University of Yamanashi   工学部   助手

1993.4 - 2001.6

日本学術振興会　   特別研究員

1991.4 - 1993.3

Nanotechnology/Materials / Thin film/surface and interfacial physical properties  / Thin film/Surface and interfacial physical properties

Nanotechnology/Materials / Fundamental physical chemistry  / Low-Temperature Chemistry

低速イオンとファンデルワールス薄膜固体の衝突反応に関する基礎的研究

1997.7 - 1999.3

Optimal staining conditions of vanadium mordant in dyeing using sumac gallnut of plant dye Reviewed

Journal of the Japan Research Associoation for Textile End-Uses   55 ( 4 )   270 - 275   2014.4

Spontaneous formation of aluminum germanate on Ge(100) by atomic layer deposition with trimethylaluminum and microwave-generated atomic oxygen. Reviewed Major achievement

Yukio Fukuda, Hiroki Ishizaki, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, Toshiyuki Takamatsu, Hiroshi Okamoto, and Hidehumi Narita

APPLIED PHYSICS LETTERS   102 ( 13 )   132904-1 - 132904-4   2013.4( ISSN：0003-6951  eISSN：1077-3118 )

The Use of Vanadium for Dyeing Technology Reviewed

The Society of Fiber Science and Technology, Japan   69 ( 3 )   55 - 59   2013.3

Effects of postdeposition annealing ambient on hysteresis in an Al2O3/GeO2 gate-dielectric stack on Ge Reviewed Major achievement

J. App. Phys   110   26108   2011.6

Formation of Al2O3 Film on Si Substrate by Microwave Generated Remote Plasma Assisted Atomic Layer Deposition Technique Reviewed Major achievement

H. Ishizaki,M. Iiida,Y. Otani,Y. Fukuda,T. Sato,T. Takamatsu,T.Ono

ECS Trans.   33 ( 6 )   227 - 233   2010.10( ISSN：1938-5862 )

メタン凝縮層からの炭素薄膜極低温合成　（DLC特集） Major achievement

佐藤哲也,伊東佑将,森田直樹,井草裕志,小林憲明,中川清和,佐藤昇司

New Diamond   96 ( 1 )   29 - 32   2010.1

Low-Temperature Formation of High-Quality GeO2 Interlayer for High-κ Gate Dielectrics by Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Techniques. Reviewed Major achievement

IEEE Trans. Electron Devices   57 ( 1 )   282 - 287   2010.1

Synthesis of Amorphous Germane by Tunneling Reactions of Hydrogen Atoms with van der Waals GeH4 Films at Cryogenic Temperatures Reviewed Major achievement

Norihito Sogoshi,Shoji Sato,Hideaki Takashima,Tetsuya Sato,Kenzo Hiraoka

Jpn. J. of Appl. Phys.   48   115506-1 - 115506-6   2009.11

Synthesis of Polysilanes by Tunneling Reactions of H Atoms with Solid Si2H6 at 10K Reviewed Major achievement

Norihito Sogoshi,Shoji Sato,Hideaki Takashima,Tetsuya Sato,Kenzo Hiraoka

Chemistry Letters   38 ( 10 )   986 - 987   2009.10

Microstructure difference of Ni induced poly-crystallized SiGe by changing the annealing atmosphere Reviewed Major achievement

Thin Solid Films   517   232 - 234   2008.11

Characterizations of Polycrystalline SiGe Films on SiO2 Grown by Gas-Source Molecular Beam Deposition Reviewed Major achievement

Thin Solid Films   517   254 - 256   2008.11

Effects of Electron-Cyclotron-Resonance Oxygen Plasma Irradiation on Properties of Insulator/Ge-Semiconductor Interfaces Prior to Germanium Nitride Formation Reviewed Major achievement

Japanese Journal of Applied Physics   47   7553 - 7555   2008.9

Formation of microcrystalline Silicon and SiNx filmsby electron- beam-induced-chemical vapor deposition at ultra low temperature Reviewed Major achievement

T.Sato, M. Mitsui, J. Yamanak, K. Nakagawa, Y. oki, S. Shouji, C. Miyata

Thin Solid films   508 ( 1-2 )   61 - 64   2006.6( ISSN：0040-6090 )

Synthesis of Microcrystalline Silicon Films by Low-Energy Electron- Beam- Induced Deposition at Cryogenic Temperature Reviewed Major achievement

T. Sato, K.Nakagawa, Y. Aoki, S.Sato

Material Research Society Symposium Proc. 832, F10.19. (Boston)   832   F10.1   2004.12

