次世代ゲート駆動回路の高性能・高機能化を実現する弾性境界波フィルタの開発

2022.4 - 2023.3

基盤研究（B）

五箇 繁善、垣尾 省司

異種材料接合を用いた弾性表面波高調波強勢励振と次世代超高周波フィルタへの応用

2022.4 - 2023.3

科学研究費補助金  基盤研究(B)

垣尾 省司

新規圧電単結晶（Ca3TaGa3Si2O14）を用いた5G向け高周波・高安定フィルタの開発

2021.5 - 2022.3

JST  研究成果展開事業　A-STEPトライアウトタイプ 

垣尾 省司

異種材料接合を用いた弾性表面波高調波強勢励振と次世代超高周波フィルタへの応用

2021.4 - 2022.3

科学研究費補助金  基盤研究(B)

垣尾 省司

弾性表面波を用いたゲート駆動回路の高性能化と次世代マルチレベルインバータへの 応用

2020.4 - 2021.3

基盤研究（B）

五箇 繁善、垣尾 省司

異種材料接合を用いた弾性表面波高調波強勢励振と次世代超高周波フィルタへの応用

2020.4 - 2021.3

科学研究費補助金  基盤研究(B)

垣尾 省司

新規圧電単結晶（Ca3TaGa3Si2O14）を用いた超高安定SAWフィルタの開発

2020.4 - 2020.11

JST  研究成果展開事業　A-STEP機能検証フェーズ 

新規圧電単結晶（Ca3TaGa3Si2O14）を用いた超高安定SAWフィルタの開発

2019.11 - 2020.3

JST  研究成果展開事業　A-STEP機能検証フェーズ 

弾性表面波を用いたゲート駆動回路の高性能化と次世代マルチレベルインバータへの 応用

2019.4 - 2020.3

基盤研究（B）

五箇 繁善、垣尾 省司

弾性表面波を用いたゲート駆動回路の高性能化と次世代マルチレベルインバータへの 応用

2018.4 - 2019.3

基盤研究（B）

五箇 繁善

異種材料接合による縦型リーキー弾性表面波の高結合化と次世代高周波フィルタへの応用

2018.4 - 2019.3

科学研究費補助金  基盤研究(B)

縦型漏洩弾性表面波を用いた光周波数シフタの高周波化に関する研究

2018.4 - 2019.3

公益財団法人フジクラ財団  公益財団法人フジクラ財団平成30年度 研究助成 

垣尾　省司

縦型漏洩弾性表面波を用いた光周波数シフタの高周波化に関する研究

2017.4 - 2018.3

公益財団法人フジクラ財団  公益財団法人フジクラ財団平成29年度 研究助成 

垣尾　省司

異種材料接合による縦型リーキー弾性表面波の高結合化と次世代高周波フィルタへの応用

2017.4 - 2018.3

科学研究費補助金  基盤研究(B)

