次世代ゲート駆動回路の高性能・高機能化を実現する弾性境界波フィルタの開発

2022年4月 - 2023年3月

基盤研究（B）

五箇 繁善、垣尾 省司

異種材料接合を用いた弾性表面波高調波強勢励振と次世代超高周波フィルタへの応用

2022年4月 - 2023年3月

科学研究費補助金  基盤研究(B)

垣尾 省司

新規圧電単結晶（Ca3TaGa3Si2O14）を用いた5G向け高周波・高安定フィルタの開発

2021年5月 - 2022年3月

JST  研究成果展開事業　A-STEPトライアウトタイプ 

垣尾 省司

異種材料接合を用いた弾性表面波高調波強勢励振と次世代超高周波フィルタへの応用

2021年4月 - 2022年3月

科学研究費補助金  基盤研究(B)

垣尾 省司

弾性表面波を用いたゲート駆動回路の高性能化と次世代マルチレベルインバータへの 応用

2020年4月 - 2021年3月

基盤研究（B）

五箇 繁善、垣尾 省司

異種材料接合を用いた弾性表面波高調波強勢励振と次世代超高周波フィルタへの応用

2020年4月 - 2021年3月

科学研究費補助金  基盤研究(B)

垣尾 省司

新規圧電単結晶（Ca3TaGa3Si2O14）を用いた超高安定SAWフィルタの開発

2020年4月 - 2020年11月

JST  研究成果展開事業　A-STEP機能検証フェーズ 

新規圧電単結晶（Ca3TaGa3Si2O14）を用いた超高安定SAWフィルタの開発

2019年11月 - 2020年3月

JST  研究成果展開事業　A-STEP機能検証フェーズ 

弾性表面波を用いたゲート駆動回路の高性能化と次世代マルチレベルインバータへの 応用

2019年4月 - 2020年3月

基盤研究（B）

五箇 繁善、垣尾 省司

弾性表面波を用いたゲート駆動回路の高性能化と次世代マルチレベルインバータへの 応用

2018年4月 - 2019年3月

基盤研究（B）

五箇 繁善

異種材料接合による縦型リーキー弾性表面波の高結合化と次世代高周波フィルタへの応用

2018年4月 - 2019年3月

科学研究費補助金  基盤研究(B)

縦型漏洩弾性表面波を用いた光周波数シフタの高周波化に関する研究

2018年4月 - 2019年3月

公益財団法人フジクラ財団  公益財団法人フジクラ財団平成30年度 研究助成 

垣尾　省司

縦型漏洩弾性表面波を用いた光周波数シフタの高周波化に関する研究

2017年4月 - 2018年3月

公益財団法人フジクラ財団  公益財団法人フジクラ財団平成29年度 研究助成 

垣尾　省司

異種材料接合による縦型リーキー弾性表面波の高結合化と次世代高周波フィルタへの応用

2017年4月 - 2018年3月

科学研究費補助金  基盤研究(B)

次世代携帯電話に向けた高速・高結合・高安定SAW基板構造の開発

2016年6月 - 2017年3月

JST  研究成果展開事業マッチングプランナー プログラム「企業ニーズ解決試験 」 

次世代電力変換回路に適したSAWフィルタを用いたゲート駆動回路の提案

2016年4月 - 2017年3月

高音速薄膜装荷による縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2016年4月 - 2017年3月

高音速薄膜装荷による縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2015年4月 - 2016年3月

高音速薄膜装荷による縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2014年4月 - 2015年4月

逆プロトン交換法を用いてゼロチャープ・DCドリフトフリーを実現するLN光変調器の開発

2013年8月 - 2014年3月

逆プロトン交換を用いた縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2013年4月 - 2014年3月

次世代携帯電話に向けた高速・低損失SAW基板構造の開発

2012年11月 - 2013年3月

逆プロトン交換を用いた縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2012年4月 - 2013年3月

次世代携帯電話用SAWデバイスを実現する高速・低損失基板構造の確立

2011年10月 - 2012年3月

逆プロトン交換を用いた縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2011年4月 - 2012年3月

4G携帯電話用SAWデバイスを実現する高速・低損失基板構造の開発

2010年10月 - 2011年3月

逆プロトン交換を用いたバルク波フリー弾性表面波基板と低損失広帯域フィルタへの応用

2010年4月 - 2011年3月

簡易なRGB光同時変調システムを実現する高消光比・広帯域音響光学変調素子の開発

2009年7月 - 2010年3月

逆プロトン交換を用いたバルク波フリー弾性表面波基板と低損失広帯域フィルタへの応用

2009年4月 - 2010年3月

逆プロトン交換を用いたバルク波フリー弾性表面波基板と低損失広帯域フィルタへの応用

2008年4月 - 2009年3月

高機能ニオブ酸カリウム圧電薄膜の作製と広帯域・低損失弾性表面波フィルタへの応用

2007年4月 - 2008年3月

KNbO3薄膜光導波路のフォトリフラクティブ効果を用いた光情報通信デバイスに関する研究開発

2007年4月 - 2008年3月

KNbO3薄膜光導波路のフォトリフラクティブ効果を用いた光情報通信デバイスに関する研究開発

2006年4月 - 2007年3月

高機能ニオブ酸カリウム圧電薄膜の作製と広帯域・低損失弾性表面波フィルタへの応用

2006年4月 - 2007年3月

超高速フォトニックネットワーク用光スイッチデバイスに関わる研究開発

2005年4月 - 2006年3月

高密度誘電体薄膜装荷ランガサイト基板を用いた高結合・高安定ラブ波型弾性表面波

2004年4月 - 2005年3月

弾性波エネルギートラッピングを利用した高結合・高安定のラブ波型弾性表面波基板

2004年4月 - 2005年3月

超高速フォトニックネットワーク用光スイッチデバイスに関わる研究開発

2004年4月 - 2005年3月

弾性波エネルギートラッピングを利用した高結合・高安定のラブ波型弾性表面波基板

2003年4月 - 2004年3月

高密度誘電体薄膜装荷ランガサイト基板を用いた高結合・高安定ラブ波型弾性表面波

2003年4月 - 2004年3月

超高速フォトニックネットワーク用光スイッチデバイスに関わる研究開発

2003年4月 - 2004年3月

バルク波フリー漏えい弾性表面波の探索と高周波・低損失フィルタへの応用

2001年4月 - 2002年3月

バルク波フリー漏えい弾性表面波の探索と高周波・低損失フィルタへの応用

2000年4月 - 2001年3月

バルク波フリー漏えい弾性表面波と低損失フィルタへの応用

1998年4月 - 1999年3月

プロトン交換基板を利用した漏洩弾性表面波放射損失の抑制と低損失フィルタへの応用

1997年4月 - 1998年3月

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on bonded structures consisting of similar and dissimilar materials 査読 重要な業績

Yudai Fujii, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   62 ( SJ )   SJ1028-1 - SJ1028-6   2023年3月( ISSN：0021-4922 )

Resonance properties of shear-horizontal surface acoustic waves on Ca3TaGa3Si2O14 at room and high temperatures 査読 重要な業績

Ryoto Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio and Noritoshi Kimura

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   62 ( SJ )   SJ1022-1 - SJ1022-8   2023年2月( ISSN：0021-4922 )

Analysis of surface acoustic wave resonance properties on piezoelectric substrates with periodic voids 査読 重要な業績

Takashi Suzuki, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   62 ( SJ )   SJ1008-1 - SJ1008-8   2023年2月( ISSN：0021-4922 )

High-order mode bulk acoustic wave resonators based on polarity-inverted SiAlN/AlN multilayered films for high-frequency operation 査読 重要な業績

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

APPLIED PHYSICS LETTERS   121   141904   2022年10月( ISSN：0003-6951 )

Evaluation of bulk and surface acoustic waves propagation properties of (K,Na)NbO3 films deposited by hydrothermal synthesis or RF magnetron sputtering methods 査読 重要な業績

Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Takahisa Shiraishi, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi and Kenji Shibata

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1077-1 - SG1077-8   2022年6月( ISSN：0021-4922 )

Deposition and evaluation of Ta2O5 piezoelectric thin film on Pt crystal film 査読 重要な業績

Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera and Hiroshi Funakubo

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1076-1 - SG1076-8   2022年6月( ISSN：0021-4922 )

Enhancement of coupling factor in 0th to 4th mode Rayleigh surface acoustic waves on polarity inverted multilayered ScAlN film/AlN and BN substrates 査読 重要な業績

Yusei Takano, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1059-1 - SG1059-7   2022年5月( ISSN：0021-4922 )

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on quartz thin plate bonded to similar-material substrate 査読 重要な業績

Yudai Fujii, Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1052-1 - SG1052-6   2022年5月( ISSN：0021-4922 )

Analysis of propagation characteristics of Rayleigh surface acoustic waves on Yb0.33Al0.67N piezoelectric films/high-velocity substrates 査読 重要な業績

Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1014-1 - SG1014-3   2022年3月( ISSN：0021-4922 )

Analysis of leaky surface acoustic waves on quartz thin plates bonded to similar-material substrate 査読 重要な業績

Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 ( SD )   SDDC04-1 - SDDC04-6   2021年7月( ISSN：0021-4922 )

Progress Review: High-performance surface acoustic wave devices using composite substrate structures 招待 査読 重要な業績

Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 ( SD )   SD0802-1 - SD0802-11   2021年7月( ISSN：0021-4922 )

Increase of electromechanical coupling coefficient kt2 in (0001)-oriented AlN films by chromium doping 査読 重要な業績

Yusei Takano, Ryusei Hayakawa, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 ( SD )   SDDC08-1 - SDDC08-7   2021年7月( ISSN：0021-4922 )