8KにおけるAr、Kr、およびXe薄膜の400eV　He+イオン衝撃による二次イオンのTOF解析 Reviewed Major achievement

渡辺誠,江口大介,佐藤哲也,平岡賢三

J. Mass Spectrom. Soc. Jpn.   50   350 - 352   2002.11

Secondary ions produced by 400eV He+ ion impact on solid films composed of binary mixtures of Ar/Xe, Ar/N2, and Ar/O2 at 7K Reviewed

Int. J. Mass Spectrom   218   173 - 180   2002.11

Study on the tunneling reaction of H atoms with a solid thin film of C3H6 at 10K Reviewed Major achievement

K.Hiraoka,T.Sato,S.Sato,T.Takayama,T.Yokoyama,N.Sogoshi,S.Kitagawa

J. Phys. Chem. B   106 ( 19 )   497s4 - 4978   2002.10( ISSN：1520-6106 )

Secondary ions produced by 400eV He+ ion impact on N2 and O2 thin films at 8 K Reviewed Major achievement

J. Chem. Phys.   117   6252 - 6258   2002.10

Formation of formaldehyde by the tunneling reaction of H with solid CO at 10 K revisited Reviewed Major achievement

Astrophys. J.   577   265 - 270   2002.9

Time-of-flight studies of secondary ions produced by 400 eV He+ ion impact on Ar, Kr, and Xe thin films at 8 K Reviewed

Rapid Commun. Mass Spectrom.   16   1016 - 1022   2002.5

400eVのHe+イオンによる8Kの窒素膜および酸素膜からの二次イオン生成 Reviewed

渡辺誠,佐藤哲也,平岡賢三,森邦彦

J. Mass Sopectrom. Soc. Jpn   50   72 - 74   2002.4

Formation of Amorphous Silicon by the Low-Temperature Tunneling Reaction of H Atoms with Solid Thin Film of SiH4 at 10K (共著) Reviewed Major achievement

Physical Chemistry   105 ( 29 )   6950 - 6955   2001.9

Tunneling Reactions in Interstellar Ices Reviewed Major achievement

Science   292 ( 4 )   869 - 870   2001.9

星間物質の分析 Invited Reviewed Major achievement

佐藤哲也

ぶんせき   2   83 - 88   2001.2

Study of the Reactions of H and D Atoms with Solid C2H2, C2H4, and C2H6 at Cryogenic Temperatures Reviewed Major achievement

Astrophysical Journal   532   1029 - 1037   2000.5

Secondary Ions Produced by Low-energy Impact of He+ and Ne+ ions onvan der Waals Thin Films Reviewed Major achievement

Rapid Communications in Mass Spectrometry   11   1139 - 1143   1997.7

Explosive Vaporization of a liquid Water Beam by Irradiation with a 10.6um Infrared Laser Reviewed Major achievement

Rapid Communication in Mass Spectrometry   11   474 - 478   1997.6

I-V characteristics of amorphous carbon thin films deposited on p-type Ge Substrates at low temperature.

2022.12 

大学の発達障害学生支援における具体的方策と連携の検討

山本和美、小畑文也、佐藤哲也、古野素子、小牧舞

日本キャリア・カウンセリング学会　第27回大会 ーカウンセリング再考ー  2022.11  日本キャリア・カウンセリング学会　

c-C4F8/Si(CH3)4混合凝縮層の電子照射による a-SiC:Fの低温合成

戸田 俊太郎、佐藤 哲也

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会  2022.3  応用物理学会

c-C4F8凝縮層への低速電子照射により銅基板上に低温形成した a-C:Fの物性評価 Major achievement

秋山 恒樹、佐藤 哲也

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会  2022.3  応用物理学会

c-C4F8/Si(CH3)4混合凝縮層の電子照射による a-SiC:Fの低温合成

戸田 俊太郎, 佐藤 哲也

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会  2022.3  応用物理学会

c-C4F8凝縮層への低速電子照射により銅基板上に低温形成した a-C:Fの物性評価

秋山 恒樹, 佐藤 哲也

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会  2022.3  応用物理学会

Fabrication and Characterization of Ge-based MIS structures International conference

Yohei Otani, Daich Yamada, Hiroshi Okamoto, Toshiro Ono, Tetsuya Sato, Junji Yamanaka and Yukio Fukuda

240th ECS Meeting  2021.10 

Fabrication and Characterization of Ge-based MIS structures International conference

Yohei Otani, Daich Yamada, Hiroshi Okamoto, Toshiro Ono, Tetsuya Sato, Junji Yamanaka, Yukio Fukuda