次世代携帯電話に向けた高速・高結合・高安定SAW基板構造の開発

2016.6 - 2017.3

JST  研究成果展開事業マッチングプランナー プログラム「企業ニーズ解決試験 」 

次世代電力変換回路に適したSAWフィルタを用いたゲート駆動回路の提案

2016.4 - 2017.3

高音速薄膜装荷による縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2016.4 - 2017.3

高音速薄膜装荷による縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2015.4 - 2016.3

高音速薄膜装荷による縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2014.4 - 2015.4

逆プロトン交換法を用いてゼロチャープ・DCドリフトフリーを実現するLN光変調器の開発

2013.8 - 2014.3

逆プロトン交換を用いた縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2013.4 - 2014.3

次世代携帯電話に向けた高速・低損失SAW基板構造の開発

2012.11 - 2013.3

逆プロトン交換を用いた縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2012.4 - 2013.3

次世代携帯電話用SAWデバイスを実現する高速・低損失基板構造の確立

2011.10 - 2012.3

逆プロトン交換を用いた縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

2011.4 - 2012.3

4G携帯電話用SAWデバイスを実現する高速・低損失基板構造の開発

2010.10 - 2011.3

逆プロトン交換を用いたバルク波フリー弾性表面波基板と低損失広帯域フィルタへの応用

2010.4 - 2011.3

簡易なRGB光同時変調システムを実現する高消光比・広帯域音響光学変調素子の開発

2009.7 - 2010.3

逆プロトン交換を用いたバルク波フリー弾性表面波基板と低損失広帯域フィルタへの応用

2009.4 - 2010.3

逆プロトン交換を用いたバルク波フリー弾性表面波基板と低損失広帯域フィルタへの応用

2008.4 - 2009.3

高機能ニオブ酸カリウム圧電薄膜の作製と広帯域・低損失弾性表面波フィルタへの応用

2007.4 - 2008.3

KNbO3薄膜光導波路のフォトリフラクティブ効果を用いた光情報通信デバイスに関する研究開発

2007.4 - 2008.3

KNbO3薄膜光導波路のフォトリフラクティブ効果を用いた光情報通信デバイスに関する研究開発

2006.4 - 2007.3

高機能ニオブ酸カリウム圧電薄膜の作製と広帯域・低損失弾性表面波フィルタへの応用

2006.4 - 2007.3

超高速フォトニックネットワーク用光スイッチデバイスに関わる研究開発

2005.4 - 2006.3

高密度誘電体薄膜装荷ランガサイト基板を用いた高結合・高安定ラブ波型弾性表面波

2004.4 - 2005.3

弾性波エネルギートラッピングを利用した高結合・高安定のラブ波型弾性表面波基板

2004.4 - 2005.3

超高速フォトニックネットワーク用光スイッチデバイスに関わる研究開発

2004.4 - 2005.3

弾性波エネルギートラッピングを利用した高結合・高安定のラブ波型弾性表面波基板

2003.4 - 2004.3

高密度誘電体薄膜装荷ランガサイト基板を用いた高結合・高安定ラブ波型弾性表面波

2003.4 - 2004.3

超高速フォトニックネットワーク用光スイッチデバイスに関わる研究開発

2003.4 - 2004.3

バルク波フリー漏えい弾性表面波の探索と高周波・低損失フィルタへの応用

2001.4 - 2002.3

バルク波フリー漏えい弾性表面波の探索と高周波・低損失フィルタへの応用

2000.4 - 2001.3

バルク波フリー漏えい弾性表面波と低損失フィルタへの応用

1998.4 - 1999.3

プロトン交換基板を利用した漏洩弾性表面波放射損失の抑制と低損失フィルタへの応用

1997.4 - 1998.3

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on bonded structures consisting of similar and dissimilar materials Reviewed Major achievement

Yudai Fujii, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   62 ( SJ )   SJ1028-1 - SJ1028-6   2023.3( ISSN：0021-4922 )

Resonance properties of shear-horizontal surface acoustic waves on Ca3TaGa3Si2O14 at room and high temperatures Reviewed Major achievement

Ryoto Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio and Noritoshi Kimura

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   62 ( SJ )   SJ1022-1 - SJ1022-8   2023.2( ISSN：0021-4922 )

Analysis of surface acoustic wave resonance properties on piezoelectric substrates with periodic voids Reviewed Major achievement

Takashi Suzuki, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   62 ( SJ )   SJ1008-1 - SJ1008-8   2023.2( ISSN：0021-4922 )

High-order mode bulk acoustic wave resonators based on polarity-inverted SiAlN/AlN multilayered films for high-frequency operation Reviewed Major achievement

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

APPLIED PHYSICS LETTERS   121   141904   2022.10( ISSN：0003-6951 )

Evaluation of bulk and surface acoustic waves propagation properties of (K,Na)NbO3 films deposited by hydrothermal synthesis or RF magnetron sputtering methods Reviewed Major achievement

Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Takahisa Shiraishi, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi and Kenji Shibata

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1077-1 - SG1077-8   2022.6( ISSN：0021-4922 )

Deposition and evaluation of Ta2O5 piezoelectric thin film on Pt crystal film Reviewed Major achievement

Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera and Hiroshi Funakubo

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1076-1 - SG1076-8   2022.6( ISSN：0021-4922 )

Enhancement of coupling factor in 0th to 4th mode Rayleigh surface acoustic waves on polarity inverted multilayered ScAlN film/AlN and BN substrates Reviewed Major achievement