Enhancement of leaky SAW harmonics excitation using bonded dissimilar material structures 査読 重要な業績

Shiori Asakawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 ( SD )   SDDC07-1 - SDDC07-7   2021年7月( ISSN：0021-4922 )

Analysis of leaky surface acoustic wave characteristics propagating on high piezoelectric ScAlN film/high velocity quartz substrate 査読 重要な業績

Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC07-1 - SGGC07-5   2020年7月( ISSN：0021-4922 )

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on LiNbO3/amorphous layer/quartz structure 査読 重要な業績

Shiori Asakawa, Junki Hayashi, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC12-1 - SGGC12-5   2020年7月( ISSN：0021-4922 )

Analysis of leaky surface acoustic waves on LiNbO3 or LiTaO3 thin plate bonded to similar-material substrates 査読 重要な業績

Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki , and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC01-1 - SGGC01-7   2020年7月( ISSN：0021-4922 )

Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded LiTaO3/quartz bonded structure 査読 重要な業績

Shoji Kakio, Yoshiki Kato, Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC04-1 - SGGC04-3   2020年7月( ISSN：0021-4922 )

Power transmission characteristics of EWC-SPUDT SAW filters fabricated for multiplex transmission system of inverter gate drive circuits 査読 重要な業績

Ken Watada, Shigeyoshi Goka, Shoji Kakio, Fumiya Kobayashi, Ryo Nonaka, and Keiji Wada

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC05-1 - SGGC05-5   2020年7月( ISSN：0021-4922 )

Longitudinal leaky surface acoustic wave with low attenuation on LiTaO3 or LiNbO3 thin plate bonded to quartz substrate 査読

Junki Hayashi, Kosuke Yamaya, Shiori Asakawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 ( SG )   SGGC12-1 - SGGC12-8   2019年7月( ISSN：0021-4922 )

Evaluation of SiO2 Thin films on piezoelectric substrates using line-focus-beam ultrasonic material characterization system 査読

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa and Jun-ichi Kushibiki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 ( SG )   SGGA05-1 - SGGA05-6   2019年7月( ISSN：0021-4922 )

Acousto-optic modulators driven by longitudinal leaky surface acoustic waves on LiNbO3 thin-plate bonded structures 査読

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 ( SG )   SGGA09-1 - SGGA09-5   2019年7月( ISSN：0021-4922 )

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic wave propagation characteristics on a piezoelectric ScAlN layer/sapphire or quartz substrate 査読

Masashi Suzuki, Naoya Sawada and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 ( SG )   SGGC08-1 - SGGC08-6   2019年7月( ISSN：0021-4922 )

学大将が育つキャリアハウス教育 招待 査読

垣尾 省司

応用物理   88 ( 4 )   287 - 290   2019年4月

High coupling and highly stable leaky surface acoustic waves on LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate 査読

Junki Hayashi, Kosuke Yamaya, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Haruka Suzaki, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LD21-1 - 07LD21-6   2018年7月( ISSN：0021-4922 )

Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded piezoelectric substrate 査読

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa, and Jun-ichi Kushibiki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LC10-1 - 07LC10-5   2018年7月( ISSN：0021-4922 )

Acousto-optic Bragg diffraction using longitudinal leaky surface acoustic wave 査読

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LD01-1 - 07LD01-3   2018年7月( ISSN：0021-4922 )

Propagation characteristics of longitudinal-type leaky surface acoustic wave on layered structure consisting of Sc x Al1− x N film/LiNbO3 substrate 査読

Masashi Suzuki, Masashi Gomi, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LD06-1 - 07LD06-7   2018年7月( ISSN：0021-4922 )

Double-diffraction waveguide-type acousto-optic modulator with interchangeable input and output ports 査読

Yuya Hiramatsu, Masashi Suzuki and, Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LD16-1 - 07LD16-3   2018年7月( ISSN：0021-4922 )

High-coupling leaky surface acoustic waves on LiNbO3 or LiTaO3 thin plate bonded to high-velocity substrate 査読

Masashi Gomi, Takuya Kataoka, Junki Hayashi, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 7S1 )   07JD13-1 - 07JD13-7   2017年7月( ISSN：0021-4922 )

Design of surface acoustic wave filters for the multiplex transmission system of multilevel inverter circuits 査読

Keita Kubo, Nanae Kanai, Fumiya Kobayashi, Shigeyoshi Goka, Keiji Wada and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 7S1 )   07JD03-1 - 07JD03-4   2017年7月( ISSN：0021-4922 )

Evaluation of piezoelectric Ta2O5 thin films deposited on SrTiO3 substrates 査読

Yu Sugaya and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 7S1 )   07JD12-1 - 07JD12-5   2017年7月( ISSN：0021-4922 )

Multiplex transmission system for gate drive signals of inverter circuit using surface acoustic wave filters 査読

Akifumi Suzuki, Kensuke Ueda, Shigeyoshi Goka, Keiji Wada and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 7S )   07KD01-1 - 07KD05-5   2016年7月( ISSN：0021-4922 )

Loss reduction of leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film 査読

S. Kakio and K. Hosaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 7S )   07KD11-1 - 07KD11-6   2016年7月( ISSN：0021-4922 )

高音速薄膜装荷による縦型漏洩弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,松倉 史弥

超音波テクノ   2015年7月

Love-type surface acoustic wave on Y-X LiTaO3 with amorphous Ta2O5 thin film 査読 重要な業績

Shoji Kakio,Haruka Fukasawa,Keiko Hosaka

Jpn. J. Appl. Phys.   54 ( 7 )   1 - 4   2015年7月

Acousto-optic modulator driven by surface acoustic waves 査読 重要な業績

S. Kakio

ACTA PHYSICA POLONICA A   127 ( 1 )   15 - 19   2015年1月

Loss reduction of longitudinal-type leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film 査読 重要な業績

F. Matsukura,S. Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   53 ( 7 )   1 - 6   2014年7月

高音速な縦型漏洩弾性表面波の低損失化

垣尾 省司

超音波テクノ   2014年1月

Longitudinal-type leaky SAW on LiNbO3 with high-velocity thin film 査読

F. Matsukura,M. Uematsu,K. Hosaka,S. Kakio

Proceedings of 2013 Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium   1692 - 1695   2013年9月

Evaluation of piezoelectric Ta2O5 thin films deposited on sapphire substrates 査読

S. Iwamoto,R. Saigusa,S. Kakio

Proceedings of 2013 Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium   1688 - 1691   2013年9月

Evaluation of piezoelectric Ta2O5 thin films deposited on sapphire substrates 査読 重要な業績

S. Iwamoto,R. Saigusa,S. Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   52 ( 7 )   1 - 4   2013年7月

Longitudinal-type leaky surface acoustic wave on LiNbO3 with high-velocity thin film 査読 重要な業績

F. Matsukura,M. Uematsu,K. Hosaka,S. Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   52 ( 7 )   1 - 4   2013年7月

Loss reduction of longitudinal-type leaky SAW by reverse proton exchange 査読

S. Kakio,M. Abe

2012 IEEE International Ultrasonics Symposium   2012年10月

Electrooptic effect in reverse-proton-exchanged X-cut LiNbO3 waveguides 査読

Y. Sakai,S. Kakio

Technical Digest of OECC2012   641 - 642   2012年7月

Surface acoustic wave properties of amorphous Ta2O5 and Nb2O5 thin films prepared by radio frequency sputtering 査読 重要な業績

S. Kakio,K. Hosaka,M. Arakawa,Y. Ohashi,J. Kushibiki

Jpn. J. Appl. Phys.   51 ( 7 )   1 - 5   2012年7月

Resonance properties of surface acoustic wave resonators in supercritical CO2 査読 重要な業績

S. Kakio,K. Hayashi,E. Kondoh

Jpn. J. Appl. Phys.   51 ( 7 )   1 - 4   2012年7月

Polarization control by leaky surface acoustic wave in reverse-proton-exchanged LiNbO3 optical waveguide 査読 重要な業績

S. Kakio,S. Sato

Jpn. J. Appl. Phys   52 ( 7 )   1 - 5   2012年7月

Resonance properties of surface acoustic wave resonator in supercritical CO2 査読

S. Kakio, K. Hayashi, and E. Kondoh

Proceedings of 2011 IEEE International Ultrasonics Symposium   2011年10月

Acoustooptic Bragg diffraction using leaky surface acoustic wave in Ti-diffused rotated Y-cut LiNbO3 waveguide 査読

Y. Kobayashi,S. Kakio

Proceedings of OECC2011   2011年7月

Deposition of highly oriented Ta2O5 piezoelectric thin films on silicon for fabricating film bulk acoustic resonator structure by RF magnetron sputtering 査読 重要な業績

S. Kakio, A. Tsuchiya, and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   50 ( 7 )   HD081 - HD084   2011年7月

Behavior of surface acoustic wave resonators in supercritical CO2 査読 重要な業績

S. Kakio, K. Hayashi, E. Kondoh, and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   50 ( 7 )   HD091 - HD094   2011年7月

TE-TM mode converter with rapid response using photoelastic effect of surface acoustic wave 査読

S. Sato,S. Kakio

Proceedings of OECC2011   2011年7月

逆プロトン交換10° Y-X LiNbO3基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性 査読 重要な業績

垣尾 省司,清水 秀徳,中川 恭彦

電気学会論文誌「圧電材料・デバイス」特集号   131 ( 6 )   1131 - 1137   2011年6月

Deposition of highly oriented Ta2O5 piezoelectric thin films on silicon for fabricating film bulk acoustic resonator structure by RF magnetron sputtering 査読

S. Kakio,A. Tsuchiya,T. Mitsui,Y. Nakagawa

Proceedings of 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium   2010年10月