240th ECS Meeting  2021.10  The Electrochemical Society

Al(CH3)3凝縮層の酸素プラズマ照射によるAl2O3低温形成と物性評価 Major achievement

大川 敦輝、山田 大地、王谷 洋平、佐藤 哲也

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021.3  応用物理学会

Al(CH3)3凝縮層の酸素プラズマ照射によるAl2O3低温形成と物性評価

大川 敦輝, 山田 大地, 王谷 洋平, 佐藤 哲也

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021.3  応用物理学会

低温プラズマを用いた a C:H 薄膜の欠陥抑 制 Invited

佐藤　哲也

第34回新領域研究会  2020.10  応用物理学会プラズマエレクトロのクス分科会

Synthesis of Super-hydrophobic PTFE Thin Films Using Electronic Excitation of c-C4F8 Condensed Gas International conference Major achievement

Toshihiro Mitani , Tetsuya Sato

The 16th Pacific Polymer Conference  2019.12  Pacific Polymer Federation

Synthesis of Super-hydrophobic PTFE Thin Films Using Electronic Excitation of c-C4F8 Condensed Gas International conference

Toshihiro Mitani, Tetsuya Sato

The 16th Pacific Polymer Conference  2019.12  Pacific Polymer Federation

Low temperature synthesis of Al 2 O 3 thin films by low energy electron and oxygen radical irradiation on Al (CH 3 ) 3 condensed layer. Major achievement

Atsuki Okawa, Daichi Yamada , Yohei Otani, Tetsuya Sato

The 80th JSAP Autumn Meeting 2019  2019.9  The Japan Society of Applied Physics

Low temperature synthesis of Al 2 O 3 thin films by low energy electron and oxygen radical irradiation on Al (CH 3 ) 3 condensed layer.

Atsuki Okawa, Daichi Yamada, Yohei Otani, Tetsuya Sato

The 80th JSAP Autumn Meeting 2019  2019.9  The Japan Society of Applied Physics

Study on teaching method of grape dye-sensitized solar cell. Major achievement

Ruka Yoneyama, Tetsuya Sato

The 66th JSAP Spring Meeting 2019  2019.3 

Cryo-etching of silicon oxide film by low-energy electron irradiation on generated by DC discharge on NF3 condensation layer formed on SiO2 substrate. Major achievement

Hitoshi Kumagai, Tetsuya Sato

The 66th JSAP Spring Meeting 2019  2019.3 

Low Temperature Synthesis and Property Evaluation of a-C:F Thin Films Fabricated by Electronic Excitation of c-C4F8/SiF4 Mixed Condensed Layer. Major achievement

Toshihiro Mitani, Tetsuya Sato, Yuichiro Shiozawa, Yoshinobu Uegaki

The 66th JSAP Spring Meeting 2019  2019.3 

Low Temperature Synthesis and Property Evaluation of a-C:F Thin Films Fabricated by Electronic Excitation of c-C4F8/SiF4 Mixed Condensed Layer.

Toshihiro Mitani, Tetsuya Sato, Yuichiro Shiozawa, Yoshinobu Uegaki

The 66th JSAP Spring Meeting 2019  2019.3  応用物理学会

Study on teaching method of grape dye-sensitized solar cell.

Ruka Yoneyama, Tetsuya Sato

The 66th JSAP Spring Meeting 2019  2019.3  応用物理学会

Cryo-etching of silicon oxide film by low-energy electron irradiation on generated by DC discharge on NF3 condensation layer formed on SiO2 substrate.

Hitoshi Kumagai, Tetsuya Sato

The 66th JSAP Spring Meeting 2019  2019.3  応用物理学会

Nano structure control and TEM observation of glassy carbon thin films synthesized at low temperature using low energy electron beam induced deposition method. Major achievement

Yuki Akaike, Tetsuya Sato, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka

The 66th JSAP Spring Meeting 2019  2019.3 

Nano structure control and TEM observation of glassy carbon thin films synthesized at low temperature using low energy electron beam induced deposition method.

