Organization
Graduate Faculty of Interdisciplinary Research Faculty of Engineering Materials Science (Science for Advanced Materials) Professor
Title
Professor
Kondo Eiichi
Research History
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山梨大学教授
2007.11
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山梨大学助教授
2000.10
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九州工業大学助教授
1998.7
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IMEC（ベルギー）エキスパート研究員
1997.5
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IMEC（ベルギー）研究員
1996.5
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マックスプランク金属研究所
1995.4
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川崎製鐵（株）ハイテク研究所主任研究員
1994.7
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川崎製鐵（株）（現JFEスチール）入社
1987.4
Education
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Waseda University
- 1987.3
Country： Japan
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Waseda University
- 1985.3
Country： Japan
Degree
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Doctor (in Engineering) ( Kyoto University )
Current state of research and teaching activities
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・フィールドを対象とした測定・分析
・電波科学教育、無線通信を通じたキャリア教育
・アマチュア無線を活用したワイヤレス人材育成
Research Areas
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Manufacturing Technology (Mechanical Engineering, Electrical and Electronic Engineering, Chemical Engineering) / Electric and electronic materials / Micro Materials Science
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Nanotechnology/Materials / Nanomaterials
Research Interests
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Thin films
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Microfabrication
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LSI processing
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エレクトロニクス実装
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Application of supercritical fluids
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エレクトロニクス実装
Subject of research
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Science and Processing in LSI Materials
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Green Micro Processing
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アマチュア無線を活用したワイヤレス人材育成教育
Research Projects
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次世代集積回路配線と液体／金属接面in-situ計測：どこまでわかりどう使うか？
Grant number：22K04182 2022.4 - 2025.3
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C)
近藤 英一, 金 蓮花
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Development of a Mueller Matrix Microscope
Grant number：20K04518 2020.4 - 2023.3
Japan Society for the Promotion of Science University of Yamanashi Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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Thermochemical dry etching of hard-to-plasma-etch materials by using supercritical fluids
2019.4 - 2022.3
Authorship：Principal investigator Type of fund：：Science research expense
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ナノSi結晶とワイドギャップ半導体の複合化プロセスの開発とデバイス提案
2016.4 - 2019.3
近藤英一、金蓮花 ベルナール ジェロー
Authorship：Principal investigator Type of fund：：Science research expense
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Development and application of optical model for object recognition with the polarization fingerprint
Grant number：15K04694 2015.4 - 2018.3
Japan Society for the Promotion of Science University of Yamanashi Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
JIN Lianhua
The intensity distribution and polarization state of scattering depend on the sample surface. The polarization information in the scattered light differs according to the refractive index and surface roughness of the sample, and the wavelength of the probe light. "Polarized light fingerprint" characterizes the polarization properties of scattered light spreading in a three-dimensional space as a two-dimensional pattern. In this research, to have clear relationship of "polarized light fingerprint" with several factors, we carried on from the measurement system development to fundamental measurements and analysis, and found certain theories on the scattering surface.
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Construction and its application of the polarization fingerprint
Grant number：24560043 2012.4 - 2015.3
Japan Society for the Promotion of Science University of Yamanashi Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
JIN Lianhua, KONDOH Eiichi
This project aims to build the “polarization fingerprint” of an object, which includes complete information on light scattered by the object surface. In this project, following works were fulfilled: i) proposed definition of the polarization fingerprint, ii) developed polarization fingerprint measurement system, iii) constructed polarization fingerprint of the metal and dielectric samples, iv) established simple scattering model and carried on theoretical analysis.
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Interconnect formation for high-band-width packaging
Grant number：23656213 2011 - 2012
Japan Society for the Promotion of Science University of Yamanashi Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
KONDOH Eiichi
Bio veins such as amoeboid organism form an efficient network. A high speedelectronic circuit can be fabricated via giving electric conductivity to the bio veins. Inthis work, bio vein surfaces were were metallized using a metal deposition techniquefrom supercritical fluids, where a metal chelate was reduced by hydrogen dissolved inthe fulid. A few of micron-thick Cu or Pt was successfully deposited on non-conductivebio veins without special pretreatment. The tissues did not show a significantdegeneration upto about 200℃.
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Multiscale control of supercritical fluid thin film processing using fluctuation imaging ellipsometry
Grant number：21360147 2009 - 2011
Japan Society for the Promotion of Science University of Yamanashi Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
KONDOH Eiichd, JIN Lianhua, KAKIO Shoji, WATANABE Mitsuhiro
This project aims to establish experimental ways to "characterize" and "tame" the multiscale fluctuations present in supercritical fluids in terms of micro and nano electronic applications. The subprojects are three-fold : 1. Measurements of local fluctuation at the surface/interface of a substrate using ellipsometry, and its application to novel processing. 2. Development of a fast fluctuation imaging ellipsometer. 3. Development of novel surface acoustic wave sensors for measuring fluid fluctuation
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触媒作用を利用したシリコンへの微細配線形成技術の開発
Grant number：20035008 2008 - 2009
日本学術振興会 科学研究費助成事業 特定領域研究
松村 道雄, 池田 茂, 原田 隆史, 平井 豪, 近藤 英一
触媒反応を利用したウエットプロセスによるシリコンの微細加工技術開拓の基礎として、触媒針を用い、その電位を外部から制御しながらそれをシリコンウエハに接触させ、シリコンへの孔形成過程を詳しく調べた。
触媒針として直径100μmの細線を、金属の種類を変えて用いて孔形成を調べると、Ir,Pt,Pdにより良好な細孔が形成された。ある速度での孔形成を実現するための電位は、Pdが最も低く、IrとPtはほぼ同程度であった。このことは、Pdが孔形成の触媒能が強いことを示しているが、孔の形状を制御しにくいという問題があることが分かった。
直径100μmPt針電極を用いて、シリコンウエハの特性と孔形成の関係を調べると、同じ電位においては、p型、n型によらず、ほぼ同じ速度で孔形成が起こることが確認された。ただし、p型のウエハに対しては、形成される孔に対して多くの電流が流れ、特に、比抵抗の小さいウエハについては、孔形成の電流効率は0.1%程度にまで低下した。
一方、n型のウエハでは、電流効率が高く、1Ωcm以上の比抵抗のシリコンウエハについては、20%以上の電流効率となった。
これらの結果に基づいて、触媒針とシリコンの接触箇所の周辺において、シリコンの電位分布が触媒針の電位、針と溶液界面の電気二重層、シリコンと溶液界面の電気二重層などにより決まっており、それらによってシリコンウエハの特性により、触媒針接触部分での溶解と、シリコン内への正孔注入の量的関係が変化するモデルを提唱した。
孔の位置制御のために、マニュピュレーター付触媒針による加工装置を作製し、任意の形状の溝形成が行えることを実証した。
ドライプロセスによる微細孔形成、SiCへの微細孔形成は、その速度が遅く、良好な微細加工技術への展開の見通しは立っていない。 -
超高密度流体中での動的溶解度制御を利用した形状敏感型自己整合ナノプロセス
Grant number：19026005 2007
日本学術振興会 科学研究費助成事業 特定領域研究
近藤 英一
本研究は,機能性超高密度流体中(超臨界流体や亜臨界流体など)で実現する「形状敏感」プロセス(凹部へ選択的に物質を堆積、形成する技術)により,スケール限界なくナノ構造体の作製を可能足らしめる堆積技術を実現することを目的とするものである。
高密度流体中では堆積原料の多層吸着とそれに伴う毛管凝集を利用するもので微細凹構造が自己整合・選択的に埋め込まれる。下地の触媒作用を利用するのではないため,原理的にスケール限界前工程パターニングが簡単である。
形状敏感特性を検討するため,TaNコート下地に加え,あえてパターンつき酸化膜下地を用いた。パターンは集積回路配線用テストパターンで,80〜300nm幅のヴィア/トレンチである。実験条件は,圧力約20MPa,温度210〜250℃,時間8〜30min,原料はCu(dibm)225mg/cc,水素添加圧力(有の場合)は0.8MPaである。
Cu(dibm)2の融点以上でかつCu析出反応が起きないよう155℃まで加熱した後,降温・除圧したところ,ヴィア孔のコーナー部にのみ凝集・堆集物が確認された。次に反応開始温度以上まで昇温したところ,ヴィア/トレンチ内に優先的に堆積堆積が生ずることを確認できた。表面の堆積物はヴィア孔内の凝集・充填物を基点として成長した。さらに,原料の導入導入量を多くすることで,埋め込み性が向上することを確認した。
以上から,前記した充填メカニズムを概略確認することができた。XTEM-EDX分析ではヴィア内のCuは単結晶であり,底コーナー部の残渣様の物質はヴィアCu部に比べてC,Oなどの有機成分を多く含んでいることがわかった。本特定領域研究においては,この凝集機構を堆積温度の動的変化を利用した微細構造内にCuを選択的に成長させ,その条件,ならびにメカニズムの検討を行った。メカニズムの検討は概略完了した。 -
Development of topography-sensitive nano device processing aided by in-situ ellipsometry in supercritical fluids
Grant number：18206031 2006 - 2008
Japan Society for the Promotion of Science University of Yamanashi Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
KONDOH Eiichi
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Development of Novel, High-Speed, and Environmentally-Friendly Thin Film Deposition Technology using Supercritical Carbon Dioxide Fluids
Grant number：15360162 2003 - 2005
Japan Society for the Promotion of Science University of Yamanashi Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
KONDOH Eiichi
This project was aimed to providing a novel and environmentally-friendly technology for depositing thin films for highly-integrated and highly-functioning device applications using supercritical carbon dioxide fluids.
In this project, we have developed a new deposition processor that allows independent control of deposition processor that functions like common thin film processors. Hydrogen reduction chemistry of Cu chelates was employed to deposit Cu thin films, minding to apply to ULSI metallization. It was found that Cu deposition proceeds through Langmuir-Hinshelwood deposition mechanism and that hydrogen chemisorption is the rate-determining step for Cu growth. Deposition comformability and gap-filling capability were also studied with respect to the deposition mechanism. The guiding principles for increasing deposition rate and improving gap-fill capability were found to be to promote hydrogen supply and its smooth chemisorption. The unreacted deposition precursor was collected at the exhaust of the deposition processor and was purified for its reuse/recyling.
New deposition chemistries were also studied such as for Pt, Ru, and ZnO deposition. Nano components for MEMS/NEMS applications, for instance, nano rods and thorough vias for 3-dimensional integrated circuits, were fabricated with these materials, availing deep and high-aspect ratio deposition capability of this technology.
In summary, we have accomplished our proposals on this technology and have succeeded to develop its new applications. -
超臨界流体を利用した配線形成技術の研究
Grant number：14040210 2002
日本学術振興会 科学研究費助成事業 特定領域研究
近藤 英一
超臨界CO2は,液体なみの高密度,気体なみの高拡散性・低粘性,さらにゼロ表面張力や溶媒能を兼ね備えた,特異な流体である.安定,安価,無害,低コストであり,リサイクル性もあることから,食品産業などですでに工業的に利用されている.半導体製造プロセスでも,洗浄・乾燥工程や,低誘電率薄膜の作製工程で,超臨界CO2の利用が試みられている.
この超臨界CO2を金属堆積のための反応場として用い,有機金属を溶解させ,ナノ空間構造内にCu堆積加工が可能であることを実証した.膜は(111)配向しており,信頼性の高い膜質であることを確認した.比抵抗2.15μΩ.cmと十分低い値が得られた.さらに,きわめて高い反射率が得られた。堆積は, Fe,Au,WN,TiN,TaNなど導電性下地上に優先的に起こった。原料のCuへの転換率はきわめて高いことも判明した.化学気相蒸着法にくらべて100℃以上のプロセス低温化が可能であることを確認した.このような優れた特長が、CO2の溶媒能に由来することを,超臨界Ar流体との比較検討を行うことで,確認した.
Papers
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Maximum thickness determinable by imaging ellipsometry Reviewed
Lianhua Jin, Yoriatsu Kitamura, Eiichi Kondoh, and Bernard Gelloz
Japanese Journal of Applied Physics 2023.10
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“Reflection and transmission ellipsometry measurement under incoherent superposition of light Reviewed
2023.9
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Thin layer growth on cobalt surface in solutions simulating slurry chemistry for chemical mechanical polishing Reviewed
Eiichi Kondoh, Shota Takeuchi, Lianhua Jin, Ryota Koshino, Satomi Hamada, and Hirokuni Hiyama
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2022.6( ISSN：0021-4922 )
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Influence of Plasma Surface Treatment of Polyimide on the Microstructure of Aluminum Thin Films Reviewed
Eiichi Kondoh
Coatings 12 ( 3 ) 334 2022.3
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Characterization of thin films from reflection and transmission ellipsometric parameters Reviewed
Lianhua Jin, Sota Mogi, Tsutomu Muranaka, Eiichi Kondoh, and Bernard Gello
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 61 ( 1 ) 018004 2022.1( ISSN：0021-4922 eISSN：1347-4065 )
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Hydrosilylation of High Porosity Porous Silicon with 1-Hexene in Supercritical CO2 Fluid Reviewed
Naoto Takura, Lianhua Jin, Eiichi Kondoh, and Bernard Gelloz
ECS Journal of Solid State Science and Technology 10 ( 11 ) 116005 2021.11( ISSN：2162-8769 eISSN：2162-8777 )
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Lateral ellipsometry resolution for imaging ellipsometry measuremen Reviewed
Lianhua Jin, Eiichi Kondoh, Yuki Iizuka, Motoyuki Otake, and Bernard Gelloz
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 60 ( 5 ) 058003 2021.4( ISSN：0021-4922 eISSN：1347-4065 )
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Synthesis and Characterization of Ni-Pt Alloy Thin Films Prepared by Supercritical Fluid Chemical Deposition Technique Reviewed
Sudiyarmanto Eiichi Kondoh
Nanomaterials 11 2021.1
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Enhancing resistant starch content in brown rice using supercritical carbon dioxide processing Reviewed
Masahiro Matsubara Yasuhisa Nakato Eiichi Kondo
JOURNAL OF FOOD PROCESS ENGINEERING 2020.12( ISSN：0145-8876 )
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Hydrosilylation of High Porosity Porous Silicon with 1-Hexene in Supercritical CO2 Fluid Reviewed
Takura Naoto, Lianhua Jin, Eiichi Kondoh and Bernard Gelloz
98 ( 2 ) 131 - 137 2020.10( ISSN：1938-6737 ISBN：9781607688976 eISSN：1938-5862 )
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Supercritical Fluid Processing for Microfabrication Reviewed
Eiichi Kondoh
86 ( 9 ) 672 - 674 2020.9
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エリプソメトリック顕微鏡 ～斜め観測用顕微鏡の設計とその応用～ Reviewed
金 蓮花 上原 誠 ジェローズ ベルナール 近藤 英
精密工学会誌 86 ( 7 ) 533 - 536 2020.8
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ミューラー行列の数値解析による多素子列偏光システムにおける各素子の
金 蓮花 春日翔貴 近藤英一 高和宏行
光学 49 ( 7 ) 289 - 295 2020.7
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Design of a spectroscopic imaging ellipsometer
Lianhua Jin, Makoto Uehara, Takashi Iwao, Yuki Iizuka, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz
2020.6
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Kinetics of Ni thin film synthesis by supercritical fluid chemical deposition Reviewed
Sudiyarmant Eiichi Kondoh
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 59 2020.5( ISSN：0021-4922 )
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Growth kinetics of Cu surface layers in H2O2–BTA aqueous solutions Reviewed
Eiichi Kondoh1 Mao Toyama Linhua Jin Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 59 2020.4( ISSN：0021-4922 )
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Imaging ellipsometry measurement noises associated with non-uniform retardation of the compensator Reviewed
Lianhua Jin, Yuki Iizuka, Eiichi Kondoh, Makoto Uehara, Bernard Gelloz
OPTICAL REVIEW 27 ( 1 ) 73 - 80 2020.2( ISSN：1340-6000 eISSN：1349-9432 )
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Calibration of the retardation inhomogeneity for the compensator-rotating imaging ellipsometer Reviewed
Lianhua Jin, Yuki Iizuka, Takashi Iwao, Eiichi Kondoh, Makoto Uehara, and Bernard Gelloz
APPLIED OPTICS 58 ( 33 ) 9224 - 9229 2019.11( ISSN：1559-128X eISSN：2155-3165 )
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Facile and efficient gas-phase pressure-controlled thermal functionalization of nanocrystalline porous silicon with 1-hexene Reviewed
Bernard Gelloz, Takuma Iriyama, Naoto Takura, Eiichi Kondoh, and Lianhua Jin
ECS Journal of Solid State Science and Technology 8 ( 9 ) R109 - R112 2019.8( ISSN：2162-8769 )
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Imaging ellipsometry of porous silicon
L. Jin, T. Akiyama, Y. Iizuka, E. Kondoh, and B. Gelloz
Proceedings of SPIE 11142 1114201-77 2019.4
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Room-Temperature Formation of Intermixing Layer for Adhesion Improvement of Cu/Glass Stacks Reviewed
Mitsuhiro Watanabe, Eiichi Kondoh
IntechOpen 2019.2
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Photoetching of Porous Silicon Nanostructures in Hydrofluoric Acid using Monochromatic Light Reviewed
Bernard Gelloz, Hiroyuki Fuwa, Eiichi Kondoh, Lianhua Jin
ECS Journal of Solid State Science and Technology 7 ( 12 ) P730 - P735 2018.12( ISSN：2162-8769 eISSN：2162-8777 )
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Cu Wiring Fabrication by Supercritical Fluid Deposition for MEMS Devices Invited Reviewed
Eiichi Kondoh
IntechOpen 4 47 - 62 2018.11
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Extraction of properties of individual component for the retarder – linear diattenuator – retarder system and its application
L. Jin, E. Kondoh, H. Kowa, B. Gelloz
108190 108190R 2018.10
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Dimensional measurement of internal profile using the optical caliper
L. Jin, N. Miyatsu, E. Kondoh, B. Gelloz, N. Kanazawa, T. Yoshizawa
108190 108190K 2018.10
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超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積 Reviewed
近藤英一
Journal of the Society of Inorganic Materials, Japan 25 ( 397 ) 431 - 436 2018.9
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Oxygen-assisted platinum etching in supercritical carbon dioxide fluids using hexafluoroacetylacetone Reviewed
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57 07ME01-1 - 07ME01-2 2018.7( ISSN：0021-4922 )
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Flat-shaped microfluidic optical cell for in situ ellipsometry using glass slide as optical window component Reviewed
Eiichi Kondoh, Koki Segawa, Lianhua Jin, Satomi Hamada, Shohei Shima, and Hirokuni Hiyama
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57 ( 7 ) 07MD01-1 - 07MD01-2 2018.7( ISSN：0021-4922 )
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超臨界流体を用いた薄膜堆積・微細埋め込みと関連技術 Invited
近藤英一
機能材料 38 ( 6 ) 13 - 19 2018.6
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Measurement of diameter of cylindrical openings using a disk beam probe Reviewed
Lianhua Jin, Nobuto Miyatsu, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz, Naobumi Kanazawa, and Toru Yoshizawa
OPTICAL REVIEW 25 ( 6 ) 656 - 662 2018.6( ISSN：1340-6000 eISSN：1349-9432 )
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Extracting calibrated parameters from imaging ellipsometric measurement Reviewed
Lianhua Jin, Takumi Tanaka, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz, and Makoto Uehara
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56 ( 11 ) 116602-1 - 116602-6 2017.10( ISSN：0021-4922 )
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Polarization characteristics of diffraction scattering from metal rough surface Reviewed
L. Jin, T. Taguchi, E. Kondoh, and B. Gelloz
APPLIED SURFACE SCIENCE 421 565 - 570 2017.10( ISSN：0169-4332 )