Beam-propagation analysis of switched directional couplers using reverse-proton-exchanged LiNbO3 waveguides 査読

S. Kakio,T. Sugisawa,Y. Nakagawa

Proceedings of The 9th International Conference on Optical Internet (COIN2010)   2010年7月

Simple simultaneous modulation for red, green and blue laser lights using surface-acoustic-wave-driven acoustooptic modulator 査読 重要な業績

S. Kakio,S. Shinkai,Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   49 ( 7 )   HD181 - HD185   2010年7月

Fabrication and evaluation of highly oriented Ta2O5 piezoelectric thin films prepared by radio frequency magnetron sputtering 査読 重要な業績

S. Kakio,T. Mitsui,A. Tsuchiya,Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   49 ( 7 )   HB061 - HB065   2010年7月

Optical Mode Converter Using Lamb Wave 査読

Koki Saito,Yasuhiko Nakagawa,Shoji Kakio

Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 7 )   HD171 - HD175   2010年7月

Highly oriented Ta2O5 piezoelectric thin films prepared by rf-magnetron sputtering 査読

S. Kakio,T. Mitsui,A. Tsuchiya,and Y. Nakagawa

Proceedings of 2009 IEEE International Ultrasonics Symposium   2009年10月

Simple simultaneous modulation for red, green and blue laser lights using surface-acoustic-wave-driven acoustooptic modulator 査読

S. Kakio,S. Shinkai,and Y. Nakagawa

Technical Digest OECC2009   2009年7月

Surface-acoustic-wave-driven acoustooptic modulator with wide wavelength range for visible laser light 査読 重要な業績

S. Kakio ,S. Shinkai ,H. Kawate ,and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   48 ( 7 )   GE021 - GE025   2009年7月

Modification of surface-acoustic-wave-driven tandem acoustooptic frequency shifter for improvement of diffraction properties 査読 重要な業績

S. Kakio ,S. Shinkai ,Y. Nakagawa ,T. Hara,and H. Ito

Jpn. J. Appl. Phys.   48 ( 7 )   GE071 - GE073   2009年7月

Leaky-surface-acoustic-wave properties on reverse-proton-exchanged LiNbO3 査読 重要な業績

S. Kakio ,H. Shimizu ,and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   48 ( 7 )   GG101 - GG105   2009年7月

Propagation Characteristics of Substrate for Lamb-Wave-Type Elastic Wave Devices 査読

Hitoshi Yoshida ,Yasuhiko Nakagawa ,and Shoji Kakio

Japanese Journal of Applied Physics   48 ( 7 )   GF021 - GF023   2009年7月

最近の光音響デバイス　―タンデム導波路型AOMと周波数シフト帰還型レーザーへの応用

垣尾省司

超音波テクノ   21 ( 1 )   42 - 46   2009年2月

Leaky-SAW properties on reverse-proton-exchanged LiNbO3 査読

S. Kakio,H. Shimizu, and Y. Nakagawa

Proceedinds of 2008 IEEE International Ultrasonics Symposium   2229 - 2232   2008年11月

Surface-acoustic-wave-driven acoustooptic modulator with wide wavelength range for visible laser light 査読

S. Kakio,S. Shinkai,H. Kawate,and Y. Nakagawa

Technical Digest of OECC/ACOFT 2008   2008年7月

Frequency-shifted feedback fiber laser oscillation with monolithically integrated tandem waveguide-type acoustooptic modulator driven by surface acoustic waves 査読 重要な業績

S. Kakio,M. Kitamura,Y. Nakagawa,T. Hara,and H. Ito

Jpn. J. Appl. Phys.   47 ( 5 )   3992 - 3993   2008年5月

Propagation and resonance properties of Love-type surface acoustic wave on Y-X LiTaO3 with TeO2 thin film 査読 重要な業績

S. Kakio,R. Haino,Y. Asano,and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   47 ( 5 )   4060 - 4064   2008年5月

Fabrication and evaluation of highly (110)-oriented potassium niobate thin films prepared by rf-magnetron sputtering 査読 重要な業績

S. Kakio,H. Kurosawa,T. Suzuki,and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   47 ( 5 )   3802 - 3806   2008年5月

Hydrogen gas sensor using good characteristics of Lamb wave 査読

N. Yamamoto,Y. Nakagawa,and S. Kakio

Jap. J. Appl. Phys.   47 ( 5 )   4024 - 4028   2008年5月

Highly (110)-oriented potassium niobate thin films prepared by RF-magnetron sputtering 査読

S. Kakio, T. Suzuki, H. Kurosawa, and Y. Nakagawa

Proceedings of 2007 IEEE International Ultrasonics Symposium   1405 - 1408   2007年11月

Resonators Using a Lamb Wave on AT-Cut Quartz 査読

Yasuhiko Nakagawa,Masayuki Momose,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B )   4665 - 4668   2007年7月

Reflection properties of shear-horizontal-type surface acoustic wave in periodic gold grating on langasite 査読 重要な業績

S. Kakio,S. Tanabe,Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B )   4764 - 4767   2007年7月

Monolithically integrated tandem waveguide-type acoustooptic modulator driven by surface acoustic waves 査読 重要な業績

S. Kakio,S. Uotani,M. Kitamura,Y. Nakagawa,T. Hara,H. Ito,T. Kobayashi,M. Watanabe

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B )   4608 - 4612   2007年7月

Optical Properties of a Piezoelectric Ta2O5 Single Crystal Film 査読

Yasuhiko Nakagawa,Isao Morita,Masashi Takahashi,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B )   4441 - 4445   2007年7月

Improvement of diffraction properties in waveguide-type acoustooptic modulator driven by surface acoustic 査読 重要な業績

S. Kakio,S. Uotani,Y. Nakagawa,T. Hara,H. Ito,その他２名

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 2 )   669 - 674   2007年2月

Reflection properties SH-Type SAW in periodic gold grating langasite 査読

Shoji Kakio ,Satoshi Tanabe,Yasuhiko Nakagawa

Proceedings of 2006 IEEE International Ultrasonics Symposium   240 - 243   2006年10月

Monolithically integrated tandem waveguide-type acoustooptic frequency shifter driven by surface acoustic waves 査読

Shoji Kakio,Shinji Uotani,Yasuhiko Nakagawa,Takefumi Hara,Hiromasa Ito,その他２名

Proceedings of 2006 IEEE International Ultrasonics Symposium   1509 - 1512   2006年10月

Temperature Characteristics of Substrates for Lamb-Wave-Type Acoustic Wave Devices 査読

Yasuhiko Nakagawa,Mitsuyoshi Shigeda,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   45 ( 5B )   4667 - 4670   2006年5月

Temperature characteristics of substrates for lamb-wave-type acoustic wave devices 査読

Yasuhiko Nakagawa,Mitsuyoshi Shigeda,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 5B )   4667 - 4670   2006年5月

ラム波型弾性波素子用基板の温度特性 査読

中川 恭彦,重田 光善,柴田 和匡,垣尾 省司

電子情報通信学会論文誌   J89-C ( 1 )   34 - 39   2006年1月

弾性表面波を用いた導波路型音響光学変調素子の光回折特性とBPM解析

垣尾省司

超音波テクノ   17 ( 6 )   49 - 53   2005年11月

Diffraction properties and beam-propagation analysis of waveguide-type acoustooptic modulator driven by surface acoustic wave 査読 重要な業績

Shoji Kakio,Shinji Uotani,Yasuhiko Nakagawa,Takefumi Hara,Hiromasa Ito,Takashi Iizuka,Tetsuya Kobayashi,Masayuki Watanabe

Jpn. J. Appl. Phys.   44 ( 6B )   4472 - 4476   2005年6月

Propagation characteristics of shear-horizontal-type surface acoustic wave on langasite with Au or Ta2O5 thin film 査読 重要な業績

Shoji Kakio,Masaya Nozawa,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   44 ( 6B )   4544 - 4547   2005年6月

Waveguide-type acoustooptic frequency shifter with high diffraction efficiency driven by surface acoustic wave 査読

Shoji Kakio,Shinji Uotani,Yasuhiko Nakagawa,Takefumi Hara,Hiromasa Ito,Takashi Iizuka,Tetsuya Kobayashi,Masayuki Watanabe

Proceeding of 2004 IEEE International Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 50th Anniversary Joint Conference   2004年8月

Propagation characteristics of shear-horizontal-type surface acoustic wave on langasite with Au or Ta2O5 thin film 査読

Shoji Kakio,Masaya Nozawa,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2004 IEEE International Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 50th Anniversary Joint Conference   2004年8月

Characteristics of Reflection of Resonators Using Lamb Wave on AT-Cut Quartz 査読

Yasuhiko Nakagawa,Masayuki Momose,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   43 ( 5B )   3020 - 3023   2004年5月

High coupling and highly stable shear-horizontal-type surface acoustic wave on langasite with Au or Ta2O5 thin film 査読 重要な業績

Shoji Kakio,Masaya Nozawa,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   43 ( 5B )   2992 - 2295   2004年5月

弾性表面波を用いた導波路型光周波数シフタと周波数シフト帰還型ファイバレーザーへの応用 査読 重要な業績

垣尾 省司,北村 通英,中川 恭彦,鄒 念育,原 武文,伊藤 弘昌,飯塚 孝,小林 哲也,渡辺 正行

電子情報通信学会論文誌   J86-C ( 12 )   1263 - 1271   2003年12月

Waveguide-type acoustooptic frequency shifter driven by surface acoustic wave and its application to frequency-shifted feedback fiber laser 査読

Shoji Kakio,Michihide Kitamura,Yasuhiko Nakagawa,Nianyu Zou,Takefumi Hara,Hiromasa Ito,Takashi Iizuka,Tetsuya Kobayashi,Masayuki Watanabe