Yusei Takano, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1059-1 - SG1059-7   2022.5( ISSN：0021-4922 )

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on quartz thin plate bonded to similar-material substrate Reviewed Major achievement

Yudai Fujii, Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1052-1 - SG1052-6   2022.5( ISSN：0021-4922 )

Analysis of propagation characteristics of Rayleigh surface acoustic waves on Yb0.33Al0.67N piezoelectric films/high-velocity substrates Reviewed Major achievement

Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 ( SG )   SG1014-1 - SG1014-3   2022.3( ISSN：0021-4922 )

Analysis of leaky surface acoustic waves on quartz thin plates bonded to similar-material substrate Reviewed Major achievement

Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 ( SD )   SDDC04-1 - SDDC04-6   2021.7( ISSN：0021-4922 )

Progress Review: High-performance surface acoustic wave devices using composite substrate structures Invited Reviewed Major achievement

Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 ( SD )   SD0802-1 - SD0802-11   2021.7( ISSN：0021-4922 )

Increase of electromechanical coupling coefficient kt2 in (0001)-oriented AlN films by chromium doping Reviewed Major achievement

Yusei Takano, Ryusei Hayakawa, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 ( SD )   SDDC08-1 - SDDC08-7   2021.7( ISSN：0021-4922 )

Enhancement of leaky SAW harmonics excitation using bonded dissimilar material structures Reviewed Major achievement

Shiori Asakawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 ( SD )   SDDC07-1 - SDDC07-7   2021.7( ISSN：0021-4922 )

Analysis of leaky surface acoustic wave characteristics propagating on high piezoelectric ScAlN film/high velocity quartz substrate Reviewed Major achievement

Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC07-1 - SGGC07-5   2020.7( ISSN：0021-4922 )

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on LiNbO3/amorphous layer/quartz structure Reviewed Major achievement

Shiori Asakawa, Junki Hayashi, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC12-1 - SGGC12-5   2020.7( ISSN：0021-4922 )

Analysis of leaky surface acoustic waves on LiNbO3 or LiTaO3 thin plate bonded to similar-material substrates Reviewed Major achievement

Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki , and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC01-1 - SGGC01-7   2020.7( ISSN：0021-4922 )

Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded LiTaO3/quartz bonded structure Reviewed Major achievement

Shoji Kakio, Yoshiki Kato, Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC04-1 - SGGC04-3   2020.7( ISSN：0021-4922 )

Power transmission characteristics of EWC-SPUDT SAW filters fabricated for multiplex transmission system of inverter gate drive circuits Reviewed Major achievement

Ken Watada, Shigeyoshi Goka, Shoji Kakio, Fumiya Kobayashi, Ryo Nonaka, and Keiji Wada

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   59 ( SK )   SKKC05-1 - SGGC05-5   2020.7( ISSN：0021-4922 )

Longitudinal leaky surface acoustic wave with low attenuation on LiTaO3 or LiNbO3 thin plate bonded to quartz substrate Reviewed

Junki Hayashi, Kosuke Yamaya, Shiori Asakawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 ( SG )   SGGC12-1 - SGGC12-8   2019.7( ISSN：0021-4922 )

Evaluation of SiO2 Thin films on piezoelectric substrates using line-focus-beam ultrasonic material characterization system Reviewed

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa and Jun-ichi Kushibiki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 ( SG )   SGGA05-1 - SGGA05-6   2019.7( ISSN：0021-4922 )

Acousto-optic modulators driven by longitudinal leaky surface acoustic waves on LiNbO3 thin-plate bonded structures Reviewed

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 ( SG )   SGGA09-1 - SGGA09-5   2019.7( ISSN：0021-4922 )

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic wave propagation characteristics on a piezoelectric ScAlN layer/sapphire or quartz substrate Reviewed

Masashi Suzuki, Naoya Sawada and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 ( SG )   SGGC08-1 - SGGC08-6   2019.7( ISSN：0021-4922 )

学大将が育つキャリアハウス教育 Invited Reviewed

垣尾 省司

応用物理   88 ( 4 )   287 - 290   2019.4

High coupling and highly stable leaky surface acoustic waves on LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate Reviewed