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DENSITY EVALUATION OF SUB-100 nm PARTICLES BY USING ELLIPSOMETRY
Eiichi Kondoh Katsuya Suzuki Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
Proceedings of International Conference of Planarization/CMP Technology 60 - 64 2017.10
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Use of Metal Oxide as a Cu/Glass Adhesion Promoting Layer Reviewed
Chisato Hayashi Mitsuhiro Watanabe Eiichi Kondoh
68 ( 12 ) 723 - 726 2017.6
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Structures of Cu surfaces developing in benzotriazole solutions: Effect of pH Reviewed
Eiichi Kondoh Tatsuya Kawakami Mitsuhiro Watanabe Linhua Jin Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56 07KH01-1 - 07KH01-6 2017.6( ISSN：0021-4922 )
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Removal of organic template of mesoporous organosilicate thin films using supercritical carbon dioxide fluids Reviewed
Eiichi Kondoh1 Koki Segawa Mitsuhiro Watanabe Lianhua Jin Liping Zhang Mikhail R. Baklanov
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56 ( 7 ) 07KF02-1 - 07KF02-4 2017.6( ISSN：0021-4922 eISSN：1347-4065 )
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Fe- or Fe oxide-embedded anodic alumina membrane for nanocarbon growth―fabrication of membrane and observation of initial nanocarbon growth Reviewed
MICROELECTRONIC ENGINEERING 176 58 - 61 2017.2( ISSN：0167-9317 )
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Optical Absorption and Quantum Confinement in Porous Silicon Nanostructures Studied by Chemical Dissolution in HF Solutions and Photoconduction Reviewed
ECS Journal of Solid State Science and Technology 6 ( 1 ) R1 - R6 2017.1( ISSN：2162-8769 )
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In situ ellipsometry of Cu surfaces immersed in benzotriazole-hydrogen peroxide solutions Reviewed
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55 ( 6S3 ) 1 - 6 2016.6( ISSN：0021-4922 )
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Extraction of polarization properties of the individual components of a layered system by using spectroscopic Mueller matrix analysis Invited Reviewed
OPTICS EXPRESS 24 ( 9 ) 9757 - 9765 2016.5( ISSN：1094-4087 )
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Ellipsometric measurement of particle-spiked wafer surfaces
Proceedings of 2015 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT) 188 - 190 2016.4
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Supercritical carbon dioxide etching of transition metal (Cu, Ni, Co, Fe) thin films Reviewed
Md Rasadujjaman, Yoshiki Nakamura, Mitsuhiro Watanabe, Eiichi Kondoh, and Mikhail R. Baklanov 153 ( 3 ) 5 - 10 2015
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Supercritical fluid chemical deposition of Cu in Ru and TiN-lined deep nanotrenches using a new Cu(I) amidinate precursor Reviewed
Md Rasadujjaman, Mitsuhiro Watanabe, Hiroshi Sudoh, Hideaki Machida, and Eiichi Kondoh, 137 ( 10 ) 32 - 36 2015
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Polarization characteristics of scattered light from macroscopically rough surfaces Reviewed
Lianhua Jin, Koji Yamaguchi, Mitsuhiro Watanabe, Shinichiro Hira, Eiichi Kondoh, and Bernard Gelloz 22 ( 4 ) 511 - 520 2015
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Selective Cu fillingof nanopores using supercritical carbon dioxide Reviewed
Eiichi Kondoh, Yukihiro Tamegai, Mitsuhiro Watanabe, and Lianhua Jin 54 ( 5S ) 05EA02-1 - 05EA02-4 2015
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Agglomeration and diffusion in Cu thin films under supercritical CO2 annealing Reviewed
Yoshiki Nakamura, Mitsuhiro Watanabe, and Eiichi Kondoh 54 ( 5S ) 05EA03-1 - 05EA03-4 2015
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Formation of zinc oxide thin film using supercritical fluids and its application in fabricating a reliable Cu/glass stack Reviewed
Mitsuhiro Watanabe, Shigeaki Tamekuni, and Eiichi Kondoh 141 ( 6 ) 184 - 187 2015
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Dispersion measurement of the electro-optic coefficient r22 of the LiNbO3 crystal with Mueller matrix spectropolarimetry Reviewed
Lianhua Jin, Kouhei Nara, Kuniharu Takizawa, and Eiichi Kondoh 54 ( 7 ) 2015
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Supercritical CO2 reactor for wafer-scale thin film deposition: reactor concept, numerical results, and Cu deposition Reviewed Major achievement
Eiichi Kondoh, Takahiro Ueno, Shuhei Kurita, Mitsuhiro Watanabe, Satoshi Yamamoto, and Tatsuo Suemasu 591 ( 9 ) 13 - 17 2015
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Fabrication of a Cu/Ni stack in supercritical carbon dioxide at low-temperature Reviewed
Md Rasadujjaman,Mitsuhiro Watanabe, Hiroshi Sudoh, Hideaki Machida, and Eiichi Kondoh 591 ( 9 ) 13 - 17 2015
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Correction of large retardation window effect for ellipsometry measurements using quasi-Newton method Reviewed
Lianhua Jin, Syouki Kasuga, Eiichi Kondoh, and Bernard Gelloz 54 ( 10 ) 2991 - 2998 2015
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塗布法によって堆積したZnO薄膜を用いたCu/ガラス構造の密着性向上ならびにその形成条件の検討 Reviewed
渡邉満洋, 小池光海, 近藤英一
表面技術 66 ( 11 ) 534 - 539 2015
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In situ imaging ellipsometer using a LiNbO3 electrooptic crystal Reviewed
Thin Solid Films 571 532 - 537 2014
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Improvement of adhesion and interfacial diffusion behavior in Cu/glass structures using OsOx layers for microelectromechanical systems Reviewed
Microelectronic Engineering 120 ( 5 ) 59 - 66 2014
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Room-temperature intermixing for adhesion enhancement of Cu/SiO2 interface by adopting SiO2 surface dope and noble metal catalyzation Reviewed Major achievement
Japanese Journal of Applied Physics 53 ( 5 ) 05GA02-1 - 05GA02--6 2014
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Cu coating inside small (15um) and ultrahigh-aspect-ratio (> 130) through-holes using supercritical CO2 fluid Reviewed Major achievement
Japanese Journal of Applied Physics 53 ( 5 ) 05GA08-1 - 05GA08--7 2014
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Codeposition of Cu/Ni thin films from mixed precursors Reviewed
Japanese Journal of Applied Physics 53 ( 5 ) 05GA07-1 - 05GA07-5 2014
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Design of a Multi-Wafer Reactor for Supercritical Fluid Deposition of Cu in Mass Production: (1) Reaction Mechanism and Kinetics Reviewed
Journal of Chemical Engineering of Japan 47 ( 9 ) 737 - 742 2014
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In situ observation of Pt deposition process by using spectroscopic ellipsometry Reviewed
Microelectronic Engineering 121 ( 6 ) 39 - 41 2014
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Nanohole Coat/Fill with Pt via Chemical Deposition in Supercritical Fluids Reviewed
Key Engineering Materials 617 184 - 186 2014
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Copper deposition in microporous silicon using supercritical fluid Reviewed
Thin Solid Films 567 ( 9 ) 82 - 86 2014
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Nickel filling in nanofeatures using supercritical fluid and its application to fabricating a novel catalyst structure for continuous growth of nanocarbon fibers Reviewed
APL Materials 2 ( 10 ) 100701 2014
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Design of a Multi-Wafer Reactor for Supercritical Fluid Deposition of Cu in Mass Production: (2) Benchmarks for Single- and Multiple-Wafer Reactors Reviewed
Journal of Chemical Engineering of Japan 47 ( 9 ) 743 - 749 2014
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General window correction method for ellipsometry measurements Reviewed
Optics Express 22 ( 23 ) 27811 - 27820 2014
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自己集積化ナノリソグラフィを利用したSiナノホールアレイ形成とCu埋め込み Reviewed
藤英一，玉井架，松村道雄
表面技術 64 ( 12 ) 659 - 661 2013.12
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超臨界流体を利用した生体組織のメタライズ Reviewed
近藤英一, 望月裕文, 渡邉満洋
表面技術 64 ( 8 ) 365 - 368 2013.8
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Supercritical fluid deposition of copper into mesoporous silicon Reviewed
Thin Solid Films 545 357 - 360 2013.8
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Adhesion Strength and Microstructure of Cu/Ni/OsOx/glass Structure for Highly-Reliable Cu Interconnection Reviewed
Materials Research Society (MRS) Online proceedings Library, 1559 2013.8
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Correction of large birefringent effect of windows for in-situ ellipsometry measurements Reviewed
Optics Letters 39 ( 6 ) 1549 - 1552 2013.6
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Room-Temperature Formation of a ZnO-Based Adhesion Layer for Nanoprecision Cu/Glass Metallization Reviewed
Japanese Journal of Applied Physics 52 ( 5 ) 05FB04-1 - 05FB04-6 2013.5
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Fast Imaging Ellipsometer Using a LiNbO3 Electrooptic Crystal Reviewed
Japanese Journal of Applied Physics 52 036702-1 - 036702-7 2013.2
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Effects of surface modification of carbon nanotube on platinum nanoparticle deposition using supercritical carbon dioxide fluid Reviewed
Phys. Status Solidi A 209 ( 12 ) 2514 - 2520 2012.9
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Resonance Properties of Surface Acoustic Wave Resonator in Supercritical CO2 Reviewed
Japanese Journal of Applied Physics 51 07GC18-1 - 07GC18-4 2012.7
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Birefringence Polarimeter Using Dual LiNbO3 Electrooptic Crystal Modulators Reviewed
Japanese Journal of Applied Physics 51 086801-1 - 086801-5 2012.7
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Preparationo fo Activated-Carobn-Supported Platinum Nanoparticles using Supercritical Fluid Chemical Deposition Reviewed
Journal of the Surface Finishing Society of Japan 63 ( 6 ) 365 - 368 2012.6
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Conformal Copper Coating of True Three-Dimensional Through-Holes Using Supercritical Carbon Dioxide Reviewed
Japanese Journal of Applied Physics 51 05EA01-1 - 05EA01-5 2012.5
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In-situ Spectroscopic Ellipsometry of the Cu Deposition Process from Supercritical Fluids: Evidence of an Abnormal Surface Layer Formation Reviewed
Japanese Journal of Applied Physics 51 05EA02-1 - 05EA02-11 2012.5
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Behavior of Surface Acoustic Wave Resonators in Supercritical CO2 Reviewed
Shoji Kakio,Katsuhiro Hayashi,Eiichi Kondoh,Yasuhiko Nakagawa
Japanese Journal of Applied Physics 50 07HD0 - 07HD1 2011.7
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In-situ ellipsometry of porous low-dielectric constant films in supercritical carbon dioxide Reviewed
Eiichi Kondoh,Shosaku Aruga
Microelectronic Engineering 88 623 - 626 2011.5
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Theoretical Analysis for the Fast Birefringence Measurement System using Dual Electro-optic Crystal Modulators Reviewed
L.Jin,Y. Masamura,E. Kondoh,H. Kowa,K. Takizawa
Journal of the Japanese Society for Experimental Mechanics ss198 - ss203 2011
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359 Theoretical Analysis for High-speed Birefringence Measurement System
SAITOU Takeshi, JTN Lianhua, KONDOU Eiichi, KOWA Hiroyuki, TAKIZAWA Kuniharu
2010 90 - 91 2010.10
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化学工学年鑑2009（§9.5 材料製造）
近藤英一（分担）
73 ( 10 ) 517 - 517 2010.10
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超臨界流体での化学的薄膜堆積－なせ被覆性・充填性に優れているのか－
近藤英一
表面技術 61 ( 8 ) 566 - 570 2010.8
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Initial Cu Growth in Cu-Seeded and Ru-Lined Narrow Trenches for Supercritital Fluid Cu Chemical Deposition Reviewed
Eiichi Kondoh,Masahiro Matsubara,Kakeru Tamai,Yukihiro Shimogaki
Japanese Journal of Applied Physics 49 ( 6 ) 05FA7 - 05FA9 2010.5
-
超臨界流体を用いたCu薄膜の作製と半導体素子の配線・実装応用
近藤英一,松原正弘
JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OD JAPAN 2009.10
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3次元集精機回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性の検討
近藤英一,松原正弘
表面技術 60 ( 8 ) 533 - 539 2009.8
-
Kinetics of Deposition of Cu Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solutions from a F-Free Copper(II) beta-Diketonate Complex Reviewed Major achievement
Masahiro Matsubara,Michiru Hirose,Kakeru Tamai,Yukihiro Shimogaki,Eiichi Kondoh
Journal of Electrochemical Society 156 ( 6 ) 443 - 447 2009.6
-
超臨界流体を用いた極微細孔構造体への金属充填技術
近藤 英一
ケミカルエンジニアリング 386 - 391 2009
-
Topography-sensitive copper deposition in supercritical solutions Reviewed
E.Kondoh,K.Nagano,C.Yamamoto,J.Yamanaka
Microelectronic Engineering 86 902 - 905 2009
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3次元集精機回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性の検討 Reviewed
近藤英一,松原正弘
表面技術 60 ( 8 ) 533 - 539 2009
-
超臨界流体でＩＣを加工
山梨日日新聞 2008.10
-
Conformal Deposition and Gap-Filling of Copper into Ultranarrow Patterns by Supercritical Fluid Deposition Reviewed
Takeshi Momose,Masakazu Sugiyama,Eiichi Kondoh,Yukihiro Shimogaki
Applied Physics Express 1 1 - 3 2008.9
-
超臨界流体中薄膜エリプソメトリ
近藤英一
Ｊａｓｃｏ ｒｅｐｏｒｔ 18 - 21 2008.9
-
Deposition of Zinc Oxide Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solutions Reviewed
Eiichi Kondoh,Kenji Sasaki,Yoichi Nabetani
Applied Physics Express 1 1 - 3 2008.6
-
Deposition Kinetics and Narrow-Gap-Filling in Cu Thin Film Growth from Supercritical Carbon Dioxide Fluids Reviewed
Eiichi Kondoh,Junpei Fukuda
Journal of Supercritical Fluids 44 466 - 474 2008.5
-
Condensation and cleaning of an organometallic copper compound to/from porous low-dielectric constant thin films in supercritical carbon dioxide Reviewed
E. Kondoh,E. Ukai,S. Aruga
Physica status solidi (c) 5 1219 - 1222 2008.5
-
超臨界流体を利用した薄膜形成技術とMEMS・NEMSプロセス応用
近藤英一
Material Stage 7 ( 5 ) 21 - 24 2007.8
-
Novel topography-sensitive bottom-up growth of ruthenium and copper for filling nano-features using supercritical CO2 fluids: beyond scalability Reviewed
Kondoh, E.,Hirose, M.,Ukai, E.,Nagano, K.:
Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 992 1 - 6 2007.5
-
Cu thin film deposition from supercritical carbon dioxide fluids using a flow-type depositon proecessor Reviewed
E. Kondoh,M. Hirose,J. Fukuda
Proc. Advanced Metallization Conference 2006 91 - 95 2007.4
-
Reduction of thin oxidized copper films using a hot-filament hydrogen radical source Reviewed Major achievement
E. Kondoh,M. Fukasawa,Ojimi
J. Vac. Sci. Technol.A 25 ( 3 ) 415 - 420 2007.3
-
"Low-k materials face damages induced by mismatch of thermal expansion around the global bus lines when operation frequency is high
H. Kato,T. Yoshida,T. Tatsuta,E. Kondoh
Proceedinsg of Advanced Metallization Conference 2006 (MRS, PA, 2007), pp.489-493 2007.2
-
Cu thin film deposition from supercritical carbon dioxide fluids using a flow-type depositon proecessor
E. Kondoh,M. Hirose,J. Fukuda
Proceedinsg of Advanced Metallization Conference 2006 (MRS, PA, 2007), pp.91-95 2007.2
-
Nanostructure formation using supercritical fluids
Eiichi Kondoh,Michiru HiroseEiichi Ukai
Proceedings of the 8th Internatilanl Symposium on Supercritical Fluids, Nov. 5-8, 2006, Kyoto Intnl Conf Hall, Kyoto Japan, paper OB-3-02 (CD-ROM) 2006.11
-
"A noise-free and jitterless cavity system to distribute clocks over 10GHz Reviewed
H. Kato,T. Kohori,E. Kondoh,T. Akitsu
IEEE Trasn. On Microwave Theory and Techniques 54 ( 11 ) 3960 - 3967 2006.11
-
超臨界流体を利用した薄膜形成技術
近藤英一
表面技術 57 ( 10 ) 695 - 7-- 2006.6
-
How to deliver a high-frequency clock over 100GHz using common BEOL Technologies
H. Kato, T. Kohori, K. Watanabe, Y. Kodaira, E. Kondoh, T. Akitsu, and H. Kato
Proc. Advanced Metaliization Conference (Oct. 13-14, Tokyo, 2005, pp.165-170 2006/2 2006.2
-
Characteristics of Copper Deposition in a Supercritical CO2 Fluid Reviewed
E. Kondoh
Thin Solid Films, Volume 491, Issues 1-2, 22 November 2005, Pages 228-234 1 ( 1 ) 1 - 2 2005.11
-
Deposition of Ru Thin Films from Supercritical Carbon Dioxide Fluids Reviewed Major achievement
E. Kondoh
Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 44, No. 7B, p. 5799-5802 1 ( 1 ) 1 - 2 2005.7
-
Futures of microcavity to distribute high-frequency clock over than 10GHz
T. Kohori, H. Kato, E. Kondoh, and T. Akitsu
Proc. 2004 Advanced Metallization Conference, in press (2005) 2005.2
-
その他の発表論文の標題
近藤英一
日本機械学会誌 Vol. 107, No. 1032, p. 45 2004.11
-
Control of selective and blanket ruthenium film deposition chemistry in supercritical CO2 fluid chemical deposition
E. Kondoh
Proc. 2004 International Microprocess and Nanotechnology Conference, p. 48--49 2004 2004.10
-
Barrier/Copper Direct Deposition Possibility using Supercritical Carbon Dioxide Fluid (invited)
E. Kondoh
Proc. 21st International VLSI Multilevel Interconnection Conference (Sep 30/Oct 1, Hawaii), p.17-18. 2004 2004.9
-
その他の発表論文の標題
記事
Semiconductor FPD World, Vol. 23, No.9, pp. 44-47 2004.9
-
Deposition of Cu and Ru thin films in deep nanotrenches/holes using supercritical carbon dioxide Reviewed Major achievement
E. Kondoh
Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 43, No. 6B, p. 3928-3933. 1 ( 1 ) 1 - 2 2004.6
-
その他の発表論文の標題
近藤英一
クリーンテクノロジー Vol. 14, No. 6, pp. 55-58. 2004.6
-
Direct Deposition of Cu\Barrier Stacks on Dielectric/Nonconductive Layers using Supercritical CO2
E. Kondoh, M. Hishikawa, M. Yanagihara, and K. Shigama
Proc. 2004 IEEE International Interconnect Technology Conference, p.33 2004 2004.5
-
Nanoscale Deposition in Supercritical Fluids, Cu Metallization Process and Barrier Metal Deposition Possibility
E. Kondoh, M. Hishikawa, K. Shigama
Proc. Advanced Metallization Conference 2003, (Oct. 21-23, Montreal, Canada / Tokyo, 2003.), p. 583-588. 2004 2004.2
-
Noise free and jitter-less clock distribution method for high-frequency system using microcavity
H. Kato, E. Kondoh, T. Akitsu, T. Kobori and H. Morishita
Proc. Advanced Metallization Conference 2003, (Oct. 21-23, Montreal, Canada / Tokyo, 2003.), p. 65-68 2004 2004.2
-
Metal Filling in Deep Nano Trechnces/Holes using Supercritical Carbon Dioxide
E. Kondoh
Proc. 2003 International Microprocess and Nanotechnology Conference, p. 42 2003 2003.10
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その他の発表論文の標題
新聞記事
山梨日日新聞 Ｈ１５年５月３日 2003.5
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Paving the Way for Full-Fluide IC Metallization using Supercritical Carbon Dioxide
E. Kondoh, V. Vezin, K. Shigama, S. Sunada, K. Kubo, and T. Ohta
Proc. 2003 IEEE International Interconnect Technology Conference, p. 141, 2003. 2003.5
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その他の発表論文の標題
新聞記事
日本工業新聞 Ｈ１５年４月２１日 2003.4
-
Copper Deposition Characteristics from a Supercritical CO2 Fluid
E. Kondoh
Proc. Advanced Metallization Conference 2002, Sep. 29-Oct. 1, San Diego/Tokyo, 2002. 2002.9
-
Characteristics of copper deposition in a supercritical CO2 fluid Reviewed
E. Kondoh and H. Kato
Microelectronic Engineering, Vol. 64, No. 1-4, p 495-499 1 ( 1 ) 1 - 2 2002.7
-
Mesoscopic structure of porous low-dielectric-constant thin films.