Proceeding of 2003 IEEE International Ultrasonics Symposium   1808 - 1811   2003年9月

Shear-horizontal-type surface acoustic wave on langasite with Au or Ta2O5 thin film 査読

Shoji Kakio,Masaya Nozawa,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2003 IEEE International Ultrasonics Symposium   2122 - 2125   2003年9月

Lamb-Wave-Type High Frequency Resonator 査読

Yasuhiko Nakagawa,Satoru Tanaka,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   42 ( 5B )   3086 - 3090   2003年5月

An integrated acoustooptic frequency shifter driven by surface acoustic wave for 1.55 µm optical wavelength 査読 重要な業績

Shoji Kakio,Nianyu Zou,Michihide Kitamura,Hiromasa Ito,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   42 ( 5B )   3063 - 3066   2003年5月

Shear-horizontal-type surface acoustic waves on quartz with Ta2O5 thin film 査読 重要な業績

Shoji Kakio,Yuichiro Shimatai,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   42 ( 5B )   3161 - 3165   2003年5月

Shear-horizontal-type surface acoustic waves on quartz with Ta2O5 thin film 査読

Shoji Kakio,Yuichiro Shimatai,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2002 IEEE International Ultrasonics Symposium   423 - 426   2002年9月

Leaky surface acoustic waves on langasite with thin dielectric films 査読 重要な業績

Shoji Kakio,Tamie Yamaguchi,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   40 ( 5B )   3494 - 3497   2002年5月

Leaky surface acoustic waves on langasite with thin dielectric films 査読

Shoji Kakio,Tamie Yamaguchi,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2001 IEEE International Ultrasonics Symposium   165 - 168   2001年9月

Second leaky surface wave propagation on LiTaO3 with thin dielectric films 査読

Shoji Kakio,Takeshi Shimo,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2000 IEEE International Ultrasonics Symposium   2000年9月

Suppression of bulk wave radiation from leaky surface acoustic waves by loading with thin dielectric films 査読

Shoji Kakio,Kenji Hishinuma,Yasuhiko Nakagawa

J. Appl. Phys.   87 ( 3 )   1440 - 1446   2000年3月

弾性表面波による光弾性強調現象とその光変調素子への応用 査読

中川 恭彦,八幡 充洋,垣尾 省司

電子情報通信学会論文誌   J82-C1 ( 12 )   749 - 756   1999年12月

Reversal phenomenon in phase velocity of surface acoustic waves on free and metallized surfaces by proton-exchange 査読

Shoji Kakio,Hiroyuki Nakamura,Yasuo Kanamori,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   37 ( 5B )   3261 - 3264   1999年5月

Suppression of attenuation of leaky surface acoustic waves by loading dielectric thin-film 査読

Shoji Kakio,Kenji Hishinuma,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 1998 IEEE International Ultrasonics Symposium   1998年9月

プロトン交換による漏洩弾性表面波のバルク波放射の抑圧 査読

垣尾 省司,青山 和史,中川 恭彦

電子情報通信学会論文誌   80 ( 11 )   1830 - 1837   1997年11月

弾性表面波アシストによる薄膜位相格子の作成 査読

中川 恭彦,渡辺 昌彦,八幡 充洋,垣尾 省司

電子情報通信学会論文誌   J80-A ( 10 )   1782 - 1787   1997年10月

Fabrication of Thin-Film Phase Grating Using Surface Acoustic Waves 査読

Masahiko Watanabe,Mitsuhiro Yawata,Shoji Kakio,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   36 ( 5B )   3119 - 3120   1997年5月

Propagation characteristics of leaky surface acoustic wave on proton-exchanged 36°Y-X LiTaO3 査読

Shoji Kakio,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   36 ( 5B )   3064 - 3067   1997年5月

Fabrication of Diffraction Grating Assisted by Surface Acoustic Wave 査読

Yasuhiko Nakagawa,Mitsuhiro Gunzi,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   34 ( 5B )   2650 - 2652   1995年5月

Photo-elastic constants of proton-exchanged LiNbO3 査読

Shoji Kakio and Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   34 ( 5B )   2917 - 2919   1995年5月

プロトン交換LiTaO3光導波路の電気光学定数の測定 査読

垣尾 省司,皆方 誠

電子情報通信学会論文誌   J76-C1 ( 11 )   514 - 522   1993年11月

Surface acoustic wave properties on proton-exchanged 128°-rotated Y-cut LiNbO3 査読

Shoji Kakio,Junji Matsuoka,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   32 ( 5B )   2359 - 2361   1993年5月

薄板LiNbO3/SiC構造における板波共振特性と温度特性

渡邉 紀之、垣尾 省司

第71回応用物理学会春季学術講演会  2024年3月  応用物理学会

RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜の BAW 伝搬特性の基 板温度依存性

中山 雄太，鈴木 雅視、垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

LiNbO3/SiC構造上の縦型漏洩弾性表面波特性の解析

武居 諒、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

LiNbO3/水晶接合構造の縦型リーキーSAW高次高調波の共振解析

森田 響生、鈴木 雅視、垣尾 省司、水野 潤

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

成膜条件によるSiAlN膜の極性制御と2層分極反転SiAlN膜HBARの形成・ 評価

福永 慶，鈴木 雅視，垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波伝搬特性の解析

鈴木 渉志,　鈴木 雅視,　垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

板波・弾性表面波における圧電薄板分割による不要伝搬モードの抑圧

原 尚斗，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

Analysis of SAW propagation properties on piezoelectric substrates with periodic voids 国際会議

Takashi Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023年11月 

Analysis of Sezawa mode RSAWs on ScAlN or YbAlN films/high velocity substrates with floated intermediate electrode layers 国際会議

Kei Hukunaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023年11月 

Substrate temperature dependence of BAW propagation properties on (K,Na)NbO3 films deposited by RF sputtering 国際会議

Yuta Nakayama, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023年11月 

Suppression of spurious propagation modes on Love wave-type SAWs by divided piezoelectric substrates 国際会議

Naoto Hara, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yasushi Yamamoto

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023年11月 

Resonance analysis of longitudinal leaky SAW third harmonic on bonded LiNbO3/quartz structure 国際会議

Hibiki Morita, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Jun Mizuno

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023年11月 

A study of resonance properties on leaky SAWs using LiTaO3/SiC/Si structure 国際会議

Noriyuki Watanabe, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023年11月 

Analysis of propagation and resonance properties of longitudinal leaky SAW on LiNbO3/SiC structure 国際会議

Ryo Takei, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yasushi Yamamoto

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023年11月 

Polarity inverted SiAlN/AlN film solid mounted resonators operating in high-overtone mode resonance 国際会議

Masashi Suzuki, Jun Sekimoto, Kei Fukunaga, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023年11月 

Design of Transversal Piezoelectric Boundary Acoustic Wave Filter for Inverter Drive Circuit 国際会議

Yutaka Mitsui , Shigeyoshi Goka, Kazuya Murakami, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023年11月 

High-performance SAW Devices Using Bonded Dissimilar-material Structures 招待 国際会議 重要な業績

Shoji Kakio

International Electrotechnical Commission Technical Committee 49  2023年11月  International Electrotechnical Commission Technical Committee 49

工学教育賞受賞講演　自発リーダー「学大将」が育つマイハウス教育 招待 重要な業績

垣尾 省司

第71回年次大会・工学教育研究講演会  2023年9月  日本工学教育協会

High Overtone Mode Solid Mounted Resonators with Polarity Inverted Multilayered SiAlN/AlN Films 国際会議

Masashi Suzuki, Jun Sekimoto, Shoji Kakio

2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2023年9月  IEEE

Resonance Properties of Leaky SAW Higher Harmonics on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate 国際会議

Hibiki Morita, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Jun Mizuno

2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2023年9月  IEEE

Analysis of SAW Propagation Properties on Piezoelectric Substrate with Periodic Voids 国際会議

Takashi Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2023年9月  IEEE

Suppression of Spurious Propagation Modes on Plate Waves and Saws Using Divided Piezoelectric Thin Plates 国際会議

Naoto Hara, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yasushi Yamamoto

2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2023年9月  IEEE

異種材料接合構造上のリーキー系 SAW 高次高調波の共振特性

森田 響生，鈴木 雅視，垣尾 省司，水野 潤

第52回EMシンポジウム  2023年7月  電気学会EM委員会

LiNbO3/SiC 構造上の縦型漏洩弾性表面波の解析

武居 諒，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

第52回EMシンポジウム  2023年7月  電気学会EM委員会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波伝搬特性の解析

鈴木 渉志，鈴木 雅視，垣尾 省司

第52回EMシンポジウム  2023年7月  電気学会EM委員会

ラブ波型弾性表面波における圧電基板分割による不要伝搬モードの抑圧

原 尚斗，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

第52回EMシンポジウム  2023年7月  電気学会EM委員会

Analysis of Leaky Surface Acoustic Waves and Thermal Conduction on LiTaO3/SiC/Si Structure 国際会議

Noriyuki Watanabe, Shoji Kakio

The 2023 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & European Frequency and Time Forum  2023年5月  IEEE

Analysis of Leaky Surface Acoustic Waves and Thermal Conduction on LiTaO3/SiC/Si Structure 国際会議

Noriyuki Watanabe, Shoji Kakio

Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium and the European Frequency and Time Forum  2023年5月 

LiNbO3/SiC 構造上の縦型漏洩弾性表面波共振特性の解析

武居諒，鈴木雅視，垣尾省司，山本泰司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023年3月  応用物理学会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波伝搬特性の解析

鈴木 渉志、鈴木 雅視、垣尾 省司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023年3月  応用物理学会