Yuki Akaike, Tetsuya Sato, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka

The 66th JSAP Spring Meeting 2019  2019.3  応用物理学会

The formation of super water-repellent tree-formed a-C:F by the electronic excitation of the c-C4F8 condensation gas Major achievement

Toshihiro Mitani, Yoshinobu Uegaki, Tetsuya Sato

2018.3 

The formation of super water-repellent tree-formed a-C:F by the electronic excitation of the c-C4F8 condensation gas

Toshihiro Mitani, Yoshinobu Uegaki, Tetsuya Sato

第65回応用物理学会春季学術講演会  2018.3  応用物理学会

Influence of oxygen radical irradiation on ALD-derived Al2O3 on p-Ge

Y. Otani, D. Yamada, M. Sirakura, C. Yamamoto, J. Yamanaka, T. Sato, H. Okamoto, and Y. Fukuda

2017.12 

Formation of Al and Hf germanates as interlayers between high-k dielectrics and Ge substrates by radical-enhanced atomic layer deposition International conference Major achievement

Daichi Yamada, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka,Tetsuya Sato, Hiroshi Okamoto, and Yukio Fukuda

EM-NANO2017 The 6th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies  2017.6 

The research of learning teaching materials of electrostatic charge using Van de Graaff

2017.3 

The research of learning teaching materials of electrostatic charge using Van de Graaff

三谷 隼弘, 佐藤 哲也

第64回応用物理学会 春季学術講演会  2017.3  応用物理学会

フッ素化非晶質炭素薄膜の極低温合成および物性評価 Major achievement

齋藤 登之,年森 隆明,小林 直樹,佐藤 哲也

第76回応用物理学会秋季学術講演会  2016.3  応用物理学会

プラズマ支援原子層堆積法によるa-TiNX薄膜の極低温合成（Ⅱ） Major achievement

柳 炳學,関 渓太,佐藤 哲也

第６３回応用物理学会春季学術講演会  2016.3  応用物理学会

極低温合成a-C:F膜のマイクロスクラッチ試験による密着性評価 Major achievement

曽我 遥華,山井 孝太,森川 恭兵,佐藤 哲也,中川 清和

第62回応用物理学会春季学術講演会  2015.3  応用物理学会

Characterization of Fluorinated Amorphous Carbon Films Fabricated by Low-energy Electron Beam Irradiation on Solid Thin Films Formed from PFC gas Condensed at Cryogenic Temperature Major achievement

2014.3 

Characterization of a-C:Si:H Thin Films Fabricated by Low-energy Electron Beam Irradiation on Solid Thin Films formed from Hydrocarbon and Tetramethylsilane at Cryogenic Temperature Major achievement

2014.3 

In situ formation of aluminum germanate interlayer for high-k/Ge metal-oxide-semiconductor structures by atomic layer deposition with trimethylaluminum and microwave-generated atomic oxygen Major achievement

International Symposium on Sputtering & Plasma Process (12th ISSP)  2013.7 

Characterization of Fluorinated Amorphous Carbon Films Fabricated by Low-energy Electron Beam　Irradiation on c-C4F8 Solid Thin Films Condensed at Cryogenic Temperature. Major achievement

2013.3 

Characterization of Carbon Thin Films Fabricated by Low-energy Electron Beam Irradiationon C2H2 Solid Films Condensed at Cryogenic Temperature Major achievement

2013.3 

水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱現象を利用した多結晶Si形成技術とデバイスへの応用

中家大希,他9人

第60回応用物理学会春季学術講演会　  2013.3  応用物理学会春

Characteristics of carbon thin films Fabricated by Low-energy Electron Beam Irradiation to C2H2 condensed layer at Cryogenic Temperature. Major achievement

26th Diamond Symposium  2012.11 

Characterization of a-SiC:H Thin Films Fabricated by Low-energy Electron Beam Irradiation on Solid Thin Films of Tetramethylsilane at Cryogenic Temperature. Major achievement

26th Diamond Symposium  2012.11 

Synthesis of Fluorinated Amorphous Carbon Films Fabricated by Low-energy Electron Beam Irradiation on Solid Thin Film of c-C4F8 at Cryogenic Temperature. Major achievement

26th Diamond Symposium  2012.11 

Formation and characterization of electron-cyclotron-resonance plasma-derived germanium nitride for germanium-based CMOS applications.

1st Annual World Congress of Advanced Materials -2012  2012.6 

低速電子線誘起反応と低温トンネル反応によるa-SiCx:Hの極低温合成 Major achievement

山田竜太郎,その他6名

2012春季第59回応用物理学関係連合講演会  2012.3  応用物理学会

C3F8凝縮層の低速電子線衝撃によるa-C:F薄膜の極低温合成 Major achievement

胡　雪冰，山田竜太郎，小林直樹，川上浩一，佐藤哲也

2012春季第59回応用物理学関係連合講演会  2012.3  応用物理学会

水素プラズマを用いた遷移金属加熱技術の開発(II)

中村浩之,その他8名

2012春季第59回応用物理学関係連合講演会  2012.3  応用物理学会

Unintentional Formation of HfSixOy on Si Substrate during Atomic Layer Deposition of HfO2 from Tetrakis(dimethlyamido) hafnium and Plasma-Generated Atomic Oxygen Major achievement