70 ( 5 ) 546 - 549 2001.5
-
Comparative Study of Porous SOG Films with Different Non-destructive Instrumentation,
M.R. Baklanov, E.Kondoh, E.K.Lin,
2001.5
-
Comparative study of pore size of low-dielectric-constant porous spin-on-glass films using different methods of nondestructive instrumentation Reviewed
E. Kondoh, M. R. Baklanov, E. Lin, D. Gidley, and A. Nakashima
Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 40, No. 4A, pp.L323-L326 1 ( 1 ) 1 - 2 2001.4
-
Change of Refractive Index and Thickness of Porous Spin-on-Glass Films during Exposure to Ar, O2, and H2 plasma Reviewed
E. Kondoh
Eurasina ChemTech Journal, Vol. 2, 245-250 1 ( 1 ) 1 - 2 2001.2
-
Adhesion and Texture of Cu-1 mass% Thin Films Deposited on Polyimide Reviewed
E. Kondoh
Journal of Japan Institute of Metals, Vol. 64, No. 9, 715-718 1 ( 1 ) 1 - 2 2000.9
-
Wafer Thermal Desorption Spectrometry in a Rapid Thermal Processing Reactor Using Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometry Reviewed
G. Vereecke, E. Kondoh, P. Richardson, K. Maex, M.M. Heyns, and Z. Nenyei.
IEEE Trans. Semicon. Manufacturing, Vol. 13, No.3, pp.315-321. (Piscataway, NJ) 1 ( 1 ) 1 - 2 2000.8
-
Application of in-line oxygen monitoring to a rapid thermal processing tool: diagnosing gas flow dynamics and silicidation processes Reviewed
E. Kondoh, M. R. Baklanov, and K. Maex
Materials Science in Semiconductor Processing, Vol 2, No. 4, pp.341-348. 1 ( 1 ) 1 - 2 2000.7
-
Dehydration after plasma oxidation of porous low-dielectric-constant spin-on-glass films Reviewed
E. Kondoh, T. Asano, H. Arao, A. Nakashima, and M. Komatu
Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 39, No. 7A, pp.3919-3923 1 ( 1 ) 1 - 2 2000.7
-
Effect of Oxygen Plasma Exposure of Porous Spin-On-Glass Films Reviewed
E. Kondoh, T. Asano, A. Nakashima, and M. Komatsu
Journal of Vacuum Science and Technology, Vol. B18, No. 3, pp.1276-1280. 1 ( 1 ) 1 - 2 2000.5
-
Material characterization of Cu(Ti)-polyimide thin film stacks Reviewed
E. Kondoh
Thin Solid Films, Vol. 359, No. 2, pp. 255-260.(Amsterdam) 1 ( 1 ) 1 - 2 2000.1
-
A chemical role of refractory metal caps in Co silicidation: Evidence of SiO2 reduction by Ti cap Reviewed
E. Kondoh, T. Conard, S. J. W. Vandervorst, H. Bender, M. de Potter, and K. Maex
Journal of Materials Research, Vol. 14, No. 11, pp. 4402-4408.(Pittsburgh, PA) 1 ( 1 ) 1 - 2 1999.11
-
Measurements of trace ambient gaseous impurities on an atmospheric pressure rapid thermal processor Reviewed
E. Kondoh, G. Vereecke, M. M. Heyns, K. Maex, and T. Gutt
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 17 ( 2 ) 650 - 656 1999( ISSN：0734-2101 )
-
Process integration induced thermodesorption from SiO2/SiLK resind dielectric based interconnects Reviewed
M. R. Baklanov, M. Muroyama, M. Judelewicz, E. Kondoh, H. Li, J. Waeterloos, S. Vanhaelemeersch, and K. Maex
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 17 ( 5 ) 2136 - 2146 1999( ISSN：1071-1023 )
-
X-ray photoelectron spectroscopy and time-of-flight secondary ion mass spectrometry study of the role of Ti and TiN caps on the cobalt/SiO2 interface Reviewed
T. Conard, E. Kondoh, H. De Witter, K. Maex, and W. Vandervorst
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 17 ( 4 ) 1244 - 1249 1999( ISSN：0734-2101 )
-
Self-Aligned CoSi2 for 0.18 um and Below Reviewed
K. Maex, A. Lauwers, P. Besser, E. Kondoh, M. de Potter, and A. Steegen
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES 46 ( 7 ) 1545 - 1550 1999( ISSN：0018-9383 )
-
Characterization of HF Cleaning of Ion-Implanted Si Surfaces Reviewed
E. Kondoh, M. R. Baklanov, and K. Maex
Solid State Phenomena 65/66 271 - 274 1999
-
Oxidation and roughening of silicon during annealing in a rapid thermal processing chamber Reviewed
B. Mohadjeri, M. Baklanov, E. Kondoh, and K. Maex
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 83 ( 7 ) 3614 - 3619 1998
-
Structural Change in Porous Silica Thin Films after Plasma Treatment Reviewed
E. Kondoh, M. R. Baklanov, H. Bender, and K. Maex
Electrochemical and Solid State Letters 1 ( 5 ) 224 - 226 1998
-
Interaction between Co and SiO2 Reviewed
E. Kondoh, R. A. Donaton, S. Jin, H. Bender, and K. Maex
APPLIED SURFACE SCIENCE 136 ( 1/2 ) 87 - 94 1998
-
Characterization of HF-last cleaning of ion-implanted Si surfaces Reviewed
E. Kondoh, M. R. Baklanov, F. Jonckx, and K. Maex
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 1 ( 2 ) 107 - 117 1998
-
Limitation of HF-Based Chemistry for Deep-Submicron Contact Hole Cleaning on Silicides Reviewed
M. R. Baklanov, E. Kondoh, R. A. Donaton, S. Vanhaelemeersch, and K. Maex
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY 145 ( 9 ) 3240 - 3246 1998
-
Critical role of degassing for hot aluminum filling Reviewed
J. Proost, E. Kondoh, G. Vereecke, M. Heyns, and K. Maex
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 16 ( 4 ) 2091 - 2098 1998( ISSN：1071-1023 )
-
Interactions at interface between Cu99Ti1 films and polyimide Reviewed
E. Kondoh, T.-P. Nguyen, D. Plachke, H. Carstanjen, and E. Arzt
APPLIED PHYSICS LETTERS 70 ( 10 ) 1251 - 1252 1997
-
Chemical vapor deposition of aluminum from dimethylaluminumhydride (DMAH): Characteristics of DMAH vaporization and Al growth kinetics Reviewed
E. Kondoh and T. Ohta
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 14 ( 6 ) 2863 - 2871 1996( ISSN：0734-2101 )
-
選択Al‐CVD法によるAl/Al直接接続ビア埋め込み技術の開発
太田与洋，竹安伸行，近藤英一，河野有美子，山本浩
まてりあ 34 ( 6 ) 780 - 782 1995.6
-
ダイヤモンド気相合成の速度論および結晶成長に関する研究 Reviewed
近藤英一
学位論文(京都大学） 1 ( 1 ) 1 - 2 1995
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メタライゼーション―Alの可能性を探る 第2部 ビア/コンタクトホールの信頼性 選択Al‐CVD法とEM耐性
河野有美子，近藤英一，竹安伸行，太田与洋
月刊Semiconductor World 1994 1994.12
-
高度なCVDパラメータ制御性を有する熱フィラメント法によるダイヤモンド合成
近藤英一，太田与洋
New Diamond 1994 ( 1 ) 13 - 19 1994.1
-
Characterization of direct-contact via plug formed by using selective aluminum chemical vapor deposition Reviewed
N. Takeyasu, Y. Kawano, E. Kondoh, T. Katagiri, H. Yamamoto, H. Shinriki, and T. Ohta
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 33 ( 1B ) 424 - 428 1994( ISSN：0021-4922 )
-
Effect of gas-phase composition on the surface morphology of polycrystalline diamond films Reviewed
E. Kondoh, T. Ohta, T. Mitomo, and K. Ohtsuka
DIAMOND AND RELATED MATERIALS 3 270 - 276 1994( ISSN：0925-9635 )
-
Surface reaction kinetics of gas-phase diamond growth Reviewed
E. Kondoh, T. Ohta, T. Mitomo, and K. Ohtsuka
Journal of Applied Physics, Vol. 73, No. 6, pp. 3041-3046.(College Park, MD) 1 ( 1 ) 1 - 2 1993.7
-
CVDダイヤモンド形成条件下でのマイクロ波プラズマCVD法のin‐situ観測
太田与洋，近藤英一，三友亨
New Diamond 9 ( 2 ) 17 - 24 1993.4
-
Metalorganic Chemical Vapor Deposition of Aluminum-Copper Alloy Films Reviewed
T. Katagiri, E. Kondoh, N. Takeyasu, T. Nakano, H. Yamamoto, and T. Ohta
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 32 ( 8A ) L1078 - L1080 1993( ISSN：0021-4922 )
-
Interconnection Formation by Doping Chemical-Vapor-Deposition Aluminum with Copper Simultaneously: Al-Cu CVD Reviewed
E. Kondoh, Y. Kawano, N. Takeyasu, and T. Ohta
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY 141 ( 12 ) 3494 - 3499 1993( ISSN：0013-4651 )
-
Reactive-flow simulation of the hot-filament chemical-vapor deposition of diamond Reviewed
E. Kondoh, K. Tanaka, and T. Ohta
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 74 ( 7 ) 4513 - 4520 1993( ISSN：0021-8979 )
-
Homoepitaxial growth of diamond by an advanced hot- filament chemical vapor deposition method Reviewed
E. Kondoh, K. Tanaka, and T. Ohta
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 74 ( 3 ) 2030 - 2035 1993( ISSN：0021-8979 )
-
Thermal Chemical Vapor Deposition of Diamond from Methane-Hydrogen Gas System Pyrolized at Low Temperature (1450 °C) Reviewed
E. Kondoh, T. Ohta, T. Mitomo, and K. Ohtsuka
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 31 ( 12B ) L1781 - L1784 1992( ISSN：0021-4922 )
-
Experimental and calculational study on diamond growth by an advanced hot filament chemical vapor deposition method Reviewed
E. Kondoh, T. Ohta, T. Mitomo, and K. Ohtsuka
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 72 ( 2 ) 705 - 711 1992( ISSN：0021-8979 )
-
Reflection High-Energy Electron Diffraction Observation of Anti-Phase Domain Ordering of the 2x1 Reconstructed (111) Surface of Chemical-Vapor-Deposited Diamond Reviewed
E. Kondoh, K. Tanaka, and T. Ohta
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 32 ( 7A ) L947 - L949 1992( ISSN：0021-4922 )
-
Effect of Sulfur Addition on the Solid-Liquid Interface Morphologies of Unidirectionary Solidified Fe-C Eutectic Alloys Reviewed
E. Kondoh and H. Nakae
55 ( 4 ) 437 - 443 1991.4
-
Chemical Vapor Deposition of Diamond Films by an Advanced Hot Filament Method Reviewed
E. Kondoh, T. Mitomo, T. Ohta, and K. Ohtsuka
Hyomen Kagaku (Journal of the Surface Science Society of Japan) 12 ( 5 ) 336 - 338 1991
-
Determination of activation energies for diamond growth by an advanced hot filament chemical vapor deposition method Reviewed
E. Kondoh, T. Ohta, T. Mitomo, and K. Ohtsuka
APPLIED PHYSICS LETTERS 59 ( 4 ) 488 - 490 1991( ISSN：0003-6951 )
-
An Investigation of product distributions in microwave plasma for diamond growth Reviewed
T. Mitomo, T. Ohta, E. Kondoh, and K. Ohtsuka
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 70 ( 8 ) 4532 - 4539 1991( ISSN：0021-8979 )
Books and Other Publications
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Micro- and Nanofabrication for Beginners Major achievement
Eiichi Kondoh（ Role： Single Work）
Jenny Stanford Publishing 2021.6 （ ISBN:9789814877091 ）
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Micro- and Nanofabrication for Beginners
Eiichi Kondoh（ Role： Single Work）
Jenny Stanford Publishing 2021.6 （ ISBN:9789814877091 ）
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半導体・MEMSのための超臨界流体 Major achievement
近藤英一（編著）,上野和良,内田寛,曽根正人,生津英夫,服部毅,堀照夫,森口誠（-）
コロナ社 2012.9
-
半導体・MEMSのための超臨界流体
近藤英一, 上野和良, 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 堀照夫, 森口誠（-）
コロナ社 2012.9
-
第3章．5超臨界流体を利用した薄膜堆積技術
近藤英一（-）
CMC出版 2008.9
-
薄膜ハンドブック第2版 Major achievement
近藤英一（-）
オーム社 2008.3
-
超臨界流体中薄膜堆積法 ～原理，特徴，差別化要素～ Major achievement
近藤英一（-）
化学工業社 2007.12
-
機械・材料系のための マイクロ・ナノ加工の原理 Major achievement
近藤英一（-）
共立出版 2005.10
Presentations
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イメージングエリプソメトリーによる計測可能な最大膜厚
金 蓮花，北村 賢功，近藤 英一，ジェローズ ベルナール
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9
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Cu 表面における SAM 膜形成の in-situ エリプソメトリ評価
神保宏務，近藤英一
表面技術協会第148回講演大会 2023.9 表面技術協会
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超臨界CO2を用いた Ni エッチングの温度・エッチャント濃度依存性
竹内創太, 近藤英一
第 87 回半導体・集積回路技術シンポジウム 2023.8 電気化学会電子材料委員会
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“Reflection and transmission ellipsometry measurement under incoherent superposition of light International conference
Yoriatsu Kitamura, Sota Mogi, Tsutomu Muranaka, Keisuke Arimoto, Eiichi Kondoh, Lianhua Jin, and Bernard Gelloz
Optical Technology and Measurement for Industrial Applications Conference 2023.4
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透過型ミューラー行列顕微鏡による薄膜膜厚分布計測
長瀬 仁，北村 賢功，有元 圭介，近藤 英一，金 蓮花，ジェローズ ベルナール
第70回応用物理学会春季学術講演会(2023年3月15－18日), 上智大学 四谷キャンパス 2023.3
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ドライプロセスへの超臨界CO2流体の応用
化学工学会CVD反応分科会 第9回講演会 2022.6
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Reflection and Transmission Ellipso-Microscopy International conference
Lianhua Jin, Sota Mogi, Yoriatsu Kitamura, Tsutomu Muranaka, Keisuke Arimot, Eiichi Kondoh, and Bernard Gelloz
The 9th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE-9), , May 22-28, 2022. 2022.5
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反射・透過型エリプソメトリーによる薄膜厚計測
茂木 壮太，有元 圭介，近藤 英一，金 蓮花，ジェローズ ベルナール
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3
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反射・透過型エリプソメトリーによる薄膜厚計測
茂木 壮太, 有元 圭介, 近藤 英一, 金 蓮花, ジェローズ ベルナール
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022.3
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超臨界CO2金属エッチングの温度・エッチャント濃度依存性
竹内 創太、近藤 英一
電気化学会第89回大会 2022.3
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超臨界CO2金属エッチングの温度・エッチャント濃度依存性
竹内 創太, 近藤 英一
電気化学会第89回大会 2022.3
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甲斐江戸期梵鐘の非破壊成分分析の試み
近藤英一
山梨講演会 2021.11
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甲斐江戸期梵鐘の非破壊成分分析の試み
近藤英一
山梨講演会 2021.11
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In-situ ellipsometric measurements of surface layer formation on Co in aqueous solutions corrosion inhibitor and oxidizer International conference
Eiichi Kondoh, Shota Takeuchi, Lianhua Jin,Ryota Koshino, Satomi Hamada, Shohei Shima, Hirokuni Hiyama
Advanced Metallization Conference Asian Session (ADMETA plus 2021) 2021.10
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In-situ ellipsometric measurements of surface layer formation on Co in aqueous solutions corrosion inhibitor and oxidizer International conference
Eiichi Kondoh, Shota Takeuchi, Lianhua Jin, Ryota Koshino, Satomi Hamada, Shohei Shima, Hirokuni Hiyama
Advanced Metallization Conference Asian Session (ADMETA plus 2021) 2021.10
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反射・透過型エリプソメトリーによる薄膜厚計測
金 蓮花，茂木 壮太，村中 司，近藤 英一，ジェローズ ベルナー
Optics & Photonics Japan 2021 2021.10
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反射・透過型エリプソメトリーによる薄膜厚計測
金 蓮花, 茂木 壮太, 村中 司, 近藤 英一, ジェローズ ベルナー
Optics & Photonics Japan 2021 2021.10
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酸化前処理が Co 表面 BTA 層形成に及ぼす影響
竹内翔太 ，金 蓮花 ，近藤英一，濱田聡美 ，小篠諒太，嶋 昇平 ，檜山浩國
表面技術協会第144回講演大会 2021.9
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酸化前処理が Co 表面 BTA 層形成に及ぼす影響
竹内翔太, 金 蓮花, 近藤英一, 濱田聡美, 小篠諒太, 嶋 昇平, 檜山浩國
表面技術協会第144回講演大会 2021.9
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集積回路配線金属薄膜表面の防食層のエリプソメトリその場解析
近藤英一
2021年電気化学秋季大会 2021.9
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集積回路配線金属薄膜表面の防食層のエリプソメトリその場解析
近藤英一
2021年電気化学秋季大会 2021.9
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Effect of plasma pretreatment of polyimide the microstructures of aluminum in aluminum/polyimide stack formation International conference
Eiichi Kondoh
Interfinish 2020 (postponed one year) 2021.9
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Copper oxide as Cu/glass adhesion layer and its stability under reduction chemistry International conference
Eiichi Kondoh and Takeshi Ito
Interfinish 2020 (Postponed one year) 2021.9
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Copper oxide as Cu/glass adhesion layer and its stability under reduction chemistry International conference
Eiichi Kondoh, Takeshi Ito
Interfinish 2020 (Postponed one year) 2021.9
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Effect of plasma pretreatment of polyimide the microstructures of aluminum in aluminum/polyimide stack formation International conference
Eiichi Kondoh
Interfinish 2020 (postponed one year) 2021.9
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イメージングエリプソメトリーにおける分解能に関する考察
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021.3
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イメージングエリプソメトリーにおける分解能に関する考察
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021.3
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BTA-H₂O₂混合溶液中におけるCo表面の保護膜形成過程
近藤英一 竹内翔太 金蓮花 濵田聡美 小篠諒太, 檜山浩國
日本機械学会 関東支部 第27期総会・講演会 2021.3
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BTA-H₂O₂混合溶液中におけるCo表面の保護膜形成過程
近藤英一, 竹内翔太, 金蓮花, 濵田聡美, 小篠諒太, 檜山浩國
日本機械学会 関東支部 第27期総会・講演会 2021.3
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H2O2添加BTA, m-BTA水溶液中におけるCo表面上形成過程の比較
竹内翔太 金 蓮花 近藤英一 濱田聡美 小篠諒太 檜山浩國
表面技術協会大143回講演大会 2021.3
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H2O2添加BTA, m-BTA水溶液中におけるCo表面上形成過程の比較
竹内翔太, 金 蓮花, 近藤英一, 濱田聡美, 小篠諒太, 檜山浩國
表面技術協会大143回講演大会 2021.3
