温トンネル反応によるSi薄膜の形成

鈴木克憲,他9人

第48回応用物理学関係連合講演会  2001年3月  応用物理学会

水素原子の固相トンネル反応を利用した半導体薄膜形成のための極低温反応装置の開発（Ⅱ） 重要な業績

佐藤哲也,他9人

第48回応用物理学関係連合講演会  2001年3月  応用物理学会

マイクロ波プラズマ励起種を用いた選択加熱技術の開発
（平成22年度～24年度、科学研究費基盤（Ｃ））

山梨大学　クリスタル科学研究ｾﾝﾀｰ

2010年04月01日 - 2013年03月31日  分担

極低温トンネル反応と低速電子線誘起反応を利用した炭素薄膜の合成
（科研費H21-23年度）

応用化学科、クリスタル科学研究センター

2009年04月01日 - 2012年03月31日  代表

ナノクリスタル酸化チタン色素増感太陽電池に関する研究

応用化学科、クリスタル科学研究センター

2006年10月01日 - 2011年03月31日  代表

数学演習I 重要な業績

2022年度  科目区分：専門教育（学部）

微分積分学担当

入門化学I 重要な業績

2022年度  科目区分：専門教育（学部）

数学演習II 重要な業績

2022年度  科目区分：専門教育（学部）

微分積分学担当

化学実験 重要な業績

2022年度  科目区分：その他（学部）

量子材料科学特論 重要な業績

2021年度  科目区分：修士（大学院）

分光学 重要な業績

2021年度  科目区分：専門教育（学部）

化学実験 重要な業績

2021年度  科目区分：専門教育（学部）

数学演習II 重要な業績

2021年度  科目区分：専門教育（学部）

数学演習I 重要な業績

2021年度  科目区分：専門教育（学部）

入門化学I 重要な業績

2021年度  科目区分：専門教育（学部）

数学演習I 重要な業績

2020年度  科目区分：共通教育（学部）

分光学 重要な業績

2020年度  科目区分：専門教育（学部）

化学実験 重要な業績

2020年度

数学演習II 重要な業績

2020年度

量子材料科学特論 重要な業績

2020年度  科目区分：修士（大学院）

入門化学I 重要な業績

2020年度

応用工学実験Ⅰ 重要な業績

2017年度  科目区分：専門教育（学部）

入門化学Ⅰ 重要な業績

2017年度  科目区分：専門教育（学部）

入門化学Ⅰ 重要な業績

2016年度  科目区分：専門教育（学部）

入門化学Ⅰ 重要な業績

2012年度  科目区分：専門教育（学部）

実験を含む

化学実験 重要な業績

2012年度  科目区分：専門教育（学部）

エネルギー量子化学特論第二 重要な業績

2011年度  科目区分：修士（大学院）

量子物理化学特論 重要な業績

2011年度  科目区分：博士（大学院）

地球環境化学とエネルギー 重要な業績

2007年度  科目区分：共通教育（学部）

量子材料システム工学特論 重要な業績

2005年度  科目区分：修士（大学院）

分子素子設計工学特論 重要な業績

2004年度  科目区分：博士（大学院）

調査・レポート課題形式

基礎物理学I 重要な業績

2004年度  科目区分：その他（学部）

化学実験

2004年度  科目区分：その他（学部）

サイエンスラボ 化学系講座「霧箱による放射線の観察」

役割：講師,　助言･指導

日川高等学校  山梨大学 工学 B1号館―202実験室  2020年9月

科学実験講座　実験工作教室「飛行機雲のように放射線を目で観察しよう」

役割：講師,　実演

山梨県立科学館  山梨県立科学館  2020年8月

科学実験講座 実験工作教室「飛行機雲のように放射線を目で観察しよう」

役割：講師,　実演

山梨県立科学館  山梨県立科学館  2020年8月

ＳＳＨサイエンスラボ 化学系講座　「天然色素を用いた太陽電池の作製」

役割：講師,　助言･指導

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部　B1号館202  山梨大学工学部　B1-202  2019年8月

ＳＳＨサイエンスラボ 化学系講座 「天然色素を用いた太陽電池の作製」

役割：講師,　助言･指導

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部 B1号館202  山梨大学工学部 B1-202  2019年8月

SSH山梨大学実験研修「環境化学と太陽電池」

役割：講師,　助言･指導

韮崎高等学校  山梨大学工学部　T1号館-21、B1-202実験室  2019年8月

天然色素を用いた太陽電池、霜箱

役割：取材協力,　講師,　助言･指導,　実演

山梨大学、山梨英和中学校・高等学校、山梨県立男女共同参画推進センターぴゅあ総合 共催事業  ガールズサイエンスcafe@山梨  山梨県防災新館  2018年9月

天然色素を用いた太陽電池、霜箱

役割：取材協力,　講師,　助言･指導,　実演

山梨大学、山梨英和中学校・高等学校、山梨県立男女共同参画推進センターぴゅあ総合 共催事業  ガールズサイエンスcafe@山梨  山梨県防災新館  2018年9月

ＳＳＨサイエンスラボ「宇宙に学ぶ新エネルギー材料創成」

役割：講師,　助言･指導

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部　B1号館202  山梨大学工学部　B1-202  2018年8月

ＳＳＨサイエンスラボ「宇宙に学ぶ新エネルギー材料創成」

役割：講師,　助言･指導

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部 B1号館202  山梨大学工学部 B1-202  2018年8月

SSH「環境化学と太陽電池」

役割：講師,　助言･指導

韮崎高等学校  山梨大学工学部　T1号館-21、B1-202実験室  2018年8月

第21回リフレッシュ理科教室

役割：助言･指導

応用物理学会、山梨大学、山梨県立科学館  2018年8月

太陽電池工作教室ーぶどうで発電

役割：取材協力,　講師,　助言･指導,　実演

山梨県立科学館、キャリアハウス「ティーチサイエンス」  科学探求講座事業  山梨県立科学館  2018年3月

太陽電池工作教室ーぶどうで発電

役割：講師,　助言･指導,　実演

甲州市中央公民館  2017年12月

ＳＳＨサイエンスラボ「天然色素で太陽電池をつくろう」

役割：講師,　助言･指導

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部　B1号館202  2017年8月

SSHサイエンスセミナー「宇宙に学ぶ新エネルギー材料創成」

山梨県立都留高等学校  都留高等学校  2014年8月

日本物理学会

1988年9月 - 現在