2011 MRS fall meeting  2011.12 

Low - temperature fabrication of TiO2 films combined with liquid phase deposition and microwave plasma heating Major achievement

21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference  2011.11 

フルオロカーボン凝縮層の低速電子線照射によるa-C:Fの極低温合成 Major achievement

胡　雪冰,その他5名

2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会  2011.9  応用物理学会

水素プラズマを用いた加熱技術の開発

中村浩之,その他7名

2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会  2011.9  応用物理学会

Selective Heating Method for Poly-crystallization of Amorphous Si Using Hydrogen Microwave Plasma Major achievement

International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT2011), CGCT-5-Functional materials crystallization, characterization and devices  2011.6 

Crystallization of Amorphous TiO2 Thin Films using Microwave Plasma Heating Major achievement

International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT2011), CGCT-5-Functional materials crystallization, characterization and devices  2011.6 

水素ラジカルによる選択加熱現象を利用した多結晶ゲルマニウム形成技術

荒井哲司,その他7人

2011 年春季第58 回応用物理学関係連合講演会  2011.3  応用物理学会

RF スパッタ法によるGe 基板上へのSrTiO3 薄膜の作製

王谷 洋平，福田 幸夫，佐藤 哲也

2011 年春季第58 回応用物理学関係連合講演会  2011.3  応用物理学会

マイクロ波生成プラズマ支援ALD法によるSi基板上HfO2薄膜の形成

飯田真正,その他7人

2011 年春季第58 回応用物理学関係連合講演会  2011.3  応用物理学会

CF4凝縮層の低速電子線衝撃によるa-C:F薄膜の極低温合成 Major achievement

胡　雪冰,鍋田貴大,土屋新平,森田直樹,佐藤哲也

2010 年秋季第71回応用物理学会学術講演会  2010.9  応用物理学会

CH4/Ar固体薄膜への低速電子線衝撃：Arマトリックス単離赤外分光法による反応解析 Major achievement

佐藤哲也,その他7人

2010年秋季第71 回応用物理学会学術講演会  2010.9  応用物理学会

マイクロ波リモートプラズマを用いた原子堆積法によるSi基板上へのAl2O3薄膜の作製

石崎博基,その他6人

2010 年秋季第71 回応用物理学会学術講演会  2010.9  応用物理学会

低速電子線誘起反応と低温トンネル反応により合成した炭素膜のＴＥＭ観察 Major achievement

森田直樹,伊東佑将,渡辺　陵,荒井哲司,佐藤哲也,山本千綾,有元圭介,山中淳二,中川清和

第57回応用物理学関係連合講演会  2010.3  応用物理学会

Effective passivation of Ge surface by high-quality GeO2 formed by Electron-Cyclotron-Resonance plasma oxidation for Ge-based electronic and photonic device applications

5th International Workshop on New group IV Semiconductor Nanoelectronics  2010.1 

低速電子線誘起反応と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成 Major achievement

佐藤哲也

2009年度実用表面分析講演会（ＰＳＡ-09）  2009.11  表面分析研究会

液相析出法とマイクロ波放電プラズマ加熱法により合成した酸化チタンの表面分析

本郷健太,荒井哲司,佐藤哲也,中川清和

2009年度実用表面分析講演会（ＰＳＡ-09）  2009.11  表面分析研究会

低速電子線誘起反応とトンネル反応により合成した炭素薄膜の表面分析

森田直樹,伊東佑将,胡雪氷,土屋新平,渡辺陵,佐藤哲也,山本千綾,有元圭介,山中淳二,中川清和

2009年度実用表面分析講演会（ＰＳＡ-09）  2009.11  表面分析研究会

低速電子線誘起堆積法と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成 Major achievement