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深層学習を用いた画像処理によるイメージングエリプソメータの空間分解能向上の試み
飯塚 祐基 金 蓮花 近藤 英一 ジェローズ ベルナール
Optics & Photonics Japan 2020 2020.11
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深層学習を用いた画像処理によるイメージングエリプソメータの空間分解能向上の試み
飯塚 祐基, 金 蓮花, 近藤 英一, ジェローズ ベルナール
Optics & Photonics Japan 2020 2020.11
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Application of Supercritical Carbon Dioxide Fluids to Advanced Metallization International conference
Eiichi Kondoh
IEEE International Interconnect Technology Conference 2020.10
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Application of Supercritical Carbon Dioxide Fluids to Advanced Metallization International conference
Eiichi Kondoh
IEEE International Interconnect Technology Conference 2020.10
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Deposition of Ni-Based Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solution Via Flow-Type Reaction System International conference
Sudiyarmanto Eiichi Kondoh
Pacific rim meeting on electrochemical and solid state science (PRiME) 2020.10
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Deposition of Ni-Based Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solution Via Flow-Type Reaction System International conference
Sudiyarmanto, Eiichi Kondoh
Pacific rim meeting on electrochemical and solid state science (PRiME) 2020.10
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Hydrosilylation of High Porosity Porous Silicon with 1-Hexene in Supercritical CO2 Fluid
Takura Naoto, Lianhua Jin, Eiichi Kondoh and Bernard Gelloz
acific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020) 2020.10
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Hydrosilylation of High Porosity Porous Silicon with 1-Hexene in Supercritical CO2 Fluid
Takura Naoto, Lianhua Jin, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz
acific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020) 2020.10
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BTA-H2O2混合溶液中におけるCo表面層形成のpH依存性
竹内翔太 金 蓮花 近藤英一 濱田聡美 小篠諒太 嶋 昇平 檜山浩國
表面技術協会 第142回講演大会 2020.9
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BTA-H2O2混合溶液中におけるCo表面層形成のpH依存性
竹内翔太, 金 蓮花, 近藤英一, 濱田聡美, 小篠諒太, 嶋 昇平, 檜山浩國
表面技術協会 第142回講演大会 2020.9
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BTA-H₂O₂混合溶液中におけるCu表面とCo表面上の層形成過程の比較
竹内 翔太 遠山真央 金蓮花 近藤英一 濱田聡美 小篠諒太 嶋昇平 檜山浩國
半導体集積回路シンポジウム 2020.8
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BTA-H₂O₂混合溶液中におけるCu表面とCo表面上の層形成過程の比較
竹内 翔太, 遠山真央, 金蓮花, 近藤英一, 濱田聡美, 小篠諒太, 嶋昇平, 檜山浩國
半導体集積回路シンポジウム 2020.8
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Design of a spectroscopic imaging ellipsometer International conference
Lianhua Jin, Makoto Uehara, Takashi Iwao, Yuki Iizuka, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz
Optics & Photonics International Congress 2020, Optical Technology and Measurement for Industrial Applications 2020 (OPTM2020) 2020.4 SPIE Technologies and Applications of Structured Light, 2020
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Design of a spectroscopic imaging ellipsometer International conference
Lianhua Jin, Makoto Uehara, Takashi Iwao, Yuki Iizuka, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz
Optics & Photonics International Congress 2020, Optical Technology and Measurement for Industrial Applications 2020 (OPTM2020) 2020.4 SPIE Technologies and Applications of Structured Light, 2020
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エリプソメトリーを利用した薄膜上ナノ粒子検出
近藤 英一，高橋 篤史，島田 航暉，鈴木 雄也，金 蓮花 濵田 聡美，小篠 涼太，嶋 昇平，檜山 浩國
日本機械学会関東支部 第 26 期総会・講演会 2020.3
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エリプソメトリーを利用した薄膜上ナノ粒子検出
近藤 英一, 高橋 篤史, 島田 航暉, 鈴木 雄也, 金 蓮花, 濵田, 聡美, 小篠 涼太, 嶋 昇平, 檜山 浩國
日本機械学会関東支部 第 26 期総会・講演会 2020.3
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1-ヘキセンを⽤いた⾼多孔率ポーラスシリコンの超臨界CO2流体中のヒドロシリル化
田倉 直人，金 蓮花，近藤 英一，ジェローズ ベルナール
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020.3
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1-ヘキセンを⽤いた⾼多孔率ポーラスシリコンの超臨界CO2流体中のヒドロシリル化
田倉 直人, 金 蓮花, 近藤 英一, ジェローズ ベルナール
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020.3
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BTA-H₂O₂混合溶液中におけるCo表面その場分光エリプソメトリ測定
竹内翔太，金 蓮花，近藤英一，濵田聡美，小篠諒太，嶋 昇平，檜山浩國
表面技術協会第141回講演大会 2020.3
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BTA-H₂O₂混合溶液中におけるCo表面その場分光エリプソメトリ測定
竹内翔太, 金 蓮花, 近藤英一, 濵田聡美, 小篠諒太, 嶋 昇平, 檜山浩國
表面技術協会第141回講演大会 2020.3
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超臨界CO2流体中の1－ヘキセンを用いたナノクリスタルシリコンのヒドロシリル化日.
田倉 直人，金 蓮花，近藤 英一，ジェローズ ベルナール
第四回フォトニクス研究会 2019.11
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超臨界CO2流体中の1－ヘキセンを用いたナノクリスタルシリコンのヒドロシリル化日.
田倉 直人, 金 蓮花, 近藤 英一, ジェローズ ベルナール
第四回フォトニクス研究会 2019.11
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超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積・表面反応プロセス ～半導体製造応用を視野に～ Invited
近藤英一
INCHEM2019 2019.11
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超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積・表面反応プロセス ～半導体製造応用を視野に～ Invited
近藤英一
INCHEM2019 2019.11
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Initial changes of Cu surfaces in H2O2-BTA aqueous solutions studied by using microfluidic reactor International conference
Eiichi Kondoh, Mao Tōyama, Lianhua Jin, Satomi Hamada, Shohei Shima, Hirokuni Hiyama
Advanced Metallzation Conference Asian Session 2019.10
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Initial changes of Cu surfaces in H2O2-BTA aqueous solutions studied by using microfluidic reactor International conference
Eiichi Kondoh, Mao Tōyama, Lianhua Jin, Satomi Hamada, Shohei Shima, Hirokuni Hiyama
Advanced Metallzation Conference Asian Session 2019.10
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マイクロ流通セルを用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面のその場分光エリプソメトリ解析
近藤英一，遠山真央，濵田聡美，嶋 昇平，檜山浩國
表面技術協会第140回講演大会 2019.9
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マイクロ流通セルを用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面のその場分光エリプソメトリ解析
近藤英一, 遠山真央, 濵田聡美, 嶋 昇平, 檜山浩國
表面技術協会第140回講演大会 2019.9
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超臨界流 CO2流体を用いた金属ドライエッチング
近藤英一
半導体集積回路シンポジウム 2019.8 電気化学会電子材料委員会
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超臨界流 CO2流体を用いた金属ドライエッチング
近藤英一
半導体集積回路シンポジウム 2019.8 電気化学会電子材料委員会
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超臨界流体半導体プロセス応用～薄膜形成・エッチングを中心として～ Invited
近藤英一
超臨界流体部会第18回サマースクール 2019.7
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超臨界流体半導体プロセス応用～薄膜形成・エッチングを中心として～ Invited
近藤英一
超臨界流体部会第18回サマースクール 2019.7
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超臨界流体半導体プロセス応用 Invited
近藤英一
NEDIA材料部品部会 第二十三回勉強会 2019.6 一般社団法人 日本電子デバイス産業協会
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超臨界流体半導体プロセス応用 Invited
近藤英一
NEDIA材料部品部会 第二十三回勉強会 2019.6 一般社団法人 日本電子デバイス産業協会
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Etching, photoetching of porous silicon in hydrofluoric acid studied by photoconduction and monochromatic light International conference
Gelloz, H. Fuwa, E. Kondoh, and L. Jin
3rd International Symposium on Anodizing Science and Technology (AST2019) 2019.6
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Etching, photoetching of porous silicon in hydrofluoric acid studied by photoconduction and monochromatic light International conference
Gelloz, H. Fuwa, E. Kondoh, L. Jin
3rd International Symposium on Anodizing Science and Technology (AST2019) 2019.6
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Oxygen-assisted etching/removal of Pt in supercritical CO2 solutions International conference
Eiichi Kondoh
Materials Research Society Spring Meetings 2019.4 Materials Research Society
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Oxygen-assisted etching/removal of Pt in supercritical CO2 solutions International conference
Eiichi Kondoh
Materials Research Society Spring Meetings 2019.4 Materials Research Society
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１-ヘキセン分子を用いたポーラスシリコンの圧力制御ヒドロシリル化と発光安定性
入山 拓未，金 蓮花，近藤 英一，ジェローズ ベルナール
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019.3
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位相子回転型イメージングエリプソメータのデータ処理
飯塚 祐基，金 蓮花，近藤 英一，ジェローズ ベルナール，上原 誠
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019.3
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位相子回転型イメージングエリプソメータのデータ処理
飯塚 祐基, 金 蓮花, 近藤 英一, ジェローズ ベルナール, 上原 誠
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019.3
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１-ヘキセン分子を用いたポーラスシリコンの圧力制御ヒドロシリル化と発光安定性
入山 拓未, 金 蓮花, 近藤 英一, ジェローズ ベルナール
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019.3
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イメージングエリプソメトリーによるポーラスシリコンの光学定数測定
秋山 泰輝，飯塚 祐基，金 蓮花，近藤 英一，ジェローズ ベルナール
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019.3
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イメージングエリプソメトリーによるポーラスシリコンの光学定数測定
秋山 泰輝, 飯塚 祐基, 金 蓮花, 近藤 英一, ジェローズ ベルナール
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019.3
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イメージングエリプソメトリーによるナノ結晶シリコンの製作評価
秋山 泰輝，飯塚 祐基，金 蓮花，近藤 英一，ジェローズ ベルナール
第三回フォトニクス研究会 2018.12
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イメージングエリプソメトリーによるナノ結晶シリコンの製作評価
秋山 泰輝, 飯塚 祐基, 金 蓮花, 近藤 英一, ジェローズ ベルナール
第三回フォトニクス研究会 2018.12
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Detection of sub-100 nm particles attached to Si wafers and SiO2/Si wafers by using spectroscopic ellipsometry International conference
E. Kondoh, K. Suzuki, K. Shimada, L. Jin, S. Hamada, S. Shima, H. Hiyama
Advanced Metallization Conference Asian Session 2018.10
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Detection of sub-100 nm particles attached to Si wafers and SiO2/Si wafers by using spectroscopic ellipsometry International conference
E. Kondoh, K. Suzuki, K. Shimada, L. Jin, S. Hamada, S. Shima, H. Hiyama
Advanced Metallization Conference Asian Session 2018.10
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Dimensional measurement of internal profile using the optical caliper International conference
L. Jin, N. Miyatsu, E. Kondoh, B. Gelloz, N. Kanazawa, T. Yoshizawa
SPIE Photonics Asia 2018 2018.10
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Photo-Assisted Etching of Porous Silicon Nanostructures in Hydrofluoric Acid using Monochromatic Ligh International conference
B. Gelloz, H. Fuwa, E. Kondoh, L. Jin
Americas International Meeting on Electrochemistry and Eolid state science (AiMES2018) 2018.10
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Extraction of properties of individual component for the retarder – linear diattenuator – retarder system and its application International conference
L. Jin, E. Kondoh, H. Kowa, B. Gelloz
SPIE Photonics Asia 2018 2018.10
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Dimensional measurement of internal profile using the optical caliper International conference
L. Jin, N. Miyatsu, E. Kondoh, B. Gelloz, N. Kanazawa, T. Yoshizawa
SPIE Photonics Asia 2018 2018.10
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Photo-Assisted Etching of Porous Silicon Nanostructures in Hydrofluoric Acid using Monochromatic Ligh International conference
B. Gelloz, H. Fuwa, E. Kondoh, L. Jin
Americas International Meeting on Electrochemistry and Eolid state science (AiMES2018) 2018.10
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Extraction of properties of individual component for the retarder – linear diattenuator – retarder system and its application International conference
L. Jin, E. Kondoh, H. Kowa, B. Gelloz
SPIE Photonics Asia 2018 2018.10
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マイクロ流通セルを用いたB TA-H2O2混合溶液中におけるCu表面のその場分光エリプソメトリ解析
瀬川紘幹，近藤英一，濵田聡美，嶋 昇平，檜山浩國
(一社)表面技術協会第138回講演大会 2018.9
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マイクロ流通セルを用いたB TA-H2O2混合溶液中におけるCu表面のその場分光エリプソメトリ解析
瀬川紘幹, 近藤英一, 濵田聡美, 嶋 昇平, 檜山浩國
(一社)表面技術協会第138回講演大会 2018.9
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Inkjet Particle-Spiking of Wafer Surfaces and Evaluation of Particle Density With Ellipsometry International conference
E. Kondoh, K. Suzuki, L. Jin S. Hamada, S. Shima, H. Hiyama
22nd International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization 2018.8
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Inkjet Particle-Spiking of Wafer Surfaces and Evaluation of Particle Density With Ellipsometry International conference
E. Kondoh, K. Suzuki, L. Jin, S. Hamada, S. Shima, H. Hiyama
22nd International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization 2018.8
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Nanostructure fabrication processes in supercritical fluids International conference
Eiichi Kondoh
THERMEC 2018 2018.7
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Nanostructure fabrication processes in supercritical fluids International conference
Eiichi Kondoh
THERMEC 2018 2018.7
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Nanogap/pore fill with wide bandgap material using supercritical fluids aiming at realizing p-Si based LEDs International conference
Eiichi Kondoh, Yuichiro Yamamoto, Bernard Gelloz, Lianhua Jin
The International Symposium on Inorganic and Environmental Materials 2018 2018.6
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Nanogap/pore fill with wide bandgap material using supercritical fluids aiming at realizing p-Si based LEDs International conference
Eiichi Kondoh, Yuichiro Yamamoto, Bernard Gelloz, Lianhua Jin
The International Symposium on Inorganic and Environmental Materials 2018 2018.6
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光ノギスによる内径測定
金 蓮花，宮津 暢人，近藤 英一，ジェローズ ベルナール，金澤 直文，吉澤 徹
第61回光波センシング技術研究会 2018.6
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光ノギスによる内径測定
金 蓮花, 宮津 暢人, 近藤 英一, ジェローズ ベルナール, 金澤 直文, 吉澤 徹
第61回光波センシング技術研究会 2018.6
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位置情報パケット通信システムの伝搬域の調査～山地行動者の行動把握を目指して～
近藤英一
富士山測候所を活用する会第11回成果報告会 2018.3
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位置情報パケット通信システムの伝搬域の調査～山地行動者の行動把握を目指して～
近藤英一
富士山測候所を活用する会第11回成果報告会 2018.3
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“PBSキューブにおける各層の性能評価
金 蓮花，近藤 英一，高和 宏行，ジェローズ ベルナー
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018.3
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“光伝導を利用したHF溶液中でのポーラスシリコンナノ構造のフォトエッチング観測
ジェローズ ベルナール，不破 弘樹，近藤 英一，金 蓮花
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018.3
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“PBSキューブにおける各層の性能評価
金 蓮花, 近藤 英一, 高和 宏行, ジェローズ ベルナー
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018.3
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“光伝導を利用したHF溶液中でのポーラスシリコンナノ構造のフォトエッチング観測
ジェローズ ベルナール, 不破 弘樹, 近藤 英一, 金 蓮花
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018.3
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超臨界CO2流体中での薄膜堆積 Invited
近藤英一
電気化学会第85回大会 シンポジウムS19. 電子材料及びナノ機能素子技術 2018.3
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超臨界CO2流体中での薄膜堆積 Invited
近藤英一
電気化学会第85回大会 シンポジウムS19. 電子材料及びナノ機能素子技術 2018.3
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分光エリプソメトリー計測の勘所とin-situ計測応用
近藤英一
ＯＲＩＳＴ技術情報セミナー(和泉センター) 第 2 回分光エリプソメーター活用セミナー 2018.2 （地独）大阪産業技術研究所
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分光エリプソメトリー計測の勘所とin-situ計測応用
近藤英一
ＯＲＩＳＴ技術情報セミナー(和泉センター) 第 2 回分光エリプソメーター活用セミナー 2018.2 （地独）大阪産業技術研究所
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分光エリプソメトリーによるsub 100-nm粒子の検出と粒子密度評価
プレナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会（精密工学会）第163回研究会 2018.2
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分光エリプソメトリーによるsub 100-nm粒子の検出と粒子密度評価
プレナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会（精密工学会）第163回研究会 2018.2
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Photo-Assisted Dissolution of Porous Silicon Nanostructures in HF Solutions Monitored by Photoconduction
Bernard Gelloz, Hiroki Fuwa, Eiichi Kondoh, and Lianhua Jin
2017.9