Junki Hayashi, Kosuke Yamaya, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Haruka Suzaki, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LD21-1 - 07LD21-6   2018.7( ISSN：0021-4922 )

Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded piezoelectric substrate Reviewed

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa, and Jun-ichi Kushibiki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LC10-1 - 07LC10-5   2018.7( ISSN：0021-4922 )

Acousto-optic Bragg diffraction using longitudinal leaky surface acoustic wave Reviewed

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LD01-1 - 07LD01-3   2018.7( ISSN：0021-4922 )

Propagation characteristics of longitudinal-type leaky surface acoustic wave on layered structure consisting of Sc x Al1− x N film/LiNbO3 substrate Reviewed

Masashi Suzuki, Masashi Gomi, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LD06-1 - 07LD06-7   2018.7( ISSN：0021-4922 )

Double-diffraction waveguide-type acousto-optic modulator with interchangeable input and output ports Reviewed

Yuya Hiramatsu, Masashi Suzuki and, Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 7S1 )   07LD16-1 - 07LD16-3   2018.7( ISSN：0021-4922 )

High-coupling leaky surface acoustic waves on LiNbO3 or LiTaO3 thin plate bonded to high-velocity substrate Reviewed

Masashi Gomi, Takuya Kataoka, Junki Hayashi, and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 7S1 )   07JD13-1 - 07JD13-7   2017.7( ISSN：0021-4922 )

Design of surface acoustic wave filters for the multiplex transmission system of multilevel inverter circuits Reviewed

Keita Kubo, Nanae Kanai, Fumiya Kobayashi, Shigeyoshi Goka, Keiji Wada and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 7S1 )   07JD03-1 - 07JD03-4   2017.7( ISSN：0021-4922 )

Evaluation of piezoelectric Ta2O5 thin films deposited on SrTiO3 substrates Reviewed

Yu Sugaya and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 7S1 )   07JD12-1 - 07JD12-5   2017.7( ISSN：0021-4922 )

Multiplex transmission system for gate drive signals of inverter circuit using surface acoustic wave filters Reviewed

Akifumi Suzuki, Kensuke Ueda, Shigeyoshi Goka, Keiji Wada and Shoji Kakio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 7S )   07KD01-1 - 07KD05-5   2016.7( ISSN：0021-4922 )

Loss reduction of leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film Reviewed

S. Kakio and K. Hosaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 7S )   07KD11-1 - 07KD11-6   2016.7( ISSN：0021-4922 )

高音速薄膜装荷による縦型漏洩弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,松倉 史弥

超音波テクノ   2015.7

Love-type surface acoustic wave on Y-X LiTaO3 with amorphous Ta2O5 thin film Reviewed Major achievement

Jpn. J. Appl. Phys.   54 ( 7 )   1 - 4   2015.7

Acousto-optic modulator driven by surface acoustic waves Reviewed Major achievement

ACTA PHYSICA POLONICA A   127 ( 1 )   15 - 19   2015.1

Loss reduction of longitudinal-type leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film Reviewed Major achievement

Jpn. J. Appl. Phys.   53 ( 7 )   1 - 6   2014.7

高音速な縦型漏洩弾性表面波の低損失化

垣尾 省司

超音波テクノ   2014.1

Longitudinal-type leaky SAW on LiNbO3 with high-velocity thin film Reviewed

Proceedings of 2013 Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium   1692 - 1695   2013.9

Evaluation of piezoelectric Ta2O5 thin films deposited on sapphire substrates Reviewed

Proceedings of 2013 Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium   1688 - 1691   2013.9

Evaluation of piezoelectric Ta2O5 thin films deposited on sapphire substrates Reviewed Major achievement

Jpn. J. Appl. Phys.   52 ( 7 )   1 - 4   2013.7

Longitudinal-type leaky surface acoustic wave on LiNbO3 with high-velocity thin film Reviewed Major achievement

Jpn. J. Appl. Phys.   52 ( 7 )   1 - 4   2013.7

Loss reduction of longitudinal-type leaky SAW by reverse proton exchange Reviewed