伊東佑将,胡　雪氷,土屋新平,森田直樹,荒井哲司,佐藤哲也,中川清和

2009 年秋季第70 回応用物理学会学術講演会  2009.9  応用物理学会

μ波プラズマ加熱による金属の選択加熱現象を利用した多結晶シリコン形成技術2

荒井哲司,有泉　慧,池野祐喜,板山泰裕,有元圭介,山中淳二,佐藤哲也,他4人

第56回応用物理学関係連合講演会  2009.3  応用物理学会

マイクロ波プラズマ加熱による非晶質酸化チタン薄膜の結晶化 Major achievement

佐藤哲也,過　皓晟,本郷健太,村松親雄,今村友一,他５名

第56回応用物理学関係連合講演会  2009.3  応用物理学会

メタン凝縮層の低速電子線衝撃による炭素薄膜の極低温合成（II） Major achievement

佐藤哲也,井草裕志,伊東佑将,小林憲明,荒井哲司,他２名

第56回応用物理学関係連合講演会  2009.3  応用物理学会

金属イオンによって変化するビオロゲン誘導体の光還元特性

今村友一,桑原哲夫,佐藤哲也

第56回有機合成化学協会関東支部シンポジウム  2008.11 

分光エリプソ法によるSi3N4/GeNx/Ge構造の光学的評価

福田幸夫，,王谷洋平，,佐藤哲也，,坂口明生，,小野俊郎

2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会  2008.9  応用物理学会

マイクロ波プラズマCVD法によるゲート酸化膜の形成 Major achievement

平田真大,有元圭介,山中淳二,佐藤哲也,その他5人

2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会  2008.9  応用物理学会

メタン凝縮層の低速電子線衝撃によるダイヤモンド状アモルファス炭素膜の極低温合成 Major achievement

伊東佑将,その他５人

2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会  2008.9  応用物理学会

ECR酸素プラズマ照射がGeNx/Ge界面特性に及ぼす影響

王谷洋平,福田幸夫,佐藤哲也,中川清和,豊田宏,小野俊郎

第25回強誘電体応用会議  2008.5  強誘電体応用会議　運営委員会

低速電子誘起反応と極低温トンネル反応により合成したSiNxの電気特性評価 Major achievement

林憲明，その他6名

第55回応用物理学関係連合講演会  2008.3 

ECR法によるSi3N4/GeNx/Ge MISキャパシタ界面特性の成膜温度依存性

笠原康司,その他5名

第55回応用物理学関係連合講演会  2008.3  応用物理学会

ECR 法によるGeNx 形成前のECR 酸素プラズマ照射の効果に関する検討

王谷洋平, 他5名

第55回応用物理学関係連合講演会  2008.3  日本応用物理学会

有機フィルム基板上へのSiNxおよびa-Si:Hの極低温形成 Major achievement

佐藤哲也, 他6名

第50 回放射線化学討論会  2007.10  日本放射線化学会

低速電子誘起成膜法によるSiNxの極低温合成と物性評価 Major achievement

小林 憲明,その他7名

第50 回放射線化学討論会  2007.10  日本放射線化学会

低速電子線誘起堆積法とH原子トンネル反応を利用した水素化アモルファスシリコンの合成 Major achievement

佐藤哲也, 小林憲明, 今村友一, 中川清和, 佐藤昇司

第54回応用物理学関係連合講演会  2007.3  応用物理学会

シリコン窒化膜の極低温合成に関する研究 Major achievement

小林憲明, 今村友一,佐藤哲也,中川清和, 佐藤昇司

第49回放射線化学討論会  2006.10  日本放射線化学会

低速電子誘起化学気相成長法によるSiNx膜の極低温合成

佐藤哲也,小林憲明,今村友一,三井実,中川清和,青木裕,佐藤昇司

2006年秋季　第67回応用物理学会学術講演会  2006.8 

TEOS-SiO2の界面準位密度と酸化膜内欠陥密度（Ⅱ）

荒井哲司,平田真大,土屋勇介,三井実,有元圭介,佐藤哲也,中川清和,福田幸夫,高松利行,佐藤昇司

2006年秋季　第67回応用物理学会学術講演会  2006.8 

ＴＥＯＳ酸化膜の界面準位密度と酸化膜内欠陥密度 Major achievement

土屋勇介,他8人

第53回応用物理学関係連合講演会  2006.3  応用物理学会

低速電子誘起成膜法によるシリコン半導体薄膜の極低温合成 Major achievement

佐藤哲也, 三井実, 中川清和, 青木裕, 佐藤昇司

第47回　放射線化学討論会  2005.10  日本放射線化学会

Formation of microcrystalline Silicon and SiNx films by electron- beam-induced-chemical vapor deposition at ultra low temperature Major achievement

Fourth International Conference on　Silicon Epitaxy and Heterostructures (ISCI-4)  2005.5 

微結晶シリコンの極低温形成 Major achievement

佐藤哲也,その他6人

2005春季第52回応用物理関係連合講演会  2005.3  日本応用物理学会

Synthesis of Microcrystalline Silicon Films by Low Energy Electron-Beam-Induced Deposition at Cryogenic Temperature Major achievement

Group-IV Semiconductor Nanostructures, edited by Leonid Tsybeskov, David J. Lockwood, Christophe Delerue, and Masakazu Ichikawa (Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 832, Warrendale, PA , 2005),  2004.12 