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Photo-Assisted Dissolution of Porous Silicon Nanostructures in HF Solutions Monitored by Photoconduction
Bernard Gelloz, Hiroki Fuwa, Eiichi Kondoh, Lianhua Jin
第78回応用物理学会秋季学術講演会 2017.9
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各種金属酸化物のCu/ガラス界面密着層としての利用の試み
林知里,渡邉満洋,近藤英一
日本機械学会関東支部第23期総会・講演会 2017.3
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エリプソメトリ法によるSi基板表面の微粒子検出
鈴木雄也,近藤英一,濱田聡美,嶋昇平,檜山浩國
日本機械学会関東支部第23期総会・講演会 2017.3
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その場分光エリプソメトリ測定を用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面の初期処理過程の解析
瀬川紘幹,近藤英一,濱田聡美,嶋昇平,檜山浩國
日本機械学会関東支部第23期総会・講演会 2017.3
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表面清浄度・クリーニング評価としてのエリプソメトリ
第64回応用物理学会春季学術講演会 2017.3
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HexafluoroacetylacetoneによるPtエッチング
近藤 英一,荻原 佑太
第64回春季応用物理学会学術講演会 2017.3
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ラフな表面における散乱光の偏光特性の波長依存性
金 蓮花,周 聡,近藤 英一
第64回春季応用物理学会学術講演会 2017.3
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Application of supercritical CO2 to porogen removal and metal deposition in nanoscale/HAR features International conference
International Workshop on Materials for Advanced Interconnects 2016.10
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Fabrication of catalyst membrane for long-length nanocarbon growth—Atmospheric pressure CVD fill of Fe and FexOy to nano-through-holes of selfstanding anodic alumina International conference
42nd International Conference on Micro and Nano Engineering 2016.9
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エリプソメトリ測定によるSiウェハ表面の粒子検出評価
第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016.9 応用物理学会
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有機物共晶組織観察用教材の開発と学生実験での利用
瀧澤 周平,近藤 英一
第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016.9 応用物理学会
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超臨界CO2流体を用いた低誘電率薄膜のテンプレート除去
瀬川 紘幹,近藤 英一,渡邉 満洋,Mikhail R. Baklanov,Liping Zhang
第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016.9 応用物理学会
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Optical Absorption of Porous Silicon during Dissolution in HF Investigated by Photoconduction
2016.9
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ナノカーボン成長過程における埋め込み型Fe触媒の材料的安定性
近藤英一,為國成昭,渡邉満洋,大久保総一郎,中山 明
表面技術協会第134 回講演大会 2016.9 表面技術協会
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In-situ Ellipsometry of Cu Surfaces Immersed in BTA-H2O2 Solutions International conference
Clarkson University 20th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization 2016.8
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埋め込み型触媒上の ナノカーボン初期成長過程の観察 Invited
爲國 成昭,鈴木和弥,渡邉満洋,近藤英一,大久保総一郎,日方威,中山明
cat-CVD研究会第13回研究会 2016.7 cat-CVD研究会
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日本機械学会関東支部第22期総会講演会
川上達也,近藤英一, 渡邉満洋, 濱田聡美, 嶋昇平, 檜山浩國
日本機械学会関東支部第22期総会講演会 2016.3 日本機械学会関東支部
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エリプソメトリ測定によるウェハー表面の粒子検出
鈴木雄也,小田切隼人, 渡邉満洋,近藤英一, 濱田聡美, 嶋昇平, 檜山浩國
日本機械学会関東支部第22期総会講演会 2016.3 日本機械学会関東支部
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BTA-H2O2溶液におけるCu表面のその場エリプソメトリ
川上達也,近藤英一, 渡邉満洋, 濵田聡美, 嶋昇平, 檜山浩國
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第187回研究集会 2016.1 応物シリコンテクノロジー分科会
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アミドネート1価Cu錯体を用いた超臨界流体中Cu堆積
Md Rasadujjaman, 渡邉満洋,須藤弘, 町田英明, 近藤英一
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第187回研究集会 2016.1 応物シリコンテクノロジー分科会
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Ellipsometric measurement of particle-spiked wafer surfaces
2015 International Conference on Planarization/CMP Technology (2015ICPT) 2015.10
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Supercritical CO2 etching of metal thin films for magnetoresistive memory processing
41stInternational Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2015) 2015.9
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In-situ ellipsometry of Cu surfaces immersed in BTA-H2O2 solutions
Advanced Metallization Conference 2015: 25th Asian Session (ADMETAPlus2015) 2015.9
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Versatility of ZnO as a room-temperature adhesion promoter for Cu/glass stacks
Advanced Metallization Conference 2015: 25th Asian Session (ADMETAPlus2015) 2015.9
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Copper Thin Film Growth using Cu(I) Amidinate Precursor in Supercritical Carbon Dioxide: Deposition Kinetics and Narrow-Gap-Filling
Advanced Metallization Conference 2015: 25th Asian Session (ADMETAPlus2015) 2015.9
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高密着性Cu/ガラス構造の常温形成
渡邉満洋,近藤英一
2015年度第2回TSV応用研究会 2015.9 電気学会電子情報システム部門
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セル中の試料の複屈折特性のその場計測方法
金 蓮花,小林 大地,高和 宏行,近藤 英一
第76回応用物理学会秋季学術講演会 2015.9 応用物理学会
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埋め込み型触媒上のナノカーボン初期成長過程の観察
爲國成昭, 鈴木和弥, 渡邉満洋,近藤英一, 大久保総一郎, 日方威, 中山明
表面技術協会第130回講演大会 2015.9 （一社）表面技術協会
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高密着性Cu/ガラス構造の常温形成
渡邉満洋,近藤英一
2015マイクロエレクトロニクスショー アカデミックプラザ 2015.6 電気化学会電解科学技術委員会
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Thermal etching of metal thin films using supercritical fluid
Plasma Etch and Strip in Microtechnology 2015 (PESM2015) 2015.4
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Low Temperature Interdiffusion of Cu/Ni in Supercritical Fluid Carbon Dioxide Using a New Cu(I) Amidinate Precursor
2015 Materials Research Society (MRS) Spring Meeting & Exhibit 2015.4
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粘菌のネットワーク解探索機能の配線・流路構造への利用の提案
山口博樹, 渡邉満洋, 近藤英一
日本機械学会関東支部第21期総会講演会 2015.3 日本機械学会関東支部
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超臨界流体を用いたZnO薄膜の堆積とそれを用いたCu/ガラス構造の高密着化
渡邉満洋, 爲國成昭, 近藤英一
日本機械学会関東支部第21期総会講演会 2015.3 日本機械学会関東支部
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ウェハーレベル超臨界流体堆積装置の開発
栗田修平, 近藤英一, 植野隆大, 竹内裕人, 渡邉満洋, 山本敏, 末益龍夫
化学工学会第80年会 2015.3 化学工学会
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準ニュートン法を用いたエリプソメトリー計測の窓補正
金 蓮花,春日 翔貴,近藤 英一
第62回応用物理学会春季学術講演会 2015.3 応用物理学会
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粘菌を利用した金属微粒子配列
山口博樹, 望月裕文, 渡邉満洋, 近藤英一
第62回応用物理学会春季学術講演会 2015.3 応用物理学会
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超臨界CO2流体中における金属薄膜のエッチング
中村良輝, 渡邉満洋, 近藤英一, ミハイルバクラノフ
第62回応用物理学会春季学術講演会 2015.3 応用物理学会
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高密着性Cu/ガラス構造におけるZnO堆積手法の影響
渡邉満洋, 小池光海, 近藤英一
表面技術協会第131回講演大会 2015.3 表面技術協会
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超臨界CO2流体中におけるCu薄膜の凝集ならびに拡散挙動
中村良輝, 渡邉満洋, 近藤英一
応用物理学会SC東海地区学術講演会2014 2014.11 応用物理学会東海支部
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Novel supercritical CO2 reactor for wafer-scale deposition], Advanced Metallization Conference 2014: 24th Asian Session (ADMETAPlus2014
Advanced Metallization Conference 2014: 24th Asian Session (ADMETAPlus2014) 2014.10
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Selective Cu fill into nanopores using supercritical carbon dioxide
Advanced Metallization Conference 2014: 24th Asian Session (ADMETAPlus2014) 2014.10
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Preparation of a novel catalyst structure for continuous growth of nanocarbon fibers
Advanced Metallization Conference 2014: 24th Asian Session (ADMETAPlus2014) 2014.10
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Agglomeration and diffusion in Cu thin films under supercritical CO2 annealing
Advanced Metallization Conference 2014: 24th Asian Session (ADMETAPlus2014) 2014.10
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Low Temperature Interdiffusion of Cu/Ni in Supercritical Fluid Carbon Dioxide using a New Cu(I) Amidinate Precursor
Advanced Metallization Conference 2014: 24th Asian Session (ADMETAPlus2014) 2014.10
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Slime mold as a smart interconnect
40th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2014) 2014.9
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Reliable glass metallization for 3D MEMS with using supercritical fluids
40th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2014) 2014.9
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超臨界流体を用いたZnO薄膜堆積とそのCu密着層としての利用
爲國成昭, 渡邉満洋, 近藤英一
表面技術協会第130回講演大会 2014.9 表面技術協会
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Preparation of membrane-embedded nanocatalysts for fabricating long carbon nanotubes], 40th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2014)
40th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2014) 2014.9
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Low temperature interdiffusion of Cu/Ni thin film in supercritical carbon dioxide
40th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2014) 2014.9
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基板面間差圧を利用した貫通電極めっき用装置
植野隆大, 渡邉満洋, 近藤英一
表面技術協会第130回講演大会 2014.9 表面技術協会
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エリプソメトリーにおける観測窓補正の一般化
金蓮花，春日翔貴，近藤英一
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014.9 応用物理学会
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基板表裏面間差圧を用いたウェハレベル超臨界Cu均一成膜
渡邉満洋,植野隆大,近藤英一,山本敏,末益龍夫
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014.9 応用物理学会
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Supercritical Fluid Chemical Deposition of Cu in Ru-lined Deep Nanotrenches using a New Cu(I) Amidinate Precursor
Md Rasadujjaman,Mitsuhiro Watanabe,Hiroshi Sudo,Hideaki Machida,Eiichi Kondoh
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014.9 応用物理学会
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学大将を育てる「ティーチサイエンス」キャリアハウス教育
岡部奈央, 武田明子, 内山和治, 渡邉満洋, 有元圭介, 佐藤哲也, 渡辺勝儀, 張本鉄雄, 近藤英一, 田中功, 中川清和
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014.9 応用物理学会
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リフレッシュ理科教室の教材「息で動かすスーハーエンジン」
岡田遼，近藤英一
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014.9 応用物理学会
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「ティーチサイエンス」：放射線とは何か？
矢﨑智昌，佐藤哲也，近藤英一，田中功，張本鉄雄
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014.9 応用物理学会
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High-precision curving process of Si wafer for X-ray MEMS mirror used in space application
Rasadujjaman Md，倉島優一，前田敦彦，廣島洋，高木秀樹，近藤英一，江副祐一郎
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014.9 応用物理学会
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新規1価Cu原料を用いたRuライナートレンチへのCu埋め込み
Md Rasadujjaman,渡邉満洋,近藤英一,須藤弘,町田英明
平成26年電気学会電子・情報・システム部門大会 2014.9 電気学会電子情報ｼｽﾃﾑ部門
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新しい金属薄膜・ガラス常温接合
渡邉満洋,近藤英一
平成26年電気学会電子・情報・システム部門大会 2014.9 電気学会電子情報ｼｽﾃﾑ部門
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Deposition of Cu in Ru Lined Deep Nanotrenches Using a New Cu(I) Amindinate Precursor from Supercritical Fluids
Clarkson University 19th International Symposium on Chemical Mechanical Planarization 2014.8
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新規低温分解1価Cu原料を用いた超臨界流体中Cu堆積
Md Rasadujjaman,渡邉満洋,須藤弘,町田英明,近藤英一
電気化学会電解科学技術委員会第24回電極材料研究会 2014.7 電気化学会電解科学技術委員会
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超臨界CO2流体中におけるCu薄膜の凝集ならびに拡散挙動
渡邉満洋, 中村良輝, 近藤英一
2014.3
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Cu埋め込みされたマイクロポーラスシリコンの電気特性
大矢敏史，近藤英一，ジェローズ ベルナール，金蓮花
2014.3
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ラフな鉄表面による散乱光の偏光特性および光学モデリング
山口晃司，近藤英一，ジェローズ ベルナール，金蓮花
2014.3
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その場エリプソ計測における観測窓の影響の補正
金蓮花，近藤英一
2014.3
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長尺カーボンナノチューブ作製用ナノ触媒金属埋め込み法の検討
長田和真, 渡邉満洋, 近藤英一, 大久保総一郎, 日方威, 中山明
2014.3
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Znドープと貴金属触媒効果による拡散加速を利用したCu/ガラス界面の常温接合
寺岡暁, 渡邉満洋, 近藤英一
2014.3
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Deposition of Cu in Ru-lined Deep Nanotrenches using a New Cu(I) Amidinate Precursor
Md Rasadujjaman, Mitsuhiro Watanabe, Hiroshi Sudo, Hideaki Machida, and Eiichi Kondoh
2014.3
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Interfacial reaction in Cu/noble metal/Zn-doped glass stacks
Mitsuhiro Watanabe, Akira Teraoka, and Eiichi Kondoh
2014.3
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Cu coating inside ultra high-aspect-ratio (>130) and bended through-hole using supercritical CO2 fluid
Mitsuhiro Watanabe, Yuto Takeuchi, Takahiro Ueno, Masahiro Matsubara, Eiichi Kondoh, Satoshi Yamamoto, Naohiro Kikukawa, and Tatsuo Suemasu
2013.10
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Deposition of Cu-Ni Alloy Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solutions
Md Rasadujjaman, Mitsuhiro Watanabe, and Eiichi Kondoh
2013.10
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Room-temperature intermixing at Cu/SiO2 interface in reliable metallization by adopting SiO2 surface dope and noble metal catalyzation
Mitsuhiro Watanabe, Akira Teraoka, and Eiichi Kondoh
2013.10
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Nonohole Coat/fill with Pt via Chemical Deposition in Supercritical Fluids
Toshiaki Goto and Eiichi Kondoh
2013.10
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Cu/ZnO/ガラス構造の高密着化におけるZnO/ガラス界面の影響
渡邉満洋, 寺岡暁, 近藤英一
2013.9
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超臨界流体を利用した3次元高アスペクト貫通孔内への均一Cu被覆
植野隆大, 竹内裕人, 松原正弘, 渡邉満洋, 近藤英一, 山本敏, 末益龍夫
2013.9
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In‐situ observation of Pt deposition process by using spectroscopic ellipsometry
Toshiaki Goto and Eiichi Kondoh
2013.9
-
Photo-assisted metal fill to nanopores using a supercritical fluid along with in-situ spectroscopic ellipsometric observation]
Eiichi Kondoh, Yukihiro Tamegai, Mitsuhiro Watanabe, and Lianhua Jin
2013.9
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生体を利用した高バンド幅立体金属配線構造，電気学会電子・情報・システム部門大会（C部門）
近藤英一
2013.9
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In‐situ observation of Pt deposition process by using spectroscopic ellipsometry
Toshiaki Goto and Eiichi Kondoh
2013.9
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分光エリプソメトリを利用したPt堆積のその場測定
後藤利章, 渡邉満洋, 近藤英一
2013.7
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超臨界CO2流体を利用した白金合金ナノ粒子担持
渡邉満洋, 近藤英一
2013.7
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Scattering light pattern of rough surface
K. Yamaguchi，A. Muhammad，B. Gelloz，E. Kondoh, and L. Jin
2013.5
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Adhesion strength and microstructure of Cu/Ni/OsOx/glass structure for highly reliable Cu interconnection
Mitsuhiro Watanabe and Eiichi Kondoh
2013 Materials Research Society (MRS) Spring Meeting & Exhibit 2013.4 応用物理学会
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超臨界流体中Cu薄膜堆積のその場分光エリプソメトリ解析（第3報）
近藤英一，五味瞭汰，田部井幸寛，渡邉満洋，金蓮花
第60回応用物理学会春季学術講演会 2013.3 応用物理学会
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生体のネットワーク解探索機能を活用した配線構造の提案と生体メタライズ
近藤英一，渡邉満洋，望月裕文，後藤利章
第60回応用物理学会春季学術講演会 2013.3 応用物理学会
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超臨界流体を用いたメソポーラスシリコンへのCu 埋め込み
金蓮花，大矢敏史，近藤英一，Bernard Gelloz
第60回応用物理学会春季学術講演会 2013.3 応用物理学会
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LiNbO3電気光学結晶を用いたその場イメージングエリプソメーターの開発
若子裕亮，滝沢國治，近藤英一，金蓮花
第60回応用物理学会春季学術講演会 2013.3 応用物理学会
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ラフな面におけるIn-plane散乱光パターン
山口晃司，アティラ ムハマド，近藤英一，金蓮花
第60回応用物理学会春季学術講演会 2013.3 応用物理学会
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超臨界CO2 を利用したナノ微細構造体へのNi の埋め込み
長田和真，渡邉満洋，近藤英一
第127回講演大会 2013.3 表面技術協会
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ナノ級厚金属酸化物層を用いたCu/ガラス構造の密着性改善
渡邉満洋，寺岡 暁，近藤英一
第127回講演大会 2013.3 表面技術協会
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超臨界CO2中における弾性表面波共振子の共振特性
垣尾 省司 ・ 林 克洋 ・ 近藤 英一
第78年会 2013.3 化学工学会
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ZnOを密着層として用いたガラス/Cu構造の密着性とナノ組
渡邉 満洋，寺岡 暁，鍋谷 暢一,近藤英一
第19期総会講演会 2013.3 日本機械学会 関東支部
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Can bio veins be used as interconnects?