分極反転構造および中間電極挿入構造ScAlN薄膜/高音速基板上を伝搬する1次モードRSAW特性解析

福永 慶、鈴木 雅視、垣尾 省司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023年3月  応用物理学会

板波における圧電薄板分割によるスプリアス応答の抑圧

原 尚斗、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023年3月  応用物理学会

LiTaO3/水晶接合構造上のリーキーSAW三次高調波の共振特性－ 1GHz帯における評価 －

森田 響生、鈴木 雅視、垣尾 省司、水野 潤

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023年3月  応用物理学会

[第53回講演奨励賞受賞記念講演] Ca3TaGa3Si2O14ラブ波型SH波の高温下における共振特性 招待

鈴木 涼人、鈴木 雅視、垣尾 省司、木村 悟利

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023年3月  応用物理学会

LiTaO3/SiC/Si 構造上のリーキーSAW の温度特性と熱伝導過渡特性の解析

渡邉 紀之、垣尾 省司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023年3月  応用物理学会

異種材料接合構造上のリーキーSAW高次高調波の共振特性

森田 響生，鈴木 雅視，垣尾 省司，水野 潤

弾性波素子技術コンソーシアム第10回研究会  2023年3月  弾性波素子技術コンソーシアム

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波共振・伝搬特性の解析

鈴木 渉志，鈴木 雅視，垣尾 省司

弾性波素子技術コンソーシアム第10回研究会  2023年3月  弾性波素子技術コンソーシアム

板波・弾性表面波における圧電薄板分割による不要伝搬モードの抑圧

原 尚斗，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

弾性波素子技術コンソーシアム第10回研究会  2023年3月  弾性波素子技術コンソーシアム

圧電薄板/ダイヤモンド基板構造上の縦型漏洩弾性表面波共振特性の解析

原 尚斗，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

第51回EMシンポジウム  2022年12月  電気学会EM委員会

LiNbO3/水晶接合構造のリーキーSAW 高調波の共振特性

森田 響生，鈴木 雅視，垣尾 省司 ，水野 潤

第51回EMシンポジウム  2022年12月  電気学会EM委員会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波共振特性の解析

鈴木 渉志，鈴木 雅視，垣尾 省司

第51回EMシンポジウム  2022年12月  電気学会EM委員会

Evaluation of Ta2O5 Piezoelectric Thin Film Prepared on Pt/Si Substrate at Low Deposition Rate 国際会議

Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera, Hiroshi Funakubo

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022年11月 

Fabrication and evaluation of high-order mode solid mounted resonators with polarity inverted GeAlN/AlN multilayered films 国際会議

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022年11月 

Piezoelectric characteristics of c-axis oriented GeAlN films and applications to polarity inverted film HBARs 国際会議

Masashi Suzuki, Jun Sekimoto, Shoji Kakio

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022年11月 

Analysis of Longitudinal Leaky SAWs on Bonded Structures Consisting of Similar and Dissimilar Materials 国際会議

Yudai Fujii, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022年11月 

Analysis of SAW Resonance Properties on Piezoelectric Substrates with Periodic Voids 国際会議

Takashi Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022年11月 

Analysis of Longitudinal Leaky Surface Acoustic Waves on Piezoelectric Thin Plates Bonded to Diamond Substrate 国際会議

Naoto Hara, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yasushi Yamamoto

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022年11月 

Resonance Properties of Leaky SAW Harmonics on LiNbO3/Quartz Bonded Structures 国際会議

Hibiki Morita, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Jun Mizuno

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022年11月 

Resonance Properties of Shear-Horizontal Surface Acoustic Wave on Ca3TaGa3Si2O14 at High Temperature 国際会議

Ryoto Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Noritoshi Kimura

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022年11月 

Deposition and Evaluation of Highly Crystallized Ta2O5 Piezoelectric Thin Film on Pt Crystal Film 国際会議

Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera, Hiroshi Funakubo

2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2022年10月 

High-Order Mode Film Bulk Acoustic Wave Resonators Consisting of Polarity Inverted Multilayered GeAlN/AlN Films 国際会議

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2022年10月 

Analysis of Longitudinal Leaky SAWs on Bonded Structures Consisting of Similar and Dissimilar Materials 国際会議

Yudai Fujii, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2022年10月 

Ca3TaGa3Si2O14ラブ波型SH波の高温下における共振特性

鈴木 涼人、鈴木 雅視、垣尾 省司、木村 悟利

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

[第52回講演奨励賞受賞記念講演] GeドープによるAlN膜の極性制御と高次モード薄膜共振子への応用 [第52回講演奨励賞受賞記念講演] 高周波フィルタ応用に向けた高次モード極性反転Ge(Si)AlN/AlN多層膜共振子 招待

関本 淳、鈴木 雅視1、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

SRO/Pt/Si基板上のTa2O5圧電薄膜の低レートにおける成膜と評価

松浦 佳祐、鈴木 雅視、垣尾 省司、小寺 正徳、舟窪 浩

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

ScAlN圧電薄膜を装荷した水晶同種材料接合構造における縦型リーキーSAWの伝搬・共振特性

藤井 雄大、鈴木 雅視、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

圧電薄板/ダイヤモンド基板構造上の縦型漏洩弾性表面波共振特性の解析

原 尚斗、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

LiTaO3 薄板と SiC-on-Si 基板の接合構造における漏洩弾性表面波の解析

渡邉 紀之、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波共振特性の解析

鈴木 渉志、鈴木 雅視、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

LiNbO3/水晶接合構造のリーキーSAW五次高調波の共振特性

森田 響生、鈴木 雅視、垣尾 省司、水野 潤

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

分極反転SiAlN/AlN多層膜を用いた5GHz動作高次モードSMR型共振子

鈴木 雅視、関本 淳、福永 慶、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

ラブ波型弾性表面波における圧電基板分割による不要伝搬モードの抑圧

原 尚斗、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

周期的空隙を用いた弾性表面波伝搬特性の制御

鈴木 渉志、鈴木 雅視、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

中間電極挿入構造YbAlN薄膜/高音速基板上を伝搬するセザワモードRSAW特性解析

福永 慶、鈴木 雅視、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

LiNbO3/水晶接合構造上の縦型リーキーSAW三次高調波の共振解析

森田 響生、鈴木 雅視、垣尾 省司、水野 潤

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

LiNbO3/SiC構造上の縦型漏洩弾性表面波伝搬特性の解析

武居 諒、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜のBAW伝搬特性の 基板温度依存性

中山 雄太、鈴木 雅視、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

薄板LiNbO3/SiC構造における板波共振特性の解析

渡邉 紀之、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月  応用物理学会

Shear-Horizontal Surface Acoustic Wave on Ca3TaGa3Si2O14 Piezoelectric Single Crystal 国際会議

R. Suzuki, M. Suzuki, S. Kakio, and N. Kimura

2022 IEEE International Frequency Control Symposium  2022年4月 

GeドープによるAlN膜の極性制御と高次モード薄膜共振子への応用

関本 淳、鈴木 雅視、垣尾 省司

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

Ca3TaGa3Si2O14圧電単結晶上の高安定ラブ波型SH波

鈴木 涼人、鈴木 雅視、垣尾 省司、木村 悟利

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

SRO/Pt/Si基板上のTa2O5圧電薄膜の成膜と評価

松浦 佳祐、鈴木 雅視、垣尾 省司、小寺 正徳、舟窪 浩

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

LiNbO3/水晶接合構造のリーキーSAW三次高調波の共振特性

森田 響生，鈴木 雅視，垣尾 省司，水野 潤

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

同種・異種材料接合構造における縦型リーキーSAWの伝搬・共振特性

藤井 雄大，鈴木 雅視，垣尾 省司

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

SrRuO3/Pt/Si基板上のTa2O5圧電薄膜の成膜と評価

松浦 佳祐，鈴木 雅視，垣尾 省司，小寺 正徳，舟窪 浩

弾性波素子技術コンソーシアム第6回研究会  2022年3月  弾性波素子技術コンソーシアム

Pt 結晶膜上への Ta2O5 圧電薄膜の成膜と評価

松浦佳祐, 鈴木雅視, 垣尾省司, 小寺正徳,舟窪浩

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

Sc,Yb ドープ AlN 分極反転薄膜/高音速基板上の高次モードRSAW における結合係数増幅

高野佑成, 鈴木雅視, 垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

Ca3TaGa3Si2O14 圧電単結晶上のラブ波型 SH 波

鈴木涼人, 鈴木雅視, 垣尾省司, 木村悟利

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

水晶同種材料接合構造における縦型漏洩弾性表面波の伝搬・共振特性の解析

藤井雄大, 藤巻貴海, 鈴木雅視, 垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

極性反転 SiAlN/AlN 多層膜 HBAR の形成、評価と極性反転AlNFBAR の共振特性解析

関本淳, 鈴木雅視, 垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

水熱合成または高周波スパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3 膜の BAW・SAW 伝搬特性

吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, 伊東良晴,舘山明紀, 白石貴久, 舟窪浩, 若林剛, 柴田憲治

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

新規ランガサイト型圧電単結晶上のラブ波型SH波

鈴木涼人，鈴木雅視，垣尾省司，木村悟利

弾性波素子技術コンソーシアム第5回研究会  2021年11月  弾性波素子技術コンソーシアム

Growth of polarity inverted SiAlN/AlN multilayered films and applications to high-order mode BAW resonators 国際会議

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021年10月 

Deposition and Evaluation of Ta2O5 Piezoelectric Thin Film on Pt Crystal Film 国際会議

Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera, Hiroshi Funakubo

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021年10月 

Analysis of longitudinal leaky SAW on quartz thin plate bonded to similar-material substrate 国際会議