2012 IEEE International Ultrasonics Symposium   2012.10

Electrooptic effect in reverse-proton-exchanged X-cut LiNbO3 waveguides Reviewed

Technical Digest of OECC2012   641 - 642   2012.7

Surface acoustic wave properties of amorphous Ta2O5 and Nb2O5 thin films prepared by radio frequency sputtering Reviewed Major achievement

Jpn. J. Appl. Phys.   51 ( 7 )   1 - 5   2012.7

Resonance properties of surface acoustic wave resonators in supercritical CO2 Reviewed Major achievement

Jpn. J. Appl. Phys.   51 ( 7 )   1 - 4   2012.7

Polarization control by leaky surface acoustic wave in reverse-proton-exchanged LiNbO3 optical waveguide Reviewed Major achievement

Jpn. J. Appl. Phys   52 ( 7 )   1 - 5   2012.7

Resonance properties of surface acoustic wave resonator in supercritical CO2 Reviewed

Proceedings of 2011 IEEE International Ultrasonics Symposium   2011.10

Acoustooptic Bragg diffraction using leaky surface acoustic wave in Ti-diffused rotated Y-cut LiNbO3 waveguide Reviewed

Proceedings of OECC2011   2011.7

Deposition of highly oriented Ta2O5 piezoelectric thin films on silicon for fabricating film bulk acoustic resonator structure by RF magnetron sputtering Reviewed Major achievement

Jpn. J. Appl. Phys.   50 ( 7 )   HD081 - HD084   2011.7

Behavior of surface acoustic wave resonators in supercritical CO2 Reviewed Major achievement

Jpn. J. Appl. Phys.   50 ( 7 )   HD091 - HD094   2011.7

TE-TM mode converter with rapid response using photoelastic effect of surface acoustic wave Reviewed

Proceedings of OECC2011   2011.7

逆プロトン交換10° Y-X LiNbO3基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性 Reviewed Major achievement

垣尾 省司,清水 秀徳,中川 恭彦

電気学会論文誌「圧電材料・デバイス」特集号   131 ( 6 )   1131 - 1137   2011.6

Deposition of highly oriented Ta2O5 piezoelectric thin films on silicon for fabricating film bulk acoustic resonator structure by RF magnetron sputtering Reviewed

S. Kakio,A. Tsuchiya,T. Mitsui,Y. Nakagawa

Proceedings of 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium   2010.10

Beam-propagation analysis of switched directional couplers using reverse-proton-exchanged LiNbO3 waveguides Reviewed

S. Kakio,T. Sugisawa,Y. Nakagawa

Proceedings of The 9th International Conference on Optical Internet (COIN2010)   2010.7

Simple simultaneous modulation for red, green and blue laser lights using surface-acoustic-wave-driven acoustooptic modulator Reviewed Major achievement

S. Kakio,S. Shinkai,Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   49 ( 7 )   HD181 - HD185   2010.7

Fabrication and evaluation of highly oriented Ta2O5 piezoelectric thin films prepared by radio frequency magnetron sputtering Reviewed Major achievement

S. Kakio,T. Mitsui,A. Tsuchiya,Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   49 ( 7 )   HB061 - HB065   2010.7

Optical Mode Converter Using Lamb Wave Reviewed

Koki Saito,Yasuhiko Nakagawa,Shoji Kakio

Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 7 )   HD171 - HD175   2010.7

Highly oriented Ta2O5 piezoelectric thin films prepared by rf-magnetron sputtering Reviewed

S. Kakio,T. Mitsui,A. Tsuchiya,and Y. Nakagawa

Proceedings of 2009 IEEE International Ultrasonics Symposium   2009.10

Simple simultaneous modulation for red, green and blue laser lights using surface-acoustic-wave-driven acoustooptic modulator Reviewed

S. Kakio,S. Shinkai,and Y. Nakagawa

Technical Digest OECC2009   2009.7

Surface-acoustic-wave-driven acoustooptic modulator with wide wavelength range for visible laser light Reviewed Major achievement

S. Kakio ,S. Shinkai ,H. Kawate ,and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   48 ( 7 )   GE021 - GE025   2009.7

Modification of surface-acoustic-wave-driven tandem acoustooptic frequency shifter for improvement of diffraction properties Reviewed Major achievement