Eiichi Kondoh, Hirofumi Mochizuki, and Mitsuhiro Watanabe
2013.3 Universiteit Ghent and IMEC
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Adhesion improvement for MEMS-use Cu/glass metallization by inserting nano-precision metallic oxide layers
M. Watanabe and E. Kondoh
2013.3 Universiteit Ghent and IMEC
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超臨界流体を利用した金属薄膜堆積技術
近藤英一
将来めっき技術検討部会第十回例会「あたらしいめっき関連技術」 2012.11 表面技術協会
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ZnO Adhesion Layer for Nanoprecision Electroless-Cu/glass Metallization
A. Teraoka, M. Watanabe, Y. Nabetani, and E. Kondoh
Advanced Metallization Conference 2012: 22nd Asian Session 2012.10 JSAP
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Multilayer Absorption Kinetics in Nickel Thin Film Deposition from Supercritical CO2.
Kazuma Osada, Mitsuhiro Watanabe, Eiichi Kondoh
10th International Conference on Supercritical Fluids 2012.5
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In-situ Spectroscopic Ellipsometry of Cu Deposition Process from Supercritical Fluids - Evidence for a Surface Condensation Layer Formation.
Eiichi Kondoh, Takuya Sasaki, Yukihiro Tamegai, Mitsuhiro Watanabe, Lianhua Jin
10th International Conference on Supercritical Fluids 2012.5
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Preparation of Carbon Supported Platinum Alloy Nanoparticles using Supercritical Carbon Dioxide.
Mitsuhiro Watanabe, Tatsunori Akimoto, Eiichi Kondoh
10th International Conference on Supercritical Fluids 2012.5
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Extraction of Trans Fatty Acid Free Rice Bran Oil Using Supercritical Carbon Dioxide
Masahiro Matsubara, Yasuhisa Nakato, Eiichi Kondoh
103rd AOCS Annual Meeting & Expo. 2012.5 American Oil Chemists' Society
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超臨界二酸化炭素を用いた金属超微粒子/多孔質カーボン複合体の作製
渡邉 満洋， 秋本 竜昇， 近藤 英一
日本金属学会 2012.3
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デュアル電気光学結晶を用いた高速複屈折計測システムの開発及び応用
齋藤 壮，ヌルディン ムハマド，高和宏行，手島昂太朗，梅田倫弘，滝沢國治，近藤英
第59回応用物理学関係連合講演会 2012.3
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超臨界流体中Cu薄膜堆積のその場分光エリプソメトリ解析（第2報）
佐々木 拓哉， 田部井 幸寛， 植野 隆大， 渡邉 満洋， 金 蓮花， 近藤 英一
第59回応用物理学関係連合講演会 2012.3
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超臨界CO2を用いた多孔質カーボン表面へのPt-Ru超微粒子担持
渡邉 満洋， 秋本 竜昇， 近藤 英一
化学工学会第77年会 2012.3
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超臨界流体中Cu堆積過程のその場分光エリプソメトリ
佐々木 拓哉， 田部井 幸寛， 植野 隆大， 渡邉 満洋， 金 蓮花， 近藤 英一
化学工学会第77年会 2012.3
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光変調技術の偏光計測への応用
金 蓮花，齋藤 壮，八木 亮磨，山口 晃司，若子 裕亮，近藤 英一
精密工学会 2012.3
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超臨界CO2 を用いて堆積したNi 薄膜の成膜特性
長田和真，渡邉満洋，近藤英一
表面技術協会 2012.3
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超臨界CO2を利用した三次元屈曲貫通孔への均一Cu堆積
渡邉満洋，竹内裕人，近藤英一
日本機械学会関東支部第１８期講演会 2012.3
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超臨界流体を用いた高アスペクト・屈曲貫通孔内のCu ライニング
近藤英一，渡邉満洋，竹内裕人，松原正弘
第48 回X 線材料強度に関する討論会 2011.12
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Resonance properties of surface acoustic wave resonators in supercritical CO2
K. Hayashi， S. Kakio， and E. Kondoh
Symposium Ulstrasonic Electronics 2011.11
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超臨界CO2中における弾性表面波共振子の共振特性
林 克洋,垣尾省司,近藤英一
電子情報通信学会超音波研究会 2011.10
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Resonance properties of surface acoustic wave resonator in supercritical CO2
S. Kakio， K. Hayashi， and E. Kondoh
IEEE Internatilal Ultrasonic Symposium 2011.10
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EXTRACTION OF RICE BRAN OIL WITH SUPERCRITICAL CARBON DIOXIDE.
Matsubara M.， Kondoh E.， and Nakato Y
The 13th European Meeting on Supercritical Fluids 2011.10
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Conformal Copper Coating of True 3D Through-holes Using Supercritical Carbon Dioxide
M. Watanabe， Y. Takeuchi， T. Ueno， M. Matsubara， E. Kondoh， S. Yamamoto， N
Advanced Metallizaion Conference USA 2011.10
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超臨界CO2を利用して作製したNi/ガラス構造体の密着性と界面組織
渡邉満洋，青山 央，近藤英一
表面技術協会第124回講演大会 2011.9
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3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した 際の被覆特性
松原正弘，近藤英一
表面技術協会第124回講演大会 2011.9
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超臨界CO2を用いた多孔質カーボン上への金属微粒子担持における表面処理の影響
秋本 竜昇， 近藤 英一， 渡邉 満洋
化学工学会第43回秋季大会 2011.9
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In-situ Spectroscopic Ellipsometry of Cu Deposition Process from Supercritical Fluids -An Evidence for an Abnormal Surface Layer Formation-
T. Sasaki， Y. Tamegai， M. Watanabe， L. Jin， and E. Kondoh
Advanced Metallizaion Conference Asian Session 2011.9
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Conformal Copper Coating of True 3D Through-holes Using Supercritical Carbon Dioxide
M. Watanabe， Y. Takeuchi， T. Ueno， M. Matsubara， E. Kondoh， S. Yamamoto， N
Advanced Metallizaion Conference Asian Session 2011.9
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超臨界CO2を用いた高アスペクトマイクロ孔への均一Cu被覆
竹内裕人，松原正弘，渡邉満洋，近藤英一
第72回 応用物理学会学術講演会 2011.9
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Sciences in micro- and nanoelectronics processes using an environmentally-friendly medium . supercritical CO2 fluid and its application
E. Kondoh
NATO Advanced Research Workshop 2011.6
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新規成膜手法によるSiNx膜の低温プロセス化
武山真弓,藤政毅,佐藤 勝,町田英明,近藤英一,野矢 厚
2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会 2011.3 社団法人 応用物理学会
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超臨界CO2法によるTrue3次元貫通配線孔内への均一Cu被覆
竹内裕人，近藤英一，松原正弘，山本敏，,末益龍夫
2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会 2011.3 社団法人 応用物理学会
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超臨界CO2を用いた多孔性カーボン上への金属微粒子担持
秋本竜昇，近藤英一
化学工学会第76年会 2011.3 社団法人 化学工学会
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In-situ Spectroscopic Ellipsometry in Supercritical CO2 Solutions and Its Application to Low-k Thin Film Characterization
E. Kondoh, Y. Tamegai K. Kotaka and L. Jin
Advanced Metallization Conference 20th Asian Session 2010 2010.10 ADMETA Committee
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超臨界CO2流体内の多孔質低誘電率薄膜の構造変化のその場分光エリプソメトリによる観測
田部井幸寛，小高和也，金蓮花，近藤英一
2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会 2010.9 社団法人 応用物理学会
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高アスペクトシリコンゴムのメタライズを利用したバイオピンセットの作製
竹内裕人，青山央，松原正弘，増井裕久，山田善博，近藤英一
化学工学会 第42回秋季大会 2010.9 社団法人 化学工学会
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超臨界流体中その場分光エリプソメトリの開発と薄膜膨潤測定への応用
田部井幸寛 ，小高和也，近藤英一
化学工学会 第42回秋季大会 2010.9 社団法人 化学工学会
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Science in Porosity Engineering of Low-k Dielectrics Using Supercritical Carbon Dioxide-Pore Characterization and Pore Cleaning
E. Kondoh
15th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization 2010.8
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超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス ～ 細孔の評価と洗浄 ～
近藤英一
電子情報通信学会技術研究報告 2010.7
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Mechanisms of Chemical Deposition from Supercritical Fluids for Advanvced Microelectronics Appilicitions
E.Kondoh, K.Tamai, N. Fukasawa, K. Kotaka, M. Matsubara
ICMPSN 2010 International Conference on Modern Problems in the Physics of Surface and Nanostructures 2010.6
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超臨界流体中堆積法を用いたナノ構造の作製プロセス
近藤英一
サテライトプログラム 第7回ナノクリスタルセラミックス研究会 2010.3 日本セラミックス協会
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フロー式堆積装置を用いたCu薄膜の堆積特性-流量依存性
竹内裕人,志村勇紀,深澤直樹,玉井架,松原正弘,近藤英一
化学工学会第75年会 2010.3 社団法人 化学工学会
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その場分光エリプソメトリにおける高圧容器用光学窓の偏光補正と吸着解析への適用
小高和也,田部井幸寛,金蓮花,近藤英一
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会 2010.3 応用物理学会
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高アスペクトシリコンゴムの超臨界メタライズを利用したバイオピンセットの作製
竹内裕人，松原正弘，増井裕久，山田善博，近藤英一
第123回講演大会 2010.3 社団法人 表面技術協会
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超臨界流体を用いた高アスペクトガラスマイクロ孔内Cu被覆
松原正弘,竹内裕人,近藤英一
第121回講演大会 2010.3 (社）表面技術協会
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超臨界CO2を用いたCu薄膜の大面積堆積へのアプローチ
深澤直樹,松原正弘,近藤英一
日本機械学会第16期総会講演会 2010.3 日本機械学会 関東支部
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Evalaution of the connectivity of micropores(<2 nm)and supermicropores(<0.5 mn)in low-k thin films using supercritical fluids
E.Kondoh
ＭＡＭ2010 2010.3 IMEC
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Science in porosity engineering of low-k dielectrics using supercritical carbon dioxide?pore haracterization and pore cleaning
Eiichi Kondoh
SEMICON Korea 2010 2010.2 SEMI
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Initial Cu growth in Cu-seeded and Ru-lined narrow trenches for supercriticalfluid Cu chemical deposition
Eiichi Kondoh,Masahiro Matsubara,Kakeru Tamai
Advanced Metallization Conference 19th Asian Session 2009 2009.10 ADMETA Committee
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Deposition kinetics of Cu thin films in supercritical carbon dioxide from a Cu(Ⅱ)beta-diketonate complex
Eiichi Kondoh,Yuto Takeuchi,Masahiro Matsubara
Supergreen 2009 2009.10
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Formation of periodically arrayed Si nano-hole filled with Cu using supercritical CO2
T.Kakeru,M.Matsubara,C.Lee,M.Matsumura,E.Kondoh
35th International Conference 2009.9 MNE2009
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Siマイクロ孔内に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性の検討
松原正弘,近藤 英一
化学工学会 第41回秋季大会 2009.9 社団法人 化学工学会
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超臨界流体中Cu堆積法におけるCuシード付トレンチ内への初期堆積特性
近藤英一,玉井架,松原正弘
2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会 2009.9 社団法人 応用物理学会
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超臨界流体中堆積法を用いたナノ構造の作製プロセス
サテライトプログラム 第7回ナノクリスタルセラミックス研究会 2009.3 日本セラミックス協会
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超臨界流体中有機金属還元法による金属薄膜堆積
近藤英一
第119回講演大会 2009.3 社団法人 表面技術協会
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超臨界流体中エリプソメトリーを用いた多孔質膜細孔度評価の検討
小高和也， 有賀庄作，近藤英一
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会 2009.3 応用物理学会
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超臨界流体を利用した超ミクロ細孔の連結度評価
近藤英一，有賀庄作，伊藤文則，林喜弘
化学工学会第74年会 2009.3 社団法人 化学工学会
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Siナノホールの作製と超臨界CO２によるCu埋め込み
玉井架，松原正弘，近藤英一，李佳龍，松村道雄
日本機械学会第15期総会講演大会 2009.3 日本機械学会 関東支部
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A fast new approach for evaluating the connectivity of micropores(＜2nm)and supermicropores(＜0.5mn) in low-k thin films
Eiichi Kondoh, Shosaku Aruga,Fuminori Ito and Yoshinori Hayashi
Advanced Metallization Conference Asian Session 2008 2008.10
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超臨界流体中エリプソメトリを用いた多孔質low-k膜の開孔性評価法の検討
有賀庄作，齊藤雄亮，米山明里，近藤英一
2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会 2008.9 社団法人 応用物理学会
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各種低密度薄膜の超臨界流体中でのその場エリプソメトリー観測
有賀 庄作，斉藤 雄亮・米山 明里，小高 和也，玉井 架，近藤 英一
化学工学会 第40回秋季大会 2008.9 社団法人 化学工学会
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超臨界流体を用いた各種細胞からの核酸のとりだし
近藤 英一，堀内 愛，御園生 拓
化学工学会 第40回秋季大会 2008.9 社団法人 化学工学会
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フロー方式のCu薄膜堆積の成膜特性と三次元貫通電極作成の試み
松原 正弘，深澤 直樹，米山 明里
化学工学会 第40回秋季大会 2008.9 社団法人 化学工学会
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Nanorod formation via topography-sensitive deposition in supercritical solutions
Eiichi Kondoh, Michiru Hirose,Eiichi Ukai,Kodai Nagano,Junju Yamanaka, Chiaya Yamamoto
34th International Conference 2008.9 MNE2008
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超臨界流体中での表面・薄膜のその場観測
近藤英一
2008.7 化学工学会 超臨界流体部会
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超臨界流体を用いたCu成膜
近藤英一
電子ジャーナルテクニカルセミナー 2008.5 電子ジャーナル
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超臨界流体を用いたCu薄膜堆積～成膜特性検討と貫通電極プロセスへの適用の試み
松原正弘，近藤英一
電子材料研究会 2008.5 社団法人 電気学会
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Cu film deposition from super critical carbon dioxide fluids for 3D-IC THRU via formation
Masahiro Matsubara, Eiichi Kondoh
11th European Meeting on Supercritical Fluids 2008.5
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多孔質Low-k膜を超臨界二酸化炭素洗浄した際の共溶媒の挙動
有賀 庄作,小高 和也,近藤 英一
2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会 2008.3 応用物理学会
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超臨界CO2堆積法を用いたMEMS貫通電極ヴィア孔内のCu薄膜形成(フロー方式第6報)
近藤英一,松原正弘
2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会 2008.3 応用物理学会
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超臨界CO2流体を利用したDNA抽出の試み
近藤英一,堀内愛,御園生拓
化学工学会第73年会 2008.3 化学工学会
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βジケトン錯体原料を用いたフロー式Cu薄膜堆積の堆積特性
松原正弘,近藤英一
化学工学会第73年会 2008.3 化学工学会
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In-situ偏光解析法による超臨界流体中での有機金属浸透のモニタリング
近藤 英一,有賀 庄作,鵜飼 栄一
化学工学会第73年会 2008.3 化学工学会
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フロー超臨界薄膜装置による薄膜の堆積特性と長時間成膜への適用
近藤英一,松原正弘
日本機械学会第14期総会講演会 2008.3 日本機械学会 関東支部
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超高密度流体中での動的溶解度制御を利用した形状敏感型自己整合ナノプロセス 構造形成メカニズムの検討
近藤英一
科研費特定領域研究 シリコンナノエレクトロニクスの新展開「ポストスケーリングテクノロジー」第二回成果報告会 2008.3
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フィラメント活性化方式の表面処理
近藤英一
諏訪圏産学リエゾンフェア 2008.3 財団法人長野県テクノ財団
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超臨界流体中での薄膜堆積法～原理,特徴,差別化要素～
近藤 英一
最近の化学工学講習会58 2007.12 化学工学会超臨界部会
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超臨界二酸化炭素中その場偏光解析法の開発～多孔質low-k膜の洗浄過程の解析
近藤英一,有賀庄作
第１回偏光計測研究会 2007.11 東北大学多元物質科学研究所
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Deposition of Oxide Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Fluids
Eiichi Kondoh
The Sixth Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing 2007.11
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Low-temperature texture improvement of copper thin films by using hot-filament radical source