Y. Fujii, T. Fujimaki, M. Suzuki, and S. Kakio

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021年10月 

Theoretical analysis of Rayleigh SAW propagation characteristics on YbAlN films/ high velocity substrates 国際会議

Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021年10月 

Enhancement of coupling factor K2 in higher-mode RSAW on polarity inverted ScAlN films/high velocity AlN or BN substrates 国際会議

Yusei Takano, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021年10月 

Resonance Property of Shear-horizontal Surface Acoustic Wave on New Langasite-type Piezoelectric Single Crystal 国際会議

Ryoto Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Noritoshi Kimura

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021年10月 

SAW Propagation Properties of (K,Na)NbO3 Films Deposited by Hydrothermal Synthesis or RF Sputtering 国際会議

Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi, Kenji Shibata

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021年10月 

Pt 結晶膜上の Ta2O5圧電薄膜の成膜と評価

松浦 佳祐，鈴木 雅視，垣尾 省司，小寺 正徳，舟窪 浩

第50回EMシンポジウム  2021年9月  電気学会EM委員会

新規ランガサイト型圧電単結晶上のラブ波型 SH 波

鈴木 涼人，鈴木 雅視，垣尾 省司，木村 悟利

第50回EMシンポジウム  2021年9月  電気学会EM委員会

水晶同種材料接合構造上の縦型漏洩弾性表面波の解析

藤井 雄大，藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第50回EMシンポジウム  2021年9月  電気学会EM委員会

Polarity Control of (0001) Oriented AlN Films by Si Doping and Applications to Polarity Inverted SiAlN/AlN Film Bulk Acoustic Wave Resonators 国際会議

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2021年9月 

Analysis of Higher-Order Mode Saw Propagation Characteristics on Polarity Inverted ScAlN Films / High Velocity III-V Nitride Substrate 国際会議

Yusei Takano, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2021年9月 

Evaluation of BAW and SAW Properties of (K,Na)NbO3 Thin Films Deposited by RF Sputtering 国際会議

Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi, Kenji Shibata

2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2021年9月 

水晶同種接合構造上の縦型漏洩弾性表面波の解析

藤井 雄大，藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月  応用物理学会

極性反転SiAlN/AlN多層膜の形成と高次モード薄膜音響共振子への応用

関本 淳、鈴木 雅視、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月  応用物理学会

極性反転ScAlN薄膜/高音速窒化物基板上の2次モードRSAW伝搬特性

高野 佑成、鈴木 雅視、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月  応用物理学会

水熱合成(K,Na)NbO3膜のSAW伝搬特性の評価

吉澤 宗眞、鈴木 雅視、垣尾 省司、伊東 良晴、舘山 明紀、舟窪 浩、若林 剛

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月  応用物理学会

Pt結晶膜上のTa2O5圧電薄膜の成膜とSAW伝搬特性の解析

松浦 佳祐、鈴木 雅視、垣尾 省司、小寺 正徳、舟窪 浩

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月  応用物理学会

新規ランガサイト型圧電単結晶上のラブ波型SH波の共振特性

鈴木 涼人、鈴木 雅視、垣尾 省司、木村 悟利

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月  応用物理学会

水晶同種材料接合構造上の縦型漏洩弾性表面波の解析

藤井 雄大，藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

弾性波素子技術コンソーシアム第4回研究会  2021年9月  弾性波素子技術コンソーシアム

RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜のBAW・SAW特性

吉澤 宗眞、鈴木 雅視、垣尾 省司、伊東 良晴、舘山 明紀、舟窪 浩、若林 剛、柴田 憲治

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月 

Si添加による極性制御を用いた2層極性反転SiAlN/AlN膜音響共振子

関本 淳、鈴木 雅視、垣尾 省司

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月 

Pt結晶膜上へのTa2O5圧電薄膜の成膜と評価

松浦 佳祐、鈴木 雅視、垣尾 省司、小寺 正徳、舟窪 浩

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月 

LiNbO3や水晶を用いた同種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2021  2021年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

LiTaO3/水晶接合構造におけるリーキーSAW高調波の共振特性

浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，水野 潤

圧電材料・デバイスシンポジウム2021  2021年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

水熱合成 (K ,Na)NbO3膜の電気機械結合係数評価

吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, 伊東良晴, 伊東良晴, 舘山明紀, 舟窪浩, 若林剛

圧電材料・デバイスシンポジウム2021  2021年1月  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

Evaluation of Electromechanical Coupling Coefficients of Hydrothermally Synthesized (K,Na)NbO3 Films 国際会議

Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020年11月 

Enhancement of leaky SAW harmonics excitation using bonded dissimilar material structures 国際会議

S. Asakawa, M. Suzuki，S. Kakio，A. Tezuka，and J. Mizuno

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020年11月 

Shear-horizontal Surface Acoustic Wave on New Langasite-type Piezoelectric Single Crystal 国際会議

Shoji Kakio, Yusuke Takiguchi, Takuto Nakayama, Masashi Suzuki, Noritoshi Kimura

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020年11月 

【Plenary Talk】High-performance surface acoustic wave devices using composite substrate structures 招待 国際会議 重要な業績

Shoji Kakio

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020年11月 

Analysis of leaky surface acoustic waves on quartz thin plates bonded to similar-material substrate 国際会議

T. Fujimaki, M. Suzuki, and S. Kakio

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020年11月 

Enhancement of leaky SAW harmonics excitation using bonded dissimilar material structures 国際会議

S. Asakawa, M. Suzuki，S. Kakio，A. Tezuka，and J. Mizuno

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020年11月 

Increase of electromechanical coupling coefficient in c-axis oriented AlN films by chromium doping at low concentrations 国際会議

Yusei Takano, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020年11月 

同種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

弾性波素子技術コンソーシアム第1回研究会  2020年11月  弾性波素子技術コンソーシアム

異種材料接合構造を用いたリーキーSAW高調波の強勢励振

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

弾性波素子技術コンソーシアム第1回研究会  2020年11月  弾性波素子技術コンソーシアム

次世代インバータシステム用一方向性SAW フィルタの電気的特性

五箇繁善，綿田堅，今村圭吾，垣尾省司，和田圭二

第49回EMシンポジウム  2020年10月  電気学会EM委員会

異種材料接合構造を用いたリーキーSAW高調波の強勢励振

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

第49回EMシンポジウム  2020年10月  電気学会EM委員会

同種・異種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

第49回EMシンポジウム  2020年10月  電気学会EM委員会

Cr ドープc 軸配向AlN 薄膜の圧電特性

髙野佑成，早川竜盛，鈴木雅視，垣尾省司

第49回EMシンポジウム  2020年10月  電気学会EM委員会

水熱合成(K, Na)NbO3 膜のBAW・SAW 特性

吉澤宗眞，鈴木雅視，垣尾省司，伊東良晴，舘山明紀，舟窪浩，若林剛

第49回EMシンポジウム  2020年10月  電気学会EM委員会

同種・異種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

電子情報通信学会・日本音響学会2020年度超音波研究会(US)  2020年9月  電子情報通信学会・日本音響学会 超音波研究会(US)

LiTaO3/水晶接合構造上のリーキーSAW共振特性の周波数依存性

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

電子情報通信学会・日本音響学会2020年度超音波研究会(US)  2020年9月  電子情報通信学会・日本音響学会 超音波研究会(US)

モード結合理論と等価回路解析法によるSAW共振子の解析

垣尾 省司

弾性波素子技術研究コンソーシアム 新学校シリーズ　弾性波素子技術　夏の学校  2020年9月  弾性波素子技術コンソーシアム

LiTaO3と水晶の接合構造を用いたリーキーSAW共振子の高周波特性

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

2020年電子情報通信学会ソサイエティ大会  2020年9月  電子情報通信学会

水晶を用いた同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

2020年電子情報通信学会ソサイエティ大会  2020年9月  電子情報通信学会

Leaky SAW propagation properties on LiNbO3 thin plate bonded to similar-material substrate 国際会議

T. Fujimaki, M. Suzuki, and S. Kakio

2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2020年9月 

水熱合成(K,Na)NbO3膜の電気機械結合係数の評価

吉澤 宗眞、鈴木 雅視、垣尾 省司、伊東 良晴、舘山 明紀、舟窪 浩、若林 剛

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月  応用物理学会

Resonance properties of leaky SAW harmonics on bonded dissimilar-material structures 国際会議

S. Asakawa, M. Suzuki, S. Kakio, A. Tezuka, and J. Mizuno

2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2020年9月 

LiTaO3/水晶接合構造を用いたリーキーSAW高調波の強勢励振

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月  応用物理学会

LiNbO3同種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月  応用物理学会

ScAlN圧電層/LiNbO3圧電基板での縦型リーキーSAW伝搬におけるオイラー角の検討

高野 佑成、鈴木 雅視、垣尾 省司

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月  応用物理学会

[講演奨励賞受賞記念講演] LiNbO3/SiO2/水晶構造におけるリーキーSAWの解析

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，水野 潤

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020年3月 

異種材料接合構造上のリーキーSAW高調波の共振特性

浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，水野 潤

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020年3月 

LiTaO3・LiNbO3薄板を用いた同種材料接合構造における縦型リーキーSAWの解析

藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020年3月 

Crドープがｃ軸配向AlN薄膜の結晶配向性と電気機械結合係数に及ぼす影響

高野 佑成，早川 竜盛，鈴木 雅視，垣尾 省司

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020年3月 

新規ランガサイト型圧電単結晶におけるラブ波型SH波の解析

垣尾 省司，滝口 侑介，鈴木 雅視，木村 悟利

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020年3月 

RFマグネトロンスパッタ法により形成したc軸配向CrAlN 膜の電気機械結合係数評価

高野 佑成，早川 竜盛，鈴木 雅視，垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2020  2020年1月 