電子誘起成膜法によるシリコン系半導体薄膜の合成と物性評価 Major achievement

佐藤哲也,他5名

第47回放射線化学討論会  2004.10  日本放射線化学会

極低温で合成した半導体薄膜の表面分析

佐藤哲也

2004JEOL　EPMA・表面分析ユーザーズミーティング  2004.9  日本電子株式会社

低速電子照射による微結晶Siの低温形成

佐藤哲也,その他6名

2004秋季第65回応用物理学会学術講演会  2004.9  応用物理学会

極低温反応によるシリコン系薄膜の合成 Major achievement

佐藤哲也，望月慎高，中川清和,青木裕, 佐藤昇司, 宮田千治, 高松利行

第51回応用物理学関係連合講演会  2004.3  日本応用物理学会

極低温反応によるa-Si:Hおよびμc-Si:H薄膜の形成

望月慎高，佐藤哲也，三井実，中川清和，佐藤昇司，宮田千治

第51回応用物理学関係連合講演会  2004.3  日本物理学会

ホルムアルデヒド及びメタノール薄膜と水素原子との極低温トンネル反応に関する研究 Major achievement

上野敏幸,他8人

第46回放射線化学討論会  2003.9  日本放射線化学会

単原子分子（Ar, Kr, Xe）薄膜の400eV Ne+イオン衝撃によるTOF-SIMS Major achievement

雨宮僚,上原涼,佐藤哲也,平岡賢三

第51回質量分析総合討論会  2003.5  日本質量分析学会

極低温トンネル反応によるa-Si:H薄膜の合成 Major achievement

高島英彰,他5人

第50回応用物理学関係連合講演会  2003.3  応用物理学会

リニア直衝突/多重反射型飛行時間質量分析装置の開発と応用 Major achievement

佐藤哲也

日本質量分析学会創立50周年記念若手講演会  2002.11  日本質量分析学会

Chemical synthesis by means of low temperature tunneling reaction : from interstellar molecules to thin film semiconductors Major achievement

4th International Conference on Low Temperature Chemistry  2002.8 

Study on the tunneling reaction of H atoms in interstellar ices Major achievement

4th International Conference on Low Temperature Chemistry  2002.8 

MSのイオン化の進歩と未来 Major achievement

佐藤哲也

第50回質量分析総合討論会  2002.5  日本質量分析学会

Si2H6薄膜とＨ原子の極低温トンネル反応によるSi薄膜の形成 Major achievement

佐藤昇司,他6人

Si2H6薄膜とＨ原子の極低温トンネル反応によるSi薄膜の形成  2002.3  応用物理学会

Ｈ原子GeH4薄膜との極低温トンネル反応によるGe薄膜の形成 Major achievement

曽越宣仁,他6人

第49回応用物理学関係連合講演会  2002.3  応用物理学会

水素原子とシラン薄膜の極低温トンネル反応：シリコン薄膜の形成

佐藤哲也,他11人

第42回真空に関する連合講演会  2001.10  日本真空学会

vdW薄膜のHe＋イオン衝撃：二次イオン強度の膜厚依存性 Major achievement

佐藤哲也,他4人

第26回原子衝突研究協会研究会  2001.8  原子衝突研究協会研究会

水素原子の固相トンネル反応を利用した新規な半導体薄膜形成法の開発 Major achievement

佐藤哲也,他9人

第49回質量分析総合討論会(2001)  2001.6  日本質量分析学会

SiH4薄膜とH原子の極低温トンネル反応によるSi薄膜の形成

鈴木克憲,他9人

第48回応用物理学関係連合講演会  2001.3  応用物理学会

水素原子の固相トンネル反応を利用した半導体薄膜形成のための極低温反応装置の開発（Ⅱ） Major achievement

佐藤哲也,他9人

第48回応用物理学関係連合講演会  2001.3  応用物理学会

Mathematics Exercise I Major achievement

2022Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

微分積分学担当

Introduction to Chemistry I Major achievement

2022Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

Mathematics Exercise II Major achievement

2022Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

微分積分学担当

Experiment of Chemistry Major achievement

2022Year  Type of subject：Other (undergraduate)

Advanced Quantum Material Science Major achievement

2021Year  Type of subject：Master's (Graduate School)

Spectroscopy Major achievement

2021Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

Experiment of Chemistry Major achievement

2021Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

Mathematics Exercise II Major achievement

2021Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

Mathematics Exercise I Major achievement

2021Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

Introduction to Chemistry I Major achievement

2021Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

Mathematics Exercise I Major achievement

2020Year  Type of subject：Common education (undergraduate)