Eiichi Kondoh,Masaya Fukasawa
Advanced Metallization Conference Asian Session 2007 2007.10 ADMETA委員会,応物
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Topography sensitive copper deposition for "post-scalability" era--A novel nano selective deposition mode
Eiichi Kondoh, Michiru Hirose, Eiichi Ukai, and Shosaku Aruga
Advanced Metallization Conference Asian Session 2007 2007.10 ADMETA委員会,応物
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Bottom-up interconnect formation possibility using supercritical fluids: beyond scalability,
Eiichi Kondoh
The International Conference "Micro- and nanoelectronics - 2007" (ICMNE-2007) 2007.10
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熱フィラメント水素ラジカルソースによるCu薄膜改質
近藤 英一,深澤 真也
化学工学会 第39回秋季大会 2007.9 化学工学会
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フロー堆積システムによるCu薄膜堆積
近藤 英一,廣瀬 みちる,福田 順平,松原 正弘
化学工学会 第39回秋季大会 2007.9 化学工学会
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活用広がる機能性高密度流体プロセッシング
近藤英一
2007年（平成19年）秋季 第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集 2007.9 応用物理学会
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Metalization using supercritical fluids for post-scalability ULSI processing
Eiichi Kondoh
8th Seminar Porous Glasses-Special Glasses ; Porous Glass Technology for Detection of Chemical Agents(PGL'2007) 2007.9 NATO
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超臨界二酸化炭素中その場偏光解析法の開発(2)～多孔質low-k膜の洗浄過程の解析
有賀庄作,鵜飼栄一,近藤英一
2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会 2007.9 応用物理学会
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In-situ ellipsometric study on the condensation and cleaning of a metalorganic copper compound to/from porous k thin films in supercritical carbon dioxide
Eiichi Kondoh
12th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization 2007.8 Clarkson University
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超臨界流体内での金属薄膜堆積
近藤 英一
第1回表面物性研究会 2007.6 (社）表面技術協会 関西支部
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Condensation and cleaning of a metalorganic copper compound to/from porous low-κthin films in supercritical carbon dioxide
E. Kondoh , E.Ukai
4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry 2007.6 ICSE4 Committee
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超臨界流体を利用した薄膜形成技術
近藤 英一
（独）日本学術振興会半導体界面制御技術第１５４委員会第５４回研究会 2006・5・23弘済会館" 2007.6
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超臨界流体を利用した薄膜形成技術
近藤 英一
ナノプレーティング研究会第２２回（通算８６回）例会 2007.5 （社）日本金属学会
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Novel topography-sensitive bottom-up growth of ruthenium and copper for filling nano-features using supercritical CO2 fluids: beyond scalability
E. Kondoh, M. Hirose, E. Ukai, K. Nagano
2007 MRS SPRING MEETING 2007.4 MRS
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"超臨界流体中薄膜堆積法における「形状敏感」堆積モード:Beyond Scalability
近藤英一,廣瀬みちる,鵜飼栄一,有賀庄作,長能広大
2007年春季 第54回応用物理学関係連合講演会 青山学院大学 相模原キャンパス 2007.3
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エリプソメトリ－薄膜測定入門 ～講義とEXCEL測定演習～
近藤英一
エリプソメトリーセミナー 2007.3 情報機構
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超臨界流体による次世代製膜・埋め込み技術～「全流体式」フロー超臨界薄膜堆積装置の製作～
（正）近藤英一,廣瀬みちる
総会講演会 2007.3 日本機械学会 関東支部
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超臨界流体の配線技術への応用
近藤英一，廣瀬みちる
日本機械学会関東支部２００７年総会・講演会，2007年3月16日，宇都宮大学 2007.3
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超臨界流体を利用したULSI多層配線用金属薄膜の形成
近藤英一
化学工学会反応工学部会CVD反応分科会の設立準備シンポジウム，2007/2/22,日本工業大学専門職大学院 2007.2
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Kinetics and Narrow-Gap Filling in Cu Thin Film Deposition from Supercritical Carbon Dioxide Fluids-Precise and Reliable Experiments using a Flow-Type Deposition Processor
E. Kondoh,M. Hirose,J. Fukuda
"Advanced Metallization Conference 2006: 16th Asian Session Sept. 25-27, 2006, Sanjo Conference Hall, The University of Tokyo, Tokyo" 2006.9
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超臨界流体を利用した薄膜形成技術
近藤 英一
産業技術総合研究所new-SIC研究会第3回研究会，９月２０日，産総研仙台 2006.9
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Nanostructure formation using supercritical fluids
E. Kondoh
32nd International Conference on Micro- and Nano- Engineering (MNE06), 18/9-20/9, Barcelona WTC, Spain. 2006.9
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超臨界流体を利用した薄膜形成技術
近藤 英一
化学工学会 超臨界流体部会 第5回サマースクール 平成１８年８月２２～２３日 熱海ニューフジヤホテル 2006.8
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Metallization using Supercritical Carbon Dioxide Fluid
E. Kondoh
10th International Symposium on Chemical-Mechanical Plaranization, Aug 14-17, 2005, Lakcplacid NY 2006.8
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ナノプレーティング研究会（日本金属学会）第18回例会
超臨界流体を利用した薄膜堆積技術 2006.5
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超臨界流体を利用した薄膜堆積技術
近藤英一
（独）日本学術振興会半導体界面制御技術第１５４委員会第５４回研究会 2006.5
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超臨界流体を利用した薄膜形成技術
近藤 英一 "
"ナノプレーティング研究会（日本金属学会）第18回例会 2006.5
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超臨界二酸化炭素を用いた微細配線形成技術～フロー式成膜実験装置を用いた堆積特性の検討～
日本機械学会関東支部第12期総会講演会2006/3/10-11東洋大学川越キャンパス 2006.3
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22a-R-9 超臨界CO2流体中におけるRuの形状敏感堆積の基礎検討 山梨大院医工 ○（M）廣瀬みちる，近藤英一
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会 開催場所： 武蔵工業大学（東京都世田谷区） 期間： 2006年3月22日（水）～26日（日） 2006.3
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24a-J-2 超臨界流体中化学堆積法における下地及び反応容器壁の堆積への影響 山梨大医工院 ○鵜飼栄一，近藤英一
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会 開催場所： 武蔵工業大学（東京都世田谷区） 期間： 2006年3月22日（水）～26日（日） 2006.3
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24a-J-3 フロー方式超臨界薄膜堆積装置の原料濃度制御とその堆積への影響(2) 山梨大医工院 ○廣瀬みちる，福田順平，近藤英一
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会 開催場所： 武蔵工業大学（東京都世田谷区） 期間： 2006年3月22日（水）～26日（日） 2006.3
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24p-J-13 ホットフィラメント法によるCuOの還元及びポーラスlow-k材料へのダメージ評価 山梨大医工院 ○（M）深澤真也，近藤英一
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会 開催場所： 武蔵工業大学（東京都世田谷区） 期間： 2006年3月22日（水）～26日（日） 2006.3
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熱フィラメント水素ラジカル源を用いたCu表面処理 近藤英一，深澤真也
応用物理学会分科会シリコンテクノロジー No.79, p.18-22, 2006/2/6/機械技術振興会館 2006.2
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超臨界流体を利用した薄膜形成技術，近藤 英一
（社）表面技術協会関東支部第68回例会講演会，平成17年11月30日，山梨県工業技術センター 2005.11
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Planarization challenges in Cu metallization by supercritical CO2 (Invited Talk), E. Kondoh
The 2nd Pac-Rim International Conference on Planarization CMP and Its Application Technology (PacRim-CMP 2005), November 17 ~ 19, 2005, COEX, Seoul, Korea 2005.11
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超臨界温泉について
科学知総合研究所フォーラム 2005.10
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To transfer familiar dry-process design to supercritical fluid chemical deposition appratus for studying deposition science, E. Kondoh and J. Fukuda
Advanced Metallization Conference Asian Session, Oct. 13-14, 2005, Tokyo 2005.10
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Hot Filament Technology for Quick and Low Temperatuer Copper Surface Recuperation, E. Kondoh
Advanced Metallization Conference Asian Session, Oct. 13-14, 2005, Tokyo 2005.10
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10p-ZF-5 超臨界二酸化炭素中その場偏光解析法の開発（1） 山梨大 医工院 ○鵜飼栄一，近藤英一
2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会 開催場所： 徳島大学 期間： 2005年 9月 7～11日 2005.9
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8a-A-7 フロー方式超臨界薄膜堆積装置の原料濃度制御とその堆積への影響 山梨大 医工院 ○福田順平，近藤英一
2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会 開催場所： 徳島大学 期間： 2005年 9月 7～11日 2005.9
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Metallization using Supercritical Carbon Dioxide Fluid, E. Kondoh
10th International Symposium on Chemical-Mechanical Plaranization, Aug 14-17, 2005, Lakcplacid NY 2005.8
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超臨界流体を利用したナノプロセッシング
フロンティアプロセス2005, 2005/8/19-20，産総研つくばセンター 2005.8
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Metallization using Supercritical Carbon Dioxide Fluid for 45nm Technology Node and Beyond, E. Kondoh
ISSF2005 2005.5
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超臨界流体を利用した金属薄膜堆積
（独）日本学術振興会薄膜第１３１委員会第２２５回研究会，2005/4/15，アジュール竹芝 2005.4
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超臨界二酸化炭素を用いた微細配線形成技術 （連続・フロー式成膜実験装置の開発） 福田順平，近藤英一
日本機械学会関東支部第11期総会講演会，2005年3月18日，19日，東京都立大学, p. 277-278 2005.3
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ホットフィラメント源で生成したHラジカルによるCuOの還元・導電化 近藤英一，大滋彌拓也
2005年春季 第52回応用物理学関係連合講演会，2005年3月29日～4月1日，埼玉大学，31p-ZE-15，p939 2005.3
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超臨界CO2への有機Cu成膜原料の溶解特性 福田順平，近藤英一
2005年春季 第52回応用物理学関係連合講演会，2005年3月29日～4月1日，埼玉大学，31p-ZE-18,p940 2005.3
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超臨界CO2流体中でのRu薄膜の堆積 近藤英一
2005年春季 第52回応用物理学関係連合講演会，2005年3月29日～4月1日，埼玉大学，31p-ZE-19，p940 2005.3
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多孔質低誘電率膜の微細構造 近藤英一
日本化学会第85年会アドバンストテクノロジープログラム（依頼講演）2K3-47 200５年3月26日～29日，神奈川大学, p. 519 2005.3
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フロー式超臨界CO2堆積装置を用いたCu薄膜の堆積 福田順平，近藤英一
化学工学会 第70年会 2005年3月22日(火)～24日(木) 名古屋大学 東山キャンパス 2005.3
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超臨界流体を用いたナノピラー構造作製 志鎌耕一郎，近藤英一
化学工学会 第70年会 2005年3月22日(火)～24日(木) 名古屋大学 東山キャンパス 2005.3
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超臨界流体を用いた薄膜堆積技術
技術情報協会セミナー（２００５年１月２７～２８日，北とピア） 2005.1
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超臨界流体を用いた配線形成技術
２００４セミコンジャパンテクノロジーシンポジウム（２００４年１２月１～３日，幕張メッセ） , p. 5-53--5-65 2004.12
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Direct Deposition of Cu\Barrier Stacks on Dielectric/Nonconductive Layers using Supercritical CO2
E. Kondoh, M. Hishikawa, M. Yanagihara, and K. Shigama
Proc. 2004 IEEE International Interconnect Technology Conference, p.33 2004.11
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超臨界CO2によるバックエンド一貫工程の可能性
第１３回半導体プロセスシンポジウム（２００４年９月１６日，笹川記念会館） 2004.9
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超臨界堆積法による層間絶縁膜上へのCu/BM積層構造の形成 近藤英一，菱川正毅，志鎌耕一郎
第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集，２００４年９月１日～9月4日，東北学院大学，2P-M-1, p. 706 2004.9
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フロー方式による超臨界二酸化炭素を用いたCu薄膜堆積特性の評価 福田順平，柳原勝，近藤英一
第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集，２００４年９月１日～9月4日，東北学院大学，2pM2,. P. 706 2004.9
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Barrier/Copper Direct Deposition Possibility using Supercritical Carbon Dioxide Fluid (invited)
E. Kondoh
Proc. 21st International VLSI Multilevel Interconnection Conference (Sep 30/Oct 1, Hawaii), p.17-18. 2004.9
-
Control of selective and blanket ruthenium film deposition chemistry in supercritical CO2 fluid chemical deposition
E. Kondoh
Proc. 2004 International Microprocess and Nanotechnology Conference, p. 48--49 2004.9
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超臨界ナノ配線プロセス
STARCシンポジウム２００４ 2004.5
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超臨界CO2流体中でのCu薄膜堆積 ～フロー型堆積装置の試作～ 近藤英一，柳原勝，福田順平，志鎌耕一郎
第51回応用物理学関係連合講演会，2004年3月28日～31日，東京工科大学 2004.3
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超臨界流体を利用した一貫メタライゼーションプロセスの可能性 近藤英一，菱川正毅，志鎌耕一郎
応用物理学会分科会，シリコンテクノロジー No. 58, 2004年2月2日，機械技術振興会館 予稿集p. 7--10 2004.2
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Noise free and jitter-less clock distribution method for high-frequency system using microcavity
H. Kato, E. Kondoh, T. Akitsu, T. Kobori and H. Morishita
Proc. Advanced Metallization Conference 2003, (Oct. 21-23, Montreal, Canada / Tokyo, 2003.), p. 65-68 2003.10
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Nanoscale Deposition in Supercritical Fluids, Cu Metallization Process and Barrier Metal Deposition Possibility
E. Kondoh, M. Hishikawa, K. Shigama
Proc. Advanced Metallization Conference 2003, (Oct. 21-23, Montreal, Canada / Tokyo, 2003.), p. 583-588. 2003.10
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超臨界CO2流体中のCu(hfac)2のＦＴＩＲ測定 志鎌耕一郎，近藤英一
第６４回応用物理学会学術講演会，2003年8月30日-9/2，福岡大学 2003.8
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Metal Filling in Deep Nano Trechnces/Holes using Supercritical Carbon Dioxide
E. Kondoh
Proc. 2003 International Microprocess and Nanotechnology Conference, p. 42 2003.6
-
Paving the Way for Full-Fluide IC Metallization using Supercritical Carbon Dioxide
E. Kondoh, V. Vezin, K. Shigama, S. Sunada, K. Kubo, and T. Ohta
Proc. 2003 IEEE International Interconnect Technology Conference, p. 141, 2003. 2003.6
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各種プリカーサーを用いた超臨界CO2流体堆積法によるCu薄膜の作製 志鎌耕一郎，近藤英一
第50回応用物理学関係連合講演会予稿集，2003/3/27-30，神奈川大学28aZG9, p. 906 2003.3
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Copper Deposition Characteristics from a Supercritical CO2 Fluid
E. Kondoh
Advanced Metallization Conference 2002, Sep. 29-Oct. 1, San Diego/Tokyo, 2002. 2002.9
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超臨界CO2中でのCu薄膜の堆積特性 近藤英一
第６３回応用物理学会学術講演会，2002年9月24日-27日，新潟大学 2002.9
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超臨界二酸化炭素を用いたLSI銅配線用薄膜の堆積 近藤英一
化学工学会第35回秋季大会，平成14年9月18日(水)-20日(金)，神戸大学 2002.9
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超臨界CO2中でのCu薄膜の堆積（依頼講演） 近藤英一
LSI配線における原子輸送・応力問題第８回研究会（応用物理学会表面分科会主催），2002年7月4日-5日，東京大学山上会館 2002.7
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多孔質低誘電率膜の微細構造（招待講演） 近藤英一
第６２回半導体・集積回路技術シンポジウム，平成14年6月6日-7日，機械振興会館ホール 2002.6
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超臨界二酸化炭素を用いたCu薄膜の作製と埋め込み 加藤洋樹，近藤英一
2002年春季第４９会応用物理学関係連合講演会， 2002年3月27-29，東海大学 2002.3
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ポリイミド上のスパッタAl薄膜のテクスチャ
2001年秋季（第129回）日本金属学会講演大会, 2001年9月22日～24日、九州産業大学（福岡市）, p. 175 2001.9
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Comparative Study of Porous SOG Films with Different Non-destructive Instrumentation, M.R. Baklanov, E.Kondoh, E.K.Lin,
D.W.Gidley, H.-J.Lee, K.P.Mogilnikov, and J.N.Sun