S. Kakio ,S. Shinkai ,Y. Nakagawa ,T. Hara,and H. Ito

Jpn. J. Appl. Phys.   48 ( 7 )   GE071 - GE073   2009.7

Leaky-surface-acoustic-wave properties on reverse-proton-exchanged LiNbO3 Reviewed Major achievement

S. Kakio ,H. Shimizu ,and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   48 ( 7 )   GG101 - GG105   2009.7

Propagation Characteristics of Substrate for Lamb-Wave-Type Elastic Wave Devices Reviewed

Hitoshi Yoshida ,Yasuhiko Nakagawa ,and Shoji Kakio

Japanese Journal of Applied Physics   48 ( 7 )   GF021 - GF023   2009.7

最近の光音響デバイス　―タンデム導波路型AOMと周波数シフト帰還型レーザーへの応用

垣尾省司

超音波テクノ   21 ( 1 )   42 - 46   2009.2

Leaky-SAW properties on reverse-proton-exchanged LiNbO3 Reviewed

S. Kakio,H. Shimizu, and Y. Nakagawa

Proceedinds of 2008 IEEE International Ultrasonics Symposium   2229 - 2232   2008.11

Surface-acoustic-wave-driven acoustooptic modulator with wide wavelength range for visible laser light Reviewed

S. Kakio,S. Shinkai,H. Kawate,and Y. Nakagawa

Technical Digest of OECC/ACOFT 2008   2008.7

Frequency-shifted feedback fiber laser oscillation with monolithically integrated tandem waveguide-type acoustooptic modulator driven by surface acoustic waves Reviewed Major achievement

S. Kakio,M. Kitamura,Y. Nakagawa,T. Hara,and H. Ito

Jpn. J. Appl. Phys.   47 ( 5 )   3992 - 3993   2008.5

Propagation and resonance properties of Love-type surface acoustic wave on Y-X LiTaO3 with TeO2 thin film Reviewed Major achievement

S. Kakio,R. Haino,Y. Asano,and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   47 ( 5 )   4060 - 4064   2008.5

Fabrication and evaluation of highly (110)-oriented potassium niobate thin films prepared by rf-magnetron sputtering Reviewed Major achievement

S. Kakio,H. Kurosawa,T. Suzuki,and Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   47 ( 5 )   3802 - 3806   2008.5

Hydrogen gas sensor using good characteristics of Lamb wave Reviewed

N. Yamamoto,Y. Nakagawa,and S. Kakio

Jap. J. Appl. Phys.   47 ( 5 )   4024 - 4028   2008.5

Highly (110)-oriented potassium niobate thin films prepared by RF-magnetron sputtering Reviewed

S. Kakio, T. Suzuki, H. Kurosawa, and Y. Nakagawa

Proceedings of 2007 IEEE International Ultrasonics Symposium   1405 - 1408   2007.11

Resonators Using a Lamb Wave on AT-Cut Quartz Reviewed

Yasuhiko Nakagawa,Masayuki Momose,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B )   4665 - 4668   2007.7

Reflection properties of shear-horizontal-type surface acoustic wave in periodic gold grating on langasite Reviewed Major achievement

S. Kakio,S. Tanabe,Y. Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B )   4764 - 4767   2007.7

Monolithically integrated tandem waveguide-type acoustooptic modulator driven by surface acoustic waves Reviewed Major achievement

S. Kakio,S. Uotani,M. Kitamura,Y. Nakagawa,T. Hara,H. Ito,T. Kobayashi,M. Watanabe

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B )   4608 - 4612   2007.7

Optical Properties of a Piezoelectric Ta2O5 Single Crystal Film Reviewed

Yasuhiko Nakagawa,Isao Morita,Masashi Takahashi,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B )   4441 - 4445   2007.7

Improvement of diffraction properties in waveguide-type acoustooptic modulator driven by surface acoustic Reviewed Major achievement

S. Kakio,S. Uotani,Y. Nakagawa,T. Hara,H. Ito,その他２名

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 2 )   669 - 674   2007.2

Reflection properties SH-Type SAW in periodic gold grating langasite Reviewed

Shoji Kakio ,Satoshi Tanabe,Yasuhiko Nakagawa

Proceedings of 2006 IEEE International Ultrasonics Symposium   240 - 243   2006.10