同種材料接合構造におけるリーキーSAW の解析

藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2020  2020年1月 

異種材料接合構造における SAW 高調波の振る舞い

浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，水野 潤

圧電材料・デバイスシンポジウム2020  2020年1月 

ランガサイト型圧電単結晶上のラブ波型SH波の伝搬特性解析

垣尾 省司，滝口 侑介，鈴木 雅視，木村 悟利

EMデバイス・システムの先端技術ならびに応用技術調査専門委員会技術報告会  2019年12月 

Power transmission characteristics of EWC-SPUDT SAW filter for inverter gate drive circuit 国際会議

Ken Watada, Fumiya Kobayashi, Ryo Nonaka, Shigeyoshi Goka, Shoji Kakio, Keiji Wada

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019年11月 

Analysis of longitudinal leaky SAW on LiNbO3/amorphous layer/quartz structure 国際会議

Shiori Asakawa, Junki Hayashi, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019年11月 

Piezoelectric characteristics of c-axis oriented CrAlN films grown by RF magnetron sputtering 国際会議

Yusei Takano, Ryusei Hayakawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019年11月 

Theoretical analysis of leaky SAW propagation characteristics on ScAlN film/quartz 国際会議

Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019年11月 

Analysis of leaky surface acoustic waves on similar-material bonded structure 国際会議

Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019年11月 

Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded LiTaO3/quartz bonded structure 国際会議

Shoji Kakio, Yoshiki Kato, Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, Jun Mizuno

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019年11月 

Electromechanical coupling coefficient Kt2 of Cr doped AlN films grown by sputtering deposition 国際会議

Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2019年10月 

Analysis of longitudinal leaky SAW on LiNbO3/amorphous layer/quartz structure 国際会議

Shiori Asakawa, Junki Hayashi, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2019年10月 

LiNbO3/SiO2/水晶構造におけるリーキーSAWの解析

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，水野 潤

第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019年9月  応用物理学会

LiNbO3同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析

藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019年9月  応用物理学会

ScAlN薄膜/回転Yカット水晶基板上LSAWにおける最適構造探索

鈴木 雅視，垣尾 省司

第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019年9月  応用物理学会

リーキー系SAW伝搬解析と高性能異種材料接合基板構造への適用

垣尾 省司

日本学術振興会　弾性波素子技術第150委員会 新学校シリーズ　弾性波素子技術　夏の学校  2019年9月  独立行政法人日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会

水負荷 LiTaO3/水晶接合構造上の漏洩弾性表面波の伝搬特性

垣尾 省司，加藤 良基，末永 凌大，鈴木 雅視，手塚 彩水，桑江 博之，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤， “

第48回EMシンポジウム  2019年6月 

ScAlN 圧電層/水晶基板上を伝搬する SAW 特性理論解析

鈴木 雅視，垣尾 省司

第48回EMシンポジウム  2019年6月 

LiNbO3/アモルファス層/水晶構造における縦型リーキーSAW の解析

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第48回EMシンポジウム  2019年6月 

同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析

藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第48回EMシンポジウム  2019年6月 

LiTaO3 薄板と水晶基板の接合によるリーキー系弾性表面波の高結合・高安定化

垣尾 省司，林 純貴，浅川 詩織，鈴木 雅視，手塚 彩水，桑江 博之，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第156回研究会  2019年4月  日本学術振興会

リーキー系SAW伝搬解析と高性能異種材料接合基板構造への適用

垣尾 省司

日本学術振興会　弾性波素子技術第150委員会 新学校シリーズ　弾性波素子技術　春の学校  2019年3月  独立行政法人日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会

同種材料接合を用いたLiNbO3光導波路の作製

垣尾 省司，望月 翔太，波切 堅太郎，藤巻 貴海，鈴木 雅視，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月 

ScAlN薄膜/水晶基板上縦型リーキーSAWの伝搬減衰に速い横波，遅い横波成分が及ぼす影響の理論的検討

鈴木 雅視，垣尾 省司

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月 

LiTaO3/アモルファス層/水晶構造における縦型リーキーSAWの解析

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月 

[講演奨励賞受賞記念講演] 縦型リーキーSAWを用いたチャネル光導波路型音響光学変調素子

波切 堅太郎，鈴木 雅視，垣尾 省司

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月 

水負荷LiTaO3/水晶接合構造上の漏洩弾性表面波の伝搬特性

垣尾 省司，加藤 良基，末永 凌大，鈴木 雅視，手塚 彩水，桑江 博之，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月 

異種材料接合による弾性表面波素子の高性能化

垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2019  2019年1月 

LiNbO3薄板接合構造上の縦型リーキー弾性表面波を用いた音響光学変調素子

波切堅太郎,鈴木雅視,垣尾省司

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018年12月 

LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW特性の解析－支持基板の物理定数依存性－

林 純貴，浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018年12月 

LiTaO3/水晶構造における縦型リーキーSAW共振特性

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018年12月 

RFマグネトロンスパッタ法で形成したCr添加AlN膜の圧電特性

鈴木 雅視，早川 竜盛，垣尾 省司

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018年12月 

圧電基板上に装荷したSiO2薄膜の直線集束ビーム超音波材料解析システムによる評価

末永凌大,鈴木雅視,垣尾省司,大橋雄二,荒川元孝,櫛引淳一

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018年12月 

SAWフィルタを用いたインバータ用ゲート駆動システムにおける電力伝送方式の検証

野中　凌,五箇繁善,垣尾省司,和田圭二

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018年12月 

Theoretical analysis of longitudinal wave leaky SAW propagation characteristics on ScAlN film/Quartz or Sapphire substrate 国際会議

Masashi Suzuki, Naoya Sawada, and Shoji Kakio

The 39th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2018年10月 

Evaluation of SiO2 Thin Film on Piezoelectric Substrate by the Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System 国際会議

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa, and Jun-ichi Kushibiki

The 39th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2018年10月 

Acousto-Optic Modulators Driven by Longitudinal Leaky Surface Acoustic Waves on LiNbO3 Thin-Plate Bonded Structures 国際会議

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

The 39th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2018年10月 

Longitudinal Leaky SAW with Low Attenuation on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate 国際会議

J. Hayashi, K. Yamaya, S. Asakawa, M. Suzuki, S. Kakio, A. Tezuka, H. Kuwae, T. Yonai, K. Kishida, and J. Mizuno

The 39th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2018年10月 

Evaluation of Piezoelectric Ta2O5 Thin Films Using Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System 国際会議

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa, and Jun-ichi Kushibiki

2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2018年10月 

Theoretical analysis and design of longitudinal leaky SAW device consisting of ScAlN film / piezoelectric single crystal substrate 国際会議

Masashi Suzuki and Shoji Kakio

2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2018年10月 

Acousto-Optic Modulator Driven by Longitudinal Leaky Surface Acoustic Waves on Bonded Structures 国際会議

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2018年10月 

Longitudinal Leaky Surface Acoustic Wave with Low Attenuation on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate 国際会議

J. Hayashi, K. Yamaya, S. Asakawa, M. Suzuki, S. Kakio, H. Kuwae, T. Yonai, K. Kishida, and J. Mizuno

2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2018年10月 

導波路型音響光学変調器を用いた光子アハラノフ・ボーム効果の観測

平松 裕也，鈴木 雅視，垣尾 省司

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

SiO2被膜によるトランスバーサル型SAWフィルタの絶縁性能向上

市川 佑樹，五箇 繁善，垣尾 省司，綿田 堅，野中 凌，和田 圭二

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW特性の解析－支持基板の物理定数依存性－

林 純貴，浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

LiTaO3/水晶構造における縦型リーキーSAW共振特性の解析　―スプリアス応答の電極膜厚依存性―

浅川 詩織，林 純貴，山谷 浩介，鈴木 雅視，垣尾 省司，須崎 遥，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

ScAlN薄膜/水晶基板上を伝搬する縦型リーキーSAWに水晶カット角とSAW伝搬方向が及ぼす影響

鈴木 雅視，澤田 直弥，垣尾 省司

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

スパッタ成膜法によるc軸配向CrAlN薄膜の形成と電気機械結合係数kt2評価

鈴木 雅視，早川 竜盛，垣尾 省司

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

LN/水晶接合構造上の縦型リーキーSAWを用いた音響光学変調素子

波切 堅太郎，鈴木 雅視，垣尾 省司

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

直線集束ビーム超音波材料解析システムによるSiO2薄膜装荷36°YカットLiTaO3の評価

末永 凌大，鈴木 雅視，垣尾 省司，大橋 雄二，荒川 元孝，櫛引 淳一

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

縦型リーキー弾性表面波を用いた音響光学変調素子

波切 堅太郎，鈴木 雅視，垣尾 省司

第47回EMシンポジウム  2018年6月 

LiNbO3・LiTaO3 薄板と水晶基板の接合による縦型リーキー弾性表面波の低損失化

林 純貴，山谷 浩介，浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第47回EMシンポジウム  2018年6月 

直線集束ビーム超音波材料解析システムによる圧電性 Ta2O5薄膜の評価

末永 凌大，鈴木 雅視，垣尾 省司，大橋 雄二，荒川 元孝，櫛引 淳一

第47回EMシンポジウム  2018年6月 

LiTaO3 薄板と水晶基板の接合によるリーキー系弾性表面波の高結合・高安定化

林 純貴，山谷 浩介，鈴木 雅視，垣尾 省司，須崎 遥，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第152回研究会  2018年5月  日本学術振興会

High coupling and highly stable leaky SAWs on LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate 招待 国際会議

Shoji Kakio, Junki Hayashi, Kosuke Yamaya, Masashi Suzuki, Haruka Suzaki, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

Seventh International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems  2018年3月 