IEEE 2001 International Interconnect Technology Conference, pp.189-191. 2001.5
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最近のＬＳＩ配線用材料
金属学会機能性材料研究会、2000年5月26日（九州大学） 2000.5
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Cu-Ti合金／ポリイミド積層膜の界面特性
2000年春季（第127回）日本金属学会講演大会, 2000年３月２９日～３１日、横浜国立大学（横浜市）, p. 396 2000.3
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生体組織を利用した金属配線形成の試み
望月裕文，渡邉満洋，近藤英一
第126回講演大会 0928 表面技術協会
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Glass/ZnO 基板上への金属薄膜堆積と密着性
寺岡 暁，渡邉満洋，近藤英一
第126回講演大会 0928 表面技術協会
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超臨界流体を用いた金属薄膜堆積―メリットと展望―
近藤英一
第44回秋季大会 0921 化学工学会
Industrial Property Rights
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導電性物質の形成装置及びその形成方法
近藤英一,竹内裕人,渡邉満洋,山本敏,菊川直博
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導電性物質の形成装置及びその形成方法
近藤英一,竹内裕人,渡邉満洋,山本敏,菊川直博
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導電性物質の形成装置及びその形成方法
近藤英一,竹内裕人,渡邉満洋,山本敏,菊川直博
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導電性物質の形成装置及びその形成方法
近藤英一,松原正弘,竹内裕人
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細孔を有する薄膜の測定方法とそのシステム
近藤英一
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Deposition method for oxide thin film or stacked metal thin films using supercritical fluid or subcritical fluid, and deposition apparatus therefor
E. Kondoh
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導電体の形成装置、導電体の選択形成方法および半導体装置の製造方法
近藤英一,広瀬みちる,田中均,佐藤雅幸,矢野尚,吉丸正樹
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近藤英一，超臨界流体中に連続的に低圧の気体を添加する方法およびそのための装置
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加藤初弘，近藤英一 クロック信号分配装置
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近藤英一，超臨界流体又は亜臨界流体を用いた酸化物薄膜，または金属積層薄膜の成膜方法，及び成膜装置
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成膜装置および成膜方法
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ブザンバンソン，久保謙一，小宮隆弘，近藤英一 成膜装置および成膜方法，
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半導体装置の製造方法
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半導体装置の製造方法
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金属膜の堆積方法
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Ａｌ薄膜の形成方法
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金属薄膜の形成方法
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薄膜形成方法
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薄膜の形成方法
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アルミニウム合金金属膜の堆積方法およびアルミニウム合金配線の形成装置
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金属膜の形成方法
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アルミニウム合金薄膜の形成方法
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化学気相成長装置
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アルミニウム配線の形成方法
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埋込プラグの形成方法
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Ａｌ薄膜形成方法
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金属薄膜の形成方法
-
アルミニウム合金薄膜の形成方法及びその装置
-
アルミニウム合金薄膜の形成方法及びその装置
-
金属薄膜の形成方法
-
半導体装置の製造方法
-
金属薄膜の形成方法
-
半導体ダイヤモンド
-
薄膜形成方法
-
Ａｌ合金膜の形成方法
-
薄膜形成方法
-
薄膜形成方法
-
金属膜の形成方法
-
配線構造及びその形成方法
-
アルミニウム合金薄膜の形成方法及びその装置
-
金属膜の形成方法
-
埋込プラグの形成方法
-
埋込プラグの形成方法
-
アルミニウム合金配線の形成方法及びその装置
-
合金薄膜の形成方法
-
Ａｌ配線の製造方法
-
金属膜の選択形成方法
-
アルミニウム合金薄膜の形成装置
-
合金薄膜の形成装置
-
ＡｌＣｕ合金金属膜
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ＡｌＣｕ合金金属膜およびその形成方法
-
多層配線構造の半導体装置及びその製造方法
-
液体原料の送給方法及び薄膜の形成方法
-
半導体装置のアルミニウム配線の形成方法及び装置
-
半導体集積回路装置の配線の形成方法
-
金属配線
-
銅薄膜のドライエッチング方法
-
銅薄膜のドライエッチング方法
-
銅薄膜のドライエッチング方法
-
半導体装置の製造方法
-
半導体装置の製造方法
-
気相成長用ガス供給装置
-
単結晶ダイヤモンド膜の気相合成方法
-
埋め込みプラグの形成方法
-
多層配線構造の半導体装置
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Ａｌ若しくはＡｌ合金の成膜方法
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金属配線の形成方法およびその装置
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集積回路装置
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ダイヤモンド合成法及びそれに用いる合成装置
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高濃度Ｓｉ含有電磁鉄板の製造方法
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ダイヤモンド合成法およびその合成装置
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2. 特許公開2004－228526 基板処理方法および半導体装置の製造方法
-
3. 特許公開2004－225152 基板処理方法および半導体装置の製造方法
-
ヴィア孔の埋め込み方法
-
多層配線構造の半導体装置及びその製造方法
-
多層配線構造を有する半導体装置の製造方法、及び、多層配線構造を有する半導体装置
-
多層配線構造を有する半導体装置の製造方法、及び、多層配線構造を有する半導体装置
-
多層配線構造およびその製造方法
-
層間接続孔の埋め込み方法
-
半導体装置の製造方法
-
有機金属化合物混合液及びそれを用いた薄膜の形成方法
-
多層配線構造の形成方法
-
多層配線構造を有する半導体装置の製造方法
-
多層配線構造の形成方法
-
埋込プラグの形成方法
-
アルミニウム配線の形成方法
-
アルミニウム配線の形成方法
-
アルミニウム配線の形成方法
-
アルミニウム配線の形成方法
-
埋込プラグの形成方法およびその装置
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半導体装置の製造方法
-
高圧処理装置および高圧処理方法
-
Chemical vapor deposition apparatus for forming thin film
-
Chemical vapor deposition method for forming thin film
-
Method for supplying liquid material and process for forming thin films using the liquid material supplying method
-
Method for making metal interconnection with chlorine plasma
-
Method of manufacturing semiconductor device having multilevel interconnection structure
-
Method for making metal interconnection
-
Metal interconnection and method for making
-
Semiconductor device having a multilevel interconnection structure
-
集積回路装置
-
含Ｃｒ溶鋼の脱炭精錬方法
-
アルミニウム合金金属膜の堆積方法
-
アルミニウム合金配線の形成方法及びその装置
-
金属膜の形成方法
-
薄膜形成方法
-
半導体装置の製造方法
-
銅薄膜のドライエッチング方法
-
Ａｌ若しくはＡｌ合金の成膜方法
-
半導体装置の製造方法
-
Method of adding low-pressure gas continuously to supercritical fluid and apparatus therefor
E. Kondoh,J. Fukuda
Awards
-
Fellow of the Japan Society of Applied Physics
2019.9 Japan Society of Applied Physics
-
Fellow of the Japan Society of Applied Physics
2019.9 Japan Society of Applied Physics 超臨界CVDと洗浄技術の開拓及び半導体プロセスへの応用
-
ADMETA AWARD
2017.10 In-situ ellipsometry of Cu surfaces immersed in BTA-H2O2 solutions - Effect of pH
E. Kondoh, T. Kawakami, M. Watanabe, L. Jin, S. Shima, S. Hamada, and H. Hiyama
-
Advanced Metallization Conference: Asian Session） Technical Achievement Award
2014.10
-
平成２６年度科学研究費助成事業審査委員表彰
2014.10 （独）⽇本学術振興会
近藤英一
-
日本機械学会フェロー
2013.1 日本機械学会
近藤英一
-
平成２３年度表面技術協会論文賞
2011.2
松原正弘,近藤英一
-
Advanced Metallization Conference Asian Session Technology Achievement Award
2009.10 ADMETA委員会
近藤英一,他
-
山梨科学アカデミー奨励賞
2009.5 山梨科学アカデミー
近藤英一
-
社団法人 精密工学会 高城賞
2005.9 社団法人 精密工学会
近藤英一
-
日本金属学会技術開発賞
1995.1
Teaching Experience (On-campus)
-
Exercises on Physical Chemistry Major achievement
2023Year
-
Ordinary Differential Equations Major achievement
2023Year
-
Speical lecture for micro and nano processing
2018Year Type of subject：Master's (Graduate School)
-
Semicondutor processing
2018Year Type of subject：Common education (undergraduate)
-
Speical lecture for advanced processing
2018Year Type of subject：Dr. (Graduate School)
-
Semicondutor processing
2018Year Type of subject：Professional education (undergraduate)
-
Processes for metal/semiconductor synthesis
2018Year Type of subject：Professional education (undergraduate)
-
Mathematics excercise II
2018Year Type of subject：Professional education (undergraduate)
-
Special lecture for materials processing
2018Year Type of subject：Master's (Graduate School)
-
Special lecture for quantum materials
2018Year Type of subject：Master's (Graduate School)
-
Ordinary differential equations
2018Year Type of subject：Professional education (undergraduate)
-
Special lecture for quantum materials
2018Year Type of subject：Master's (Graduate School)
-
Speical lecture for micro and nano processing
2018Year Type of subject：Dr. (Graduate School)
-
Semicondutor processing
2017Year Type of subject：Common education (undergraduate)
-
Speical lecture for advanced processing
2017Year Type of subject：Dr. (Graduate School)
-
Semicondutor processing
2017Year Type of subject：Professional education (undergraduate)
-
Processes for metal/semiconductor synthesis
2017Year Type of subject：Professional education (undergraduate)
-
Mathematics excercise II
2017Year Type of subject：Professional education (undergraduate)
-
Special lecture for materials processing
2017Year Type of subject：Master's (Graduate School)
-
Ordinary differential equations
2017Year Type of subject：Professional education (undergraduate)
-
Special lecture for quantum materials
2017Year Type of subject：Master's (Graduate School)
-
Speical lecture for micro and nano processing
2017Year Type of subject：Dr. (Graduate School)
-
Speical lecture for micro and nano processing
2017Year Type of subject：Master's (Graduate School)
Guidance results
-
2021
Type：Master's （Major B course）dissertations guidance
Number of people receiving guidance ：1people
Other undergraduate student guidance
-
2020
Guidance of overseas student - total time：100hours
Guidance of employment - total time：40hours
Guidance to life and extracurricular activities - total time：100hours
-
2019
Guidance of employment - total time：15hours
-
2019
Guidance to life and extracurricular activities - total time：100hours
Other educational achievements
-
キャリアハウス「大気圏気象モニタリング」の実習指導
2023
-
写真部顧問
2023
-
山梨大学アマチュア無線部顧問
2023
-
キャリアハウス「ティーチサイエンス」の学生実験実習指導
2022
-
キャリアハウス「大気圏気象モニタリング」の実習指導
2022
-
山梨大学アマチュア無線部顧問
2022
-
キャリアハウス「大気圏気象モニタリング」の実習指導
2021
-
キャリアハウス「ティーチサイエンス」の学生実験実習指導
2021
-
キャリアハウス・大気圏気象モニタリング主宰、学生指導
2020
-
キャリアハウス「大気圏環境モニタリング」を主催，気象観測基地運用
キャリアハウス「ティーチサイエンス」に参加2019
Review of master's and doctoral thesis
-
2019
Examiner classification：Second reader
Master ：2people
Social Activities
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部、科学館、本学共催）
2023.8
-
アマチュア無線を通じた自治体連携防災活動
Role(s)： Planner, Organizing member, Demonstrator
2023
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部、オンライン理科教室）
2021.10
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部、オンライン理科教室）
2021.10
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部、オンライン）
2021.9
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部、オンライン）
2021.9
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部、科学館、本学共催）
2021.8
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部、科学館、本学共催）
2021.8
-
表面技術協会第135回大会実行委員長
Role(s)： Organizing member
表面技術協会 2021.3
-
表面技術協会第135回大会実行委員長
Role(s)： Organizing member
表面技術協会 2021.3
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部、ハイブリッド）
Role(s)： Lecturer, Advisor, Planner, Organizing member, Demonstrator
応用物理学会東海支部 2020.4 - 2021.3
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部、ハイブリッド）
Role(s)： Lecturer, Advisor, Planner, Organizing member, Demonstrator
応用物理学会東海支部 2020.4 - 2021.3
-
リフレッシュ理科教室（山梨会場）
Role(s)： Lecturer, Advisor
応用物理学会東海支部 2019.7
-
リフレッシュ理科教室（山梨会場）
Role(s)： Lecturer, Advisor
応用物理学会東海支部 2019.7
-
リフレッシュ理科教室（浜松会場）
Role(s)： Lecturer, Demonstrator
応用物理学会東海支部 2019.7
-
リフレッシュ理科教室（浜松会場）
Role(s)： Lecturer, Demonstrator
応用物理学会東海支部 2019.7
-
Materials Research Society Spring Meetings, Symposium Organizer EP07
2019.4
-
Materials Research Society Spring Meetings, Symposium Organizer EP07
2019.4
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部）
山梨県立科学館 2018.7
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部）
山梨県立科学館 2017.8
-
おもしろメカニカルワールド
国立科学博物館 2016.8
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部）
山梨県立科学館 2016.8
-
International Workshop of Materials for Advanced Interconnects (Beijing, China), Committee Member
2016 - 2017
-
International Workshop of Materials for Advanced Interconnects (Beijing, China), Committee Member
2016 - 2017
-
メカパイロット
富士河口湖高校 2015.12
-
リフレッシュ出前理科教室
松野小学校（静岡市） 2015.11
-
山梨大学ものづくり出張授業
富士河口湖高校 2015.10
-
リフレッシュ理科教室
浜松市立科学館 2015.6
-
メカパイロット
塩山高校 2014.8
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部）
山梨県立科学館 2014.8
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部）
山梨県立科学館 2014.8
-
リフレッシュ出前理科教室
村上小学校（長野県千曲市） 2014.7
-
リフレッシュ理科教室
浜松市立科学館 2014.6
-
メカパイロット
塩山高校 2014.2
-
メカパイロット
日本機械学会関東支部山梨ブロック 2013.5
-
電波教室
県立科学館 2012 - 2014
-
リフレッシュ理科教室（応用物理学会東海支部）
県立科学館 2012 - 2014
-
2012 - 2014
-
リフレッシュ理科教室
県立科学館 2011.8
-
リフレッシュ理科教室
県立科学館 2010.8
-
2010.3 - 2012.2
-
2010 - 2012
-
2010 - 2011
-
2009.3
-
2009
-
2009 - 2015
-
2009 - 2012
-
リフレッシュ理科教室
2008.8
-
2008 - 2014
-
2007 - 2015
-
2006.4 - 2008.3
-
2005.4 - 2007.3
-
2003 - 2015
-
2002.4 - 2005.3
-
2001 - 2014
-
2001 - 2005
International Exchange and International Contribution
-
2006
応用物理学会・山梨県・山梨大学主催
リフレッシュ理科教室 指導
８月８～９日
於 山梨県立科学館 -
2005
応用物理学会・山梨県・山梨大学主催
リフレッシュ理科教室 指導
於 山梨県立科学館
Professional Memberships
-
電気化学会
2022.12
-
山梨科学アカデミー
2010.4
-
応用物理学会
1986
-
表面技術協会
-
エレクトロニクス実装学会
-
日本機械学会
-
表面技術協会
-
日本機械学会
-
応用物理学会
-
エレクトロニクス実装学会
Committee Memberships
-
一般社団法人表面技術協会 理事・副会長
2023.3 - 2025.2
-
応用物理学会 評議員
2022.4 - 2024.3
-
応用物理学会 教育企画委員会 委員
2020.4 - 2022.3
Committee type：Society
-
応用物理学会 教育企画委員会 委員
2020.4 - 2022.3
Committee type：Society
-
JST創発的研究支援事業 審査委員
2020.4 - 2021.3
Committee type：Government (national level)
-
応用物理学会 会誌編集委員
2020.4 - 2021.3
Committee type：Society
-
応用物理学会 会誌編集委員
2020.4 - 2021.3
Committee type：Society
-
JST創発的研究支援事業 審査委員
2020.4 - 2021.3
Committee type：Government (national level)
-
表面技術協会 国際交流委員
2019.3 - 2022.2
Committee type：Society
-
表面技術協会 国際交流委員
2019.3 - 2022.2
Committee type：Society
-
日本機械学会関東支部山梨ブロック ブロック長
2018.3 - 2020.2
-
日本機械学会関東支部山梨ブロック ブロック長
2018.3 - 2020.2
-
日本機械学会関東支部 商議員
2018.3 - 2019.2
-
日本機械学会関東支部 商議員
2018.3 - 2019.2
-
（一社）表面技術協会 理事
2017.3 - 2018.2
Committee type：Society
-
（一社）表面技術協会 理事
2017.3 - 2018.2
Committee type：Society
-
（一社）表面技術協会 理事
2016.4 - 2017.3
-
（一社）表面技術協会 理事
2016.4 - 2017.3
-
応用物理学会 代議員
2016.3 - 2019.2
-
応用物理学会 代議員
2015.3 - 2016.2
-
応用物理学会東海支部 幹事・リフレッシュ理科教室実行委員
2012
-
日本機械学会関東支部 監事
2011.3 - 2013.3
-
日本光学会偏光計測・制御技術研究グループ」 世話人
2010.6
-
表面技術協会 関東支部 幹事
2010.4
-
表面技術協会 表面技術編集委員会 委員
2009.4 - 2015.3
-
化学工学会超臨界流体部会 幹事
2009.3 - 2019
-
電気化学会電子材料委員会 委員
2008.4
-
応用物理学会 東海支部 幹事
2008.4 - 2022.3
-
電気化学会電子材料委員会 委員
2008.4
-
科研費審査委員 その他の委員、役員
2007.4 - 2009.3
-
日本機械学会 山梨ブロック 商議員，ブロック長
2006.4 - 2007.3
-
科学知総合研究所 理事
2006 - 2022
-
科学知総合研究所 理事
2006 - 2022
-
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 幹事、多層配線技術専門委員会委員長
2004.4
-
日本機械学会メカトップ編集委員会 委員
2003.4 - 2005.3
-
電気学会ULSI・実装インターコネクト材料技術調査専門委員会 幹事
2002.4 - 2008.5
-
日本機械学会関東支部山梨ブロック 商議員
2002.4 - 2004.3
-
Advanced Metallization Conference Asian Session Exective Comittee member
2001.4