Spectroscopy Major achievement

2020Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

Experiment of Chemistry Major achievement

2020Year

Mathematics Exercise II Major achievement

2020Year

Advanced Quantum Material Science Major achievement

2020Year  Type of subject：Master's (Graduate School)

Introduction to Chemistry I Major achievement

2020Year

応用工学実験Ⅰ Major achievement

2017Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

入門化学Ⅰ Major achievement

2017Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

入門化学Ⅰ Major achievement

2016Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

入門化学Ⅰ Major achievement

2012Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

実験を含む

化学実験 Major achievement

2012Year  Type of subject：Professional education (undergraduate)

エネルギー量子化学特論第二 Major achievement

2011Year  Type of subject：Master's (Graduate School)

量子物理化学特論 Major achievement

2011Year  Type of subject：Dr. (Graduate School)

地球環境化学とエネルギー Major achievement

2007Year  Type of subject：Common education (undergraduate)

量子材料システム工学特論 Major achievement

2005Year  Type of subject：Master's (Graduate School)

分子素子設計工学特論 Major achievement

2004Year  Type of subject：Dr. (Graduate School)

調査・レポート課題形式

基礎物理学I Major achievement

2004Year  Type of subject：Other (undergraduate)

化学実験

2004Year  Type of subject：Other (undergraduate)

サイエンスラボ 化学系講座「霧箱による放射線の観察」

Role(s)： Lecturer,　Advisor

日川高等学校  山梨大学 工学 B1号館―202実験室  2020.9

科学実験講座　実験工作教室「飛行機雲のように放射線を目で観察しよう」

Role(s)： Lecturer,　Demonstrator

山梨県立科学館  山梨県立科学館  2020.8

科学実験講座 実験工作教室「飛行機雲のように放射線を目で観察しよう」

Role(s)： Lecturer,　Demonstrator

山梨県立科学館  山梨県立科学館  2020.8

ＳＳＨサイエンスラボ 化学系講座　「天然色素を用いた太陽電池の作製」

Role(s)： Lecturer,　Advisor

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部　B1号館202  山梨大学工学部　B1-202  2019.8

ＳＳＨサイエンスラボ 化学系講座 「天然色素を用いた太陽電池の作製」

Role(s)： Lecturer,　Advisor

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部 B1号館202  山梨大学工学部 B1-202  2019.8

SSH山梨大学実験研修「環境化学と太陽電池」

Role(s)： Lecturer,　Advisor

韮崎高等学校  山梨大学工学部　T1号館-21、B1-202実験室  2019.8

天然色素を用いた太陽電池、霜箱

Role(s)： Media coverage,　Lecturer,　Advisor,　Demonstrator

山梨大学、山梨英和中学校・高等学校、山梨県立男女共同参画推進センターぴゅあ総合 共催事業  ガールズサイエンスcafe@山梨  山梨県防災新館  2018.9

天然色素を用いた太陽電池、霜箱

Role(s)： Media coverage,　Lecturer,　Advisor,　Demonstrator

山梨大学、山梨英和中学校・高等学校、山梨県立男女共同参画推進センターぴゅあ総合 共催事業  ガールズサイエンスcafe@山梨  山梨県防災新館  2018.9

ＳＳＨサイエンスラボ「宇宙に学ぶ新エネルギー材料創成」

Role(s)： Lecturer,　Advisor

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部　B1号館202  山梨大学工学部　B1-202  2018.8

ＳＳＨサイエンスラボ「宇宙に学ぶ新エネルギー材料創成」

Role(s)： Lecturer,　Advisor

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部 B1号館202  山梨大学工学部 B1-202  2018.8

SSH「環境化学と太陽電池」

Role(s)： Lecturer,　Advisor

韮崎高等学校  山梨大学工学部　T1号館-21、B1-202実験室  2018.8

第21回リフレッシュ理科教室

Role(s)： Advisor

応用物理学会、山梨大学、山梨県立科学館  2018.8

太陽電池工作教室ーぶどうで発電

Role(s)： Media coverage,　Lecturer,　Advisor,　Demonstrator

山梨県立科学館、キャリアハウス「ティーチサイエンス」  科学探求講座事業  山梨県立科学館  2018.3

太陽電池工作教室ーぶどうで発電

Role(s)： Lecturer,　Advisor,　Demonstrator

甲州市中央公民館  2017.12

ＳＳＨサイエンスラボ「天然色素で太陽電池をつくろう」

Role(s)： Lecturer,　Advisor

山梨県立日川高等学校  山梨大学工学部　B1号館202  2017.8

SSHサイエンスセミナー「宇宙に学ぶ新エネルギー材料創成」

山梨県立都留高等学校  都留高等学校  2014.8

日本物理学会

1988.9