LiTaO3薄板と水晶基板の接合による縦型リーキー系弾性表面波の高結合・高安定化

林純貴，山谷浩介，鈴木雅視，垣尾省司，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

圧電材料・デバイスシンポジウム2018  2018年2月 

Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded piezoelectric substrate 国際会議

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa, and Jun-ichi Kushibiki

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017年10月 

Acousto-optic Bragg diffraction using longitudinal-type leaky SAW 国際会議

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017年10月 

Acousto-optic and electro-optic modulators for photonic Aharonov–Bohm effect 国際会議

Yuya Hiramatsu, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017年10月 

Theoretical analysis of longitudinal-type leaky surface acoustic wave on LiNbO3 with oriented ScAlN film 国際会議

Masashi Suzuki, Masashi Gomi, and Shoji Kakio

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017年10月 

High coupling and highly stable leaky SAWs on LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate 国際会議

Junki Hayashi, Kosuke Yamaya, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Haruka Suzaki, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017年10月 

High-coupling leaky SAWs on LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate 国際会議

Junki Hayashi, Masashi Gomi, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Haruka Suzaki, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

2017 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2017年9月 

縦型漏洩弾性表面波を用いた音響光学ブラッグ回折

波切堅太郎，鈴木雅視，垣尾省司

第78回応用物理学会秋季学術講演会  2017年9月 

ScAlN薄膜/LiNbO3基板における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析

鈴木雅視，垣尾省司

第78回応用物理学会秋季学術講演会  2017年9月 

水負荷圧電基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性

末永凌大，鈴木雅視，垣尾省司，大橋雄二，荒川元孝，櫛引淳一

第78回応用物理学会秋季学術講演会  2017年9月 

LiNbO3薄板/水晶基板上の縦型リーキー弾性表面波の伝搬特性，” 第78回応用物理学会秋季学術講演会

林純貴，山谷浩介，鈴木雅視，垣尾省司，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

第78回応用物理学会秋季学術講演会  2017年9月 

LiNbO3・LiTaO3薄板と高音速基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

垣尾省司，五味将史，林純貴，鈴木雅視，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

第46回EMシンポジウム  2017年6月 

LiNbO3・LiTaO3薄板と水晶基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

垣尾省司，五味将史，林純貴，鈴木雅視，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第148回研究会  2017年5月  日本学術振興会

LN/サファイア接合構造上の縦型リーキーSAWを用いた音響光学変調素子

波切堅太郎，鈴木雅視，垣尾省司

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月 

LiNbO3・LiTaO3薄板/水晶基板における縦型リーキーSAW特性の基板カット角依存性

山谷浩介，林純貴，鈴木雅視，垣尾省司，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月 

ScAlN薄膜/水晶基板またはサファイア基板構造における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析

澤田直弥，鈴木雅視，垣尾 省司

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月 

直線集束ビーム超音波材料解析システムによる圧電性Ta2O5薄膜の評価

末永凌大，鈴木雅視，垣尾省司，大橋雄二，荒川元孝，櫛引淳一

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月 

LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW 共振特性の界面ボイドによる影響

林純貴，山谷浩介，鈴木雅視，垣尾省司，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月 

LiTaO3薄板と水晶基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

垣尾 省司，五味 将史，林 純貴, 須崎 遥, 米内 敏文, 岸田 和人, 水野 潤

第64回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月 

圧電薄板と高音速基板の接合によるリーキー系弾性表面波の高結合化

五味 将史，片岡 拓哉，林 純貴，垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2017  2017年2月 

SAWデバイスを用いた3レベルインバータシステムの検証

小林 史弥、久保 慶太、五箇 繁善、和田 圭二、垣尾 省司

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第147回研究会  2017年1月  日本学術振興会

SAWフィルタを用いた３レベルインバータシステムの検証

小林 史弥、久保 慶太、五箇 繁善、和田 圭二、垣尾 省司

平成28年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会，超精密周波数計測，比較を目指す未来型回路技術調査専門委員会合同委員会』技術報告  2016年12月 

圧電薄板と高音速基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

垣尾 省司，五味 将史，片岡 拓哉，林 純貴

平成28年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会，超精密周波数計測，比較を目指す未来型回路技術調査専門委員会合同委員会』技術報告  2016年12月 

Three-level inverter system based on multiplex transmission using surface acoustic wave filters 国際会議

Keita Kubo, Nanae Kanai, Fumiya Kobayashi, Shigeyoshi Goka, Keiji Wada, Shoji Kakio

The 37th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2016年11月 

Evaluation of Piezoelectric Ta2O5 Thin Films Deposited on SrTiO3 Substrates 国際会議

Yu Sugaya, Shoji Kakio

The 37th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2016年11月 

High-coupling leaky SAWs on LiNbO3 or LiTaO3 thin plate bonded to high-velocity substrate 国際会議

Masashi Gomi, Takuya Kataoka, Junki Hayashi, and Shoji Kakio

The 37th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2016年11月 

SAWフィルタを用いた多重通信システムの単相3レベルインバータへの適用

久保 慶太、金井 七重、小林 史弥、五箇 繁善、和田 圭二、垣尾 省司

第77 回応用物理学会秋季学術講演会  2016年9月 

LiNbO3・LiTaO3薄板と高音速基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

五味 将史，片岡 拓哉，林 純貴，垣尾 省司

第77回応用物理学会秋季学術講演会  2016年9月 

チタン酸ストロンチウム基板上への圧電性Ta2O5 薄膜の成膜と評価

菅谷 悠， 垣尾 省司

第77 回応用物理学会秋季学術講演会  2016年9月 

ScAlN/回転Y-X LiTaO3構造におけるリーキーSAWの理論解析

垣尾 省司，勝谷 信介，保坂 桂子

第77 回応用物理学会秋季学術講演会  2016年9月 

SAWフィルタを用 いた多重通信システムのブリッジインバーへ適用

久保 慶太 ，上田 健介 ，鈴木 陽文 ，五箇 繁善 ，和田 圭二 ，垣 尾 省司

第45回EMシンポジウム  2016年6月 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司，勝谷 信介，保坂 桂子

第45回EMシンポジウム  2016年6月 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司，勝谷 信介，保坂 桂子

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第144回研究会  2016年5月  日本学術振興会

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― LiTaO3基板への適用 ―

垣尾 省司,勝谷 信介,保坂 桂子

第63回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集  2016年3月 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,保坂 桂子

圧電材料・デバイスシンポジウム2016予稿集  2016年2月 

Loss reduction of longitudinal-type leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film

S. Kakio,F. Matsukura

Sixth International Symposium on Acoustic Wave Devices　for Future Mobile Communication Systems  2015年11月 

Loss reduction of leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film

S. Kakio,K. Hosaka

Proc. of The 36th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2015年11月 

Loss reduction of longitudinal-type leaky surface acoustic wave by loading with ScAlN thin film

M. Gomi,S. Kakio

Proc. of The 36th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2015年11月 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,保坂 桂子

平成27年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会』技術報告  2015年10月 

ScAlN 薄膜装荷による縦型リーキー弾性表面波の低損失化

五味 将史,垣尾 省司

平成27年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会』技術報告  2015年10月 

高周波スパッタリング法によるTa2O5圧電薄膜の作製と強誘電特性の評価

菅谷　悠,垣尾 省司

平成27年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会』技術報告  2015年10月 

Loss reduction of leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film

S. Kakio,K. Hosaka

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium  2015年10月 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,保坂 桂子

日本音響学会2015年秋季研究発表会講演論文集  2015年9月 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― 回転YカットLiNbO3におけるカット角依存性 ―

垣尾 省司,保坂 桂子

第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集  2015年9月 

ScAlN 薄膜装荷による縦型リーキー弾性表面波の低損失化

五味 将史,垣尾 省司

第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集  2015年9月 

アモルファスTa2O5 薄膜装荷Y-X LiTaO3 上のラブ波型弾性表面波

垣尾 省司,深沢 遼,保坂 桂子

第44回EMシンポジウム  2015年6月 

高音速薄膜装荷による縦型漏洩弾性表面波の低損失化

松倉 史弥,垣尾 省司

第43回EMシンポジウム  2015年6月 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,保坂 桂子

第62回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集  2015年3月 

アモルファスTa2O5薄膜装荷Y-X LiTaO3上のラブ波型弾性表面波

垣尾 省司,深沢 遼,保坂 桂子

圧電材料・デバイスシンポジウム2015予稿集  2015年2月 

Love-type surface acoustic wave on Y-X LiTaO3 with amorphous Ta2O5 thin film

S. Kakio,H. Fukasawa,K. Hosaka

Proc. of The 35th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2014年12月 

アモルファスTa2O5薄膜装荷Y-X LiTaO3上のラブ波型弾性表面波

垣尾 省司,深沢 遼,保坂 桂子

第75回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集  2014年9月 

アモルファスTa2O5薄膜装荷Y-X LiTaO3上のラブ波型弾性表面波

垣尾 省司,深沢 遼,保坂 桂子

日本音響学会2014年秋季研究発表会講演論文集  2014年9月 

Measurement of Electrooptic Constant in Reverse-Proton-Exchanged Y-Cut LiNbO3 Waveguides

T. Yokota,Y. Sakai,S. Kakio

OECC/ACOFT 2014  2014年7月 

(Plenary Lecture) Acousto-optic modulator driven by surface acoustic waves

S. Kakio

12th School on Acousto-optics and Applications  2014年6月 

逆プロトン交換LiNbO3チャネル光導波路の電気光学定数

横田 琢也，酒井 香雄，垣尾 省司

第61回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集  2014年3月 

高音速薄膜装荷による縦型漏洩弾性表面波の低損失化

松倉 史弥，垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2014予稿集  2014年1月