Monolithically integrated tandem waveguide-type acoustooptic frequency shifter driven by surface acoustic waves Reviewed

Shoji Kakio,Shinji Uotani,Yasuhiko Nakagawa,Takefumi Hara,Hiromasa Ito,その他２名

Proceedings of 2006 IEEE International Ultrasonics Symposium   1509 - 1512   2006.10

Temperature Characteristics of Substrates for Lamb-Wave-Type Acoustic Wave Devices Reviewed

Yasuhiko Nakagawa,Mitsuyoshi Shigeda,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   45 ( 5B )   4667 - 4670   2006.5

Temperature characteristics of substrates for lamb-wave-type acoustic wave devices Reviewed

Yasuhiko Nakagawa,Mitsuyoshi Shigeda,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 5B )   4667 - 4670   2006.5

ラム波型弾性波素子用基板の温度特性 Reviewed

中川 恭彦,重田 光善,柴田 和匡,垣尾 省司

電子情報通信学会論文誌   J89-C ( 1 )   34 - 39   2006.1

弾性表面波を用いた導波路型音響光学変調素子の光回折特性とBPM解析

垣尾省司

超音波テクノ   17 ( 6 )   49 - 53   2005.11

Diffraction properties and beam-propagation analysis of waveguide-type acoustooptic modulator driven by surface acoustic wave Reviewed Major achievement

Shoji Kakio,Shinji Uotani,Yasuhiko Nakagawa,Takefumi Hara,Hiromasa Ito,Takashi Iizuka,Tetsuya Kobayashi,Masayuki Watanabe

Jpn. J. Appl. Phys.   44 ( 6B )   4472 - 4476   2005.6

Propagation characteristics of shear-horizontal-type surface acoustic wave on langasite with Au or Ta2O5 thin film Reviewed Major achievement

Shoji Kakio,Masaya Nozawa,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   44 ( 6B )   4544 - 4547   2005.6

Waveguide-type acoustooptic frequency shifter with high diffraction efficiency driven by surface acoustic wave Reviewed

Shoji Kakio,Shinji Uotani,Yasuhiko Nakagawa,Takefumi Hara,Hiromasa Ito,Takashi Iizuka,Tetsuya Kobayashi,Masayuki Watanabe

Proceeding of 2004 IEEE International Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 50th Anniversary Joint Conference   2004.8

Propagation characteristics of shear-horizontal-type surface acoustic wave on langasite with Au or Ta2O5 thin film Reviewed

Shoji Kakio,Masaya Nozawa,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2004 IEEE International Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 50th Anniversary Joint Conference   2004.8

Characteristics of Reflection of Resonators Using Lamb Wave on AT-Cut Quartz Reviewed

Yasuhiko Nakagawa,Masayuki Momose,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   43 ( 5B )   3020 - 3023   2004.5

High coupling and highly stable shear-horizontal-type surface acoustic wave on langasite with Au or Ta2O5 thin film Reviewed Major achievement

Shoji Kakio,Masaya Nozawa,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   43 ( 5B )   2992 - 2295   2004.5

弾性表面波を用いた導波路型光周波数シフタと周波数シフト帰還型ファイバレーザーへの応用 Reviewed Major achievement

垣尾 省司,北村 通英,中川 恭彦,鄒 念育,原 武文,伊藤 弘昌,飯塚 孝,小林 哲也,渡辺 正行

電子情報通信学会論文誌   J86-C ( 12 )   1263 - 1271   2003.12

Waveguide-type acoustooptic frequency shifter driven by surface acoustic wave and its application to frequency-shifted feedback fiber laser Reviewed

Shoji Kakio,Michihide Kitamura,Yasuhiko Nakagawa,Nianyu Zou,Takefumi Hara,Hiromasa Ito,Takashi Iizuka,Tetsuya Kobayashi,Masayuki Watanabe

Proceeding of 2003 IEEE International Ultrasonics Symposium   1808 - 1811   2003.9

Shear-horizontal-type surface acoustic wave on langasite with Au or Ta2O5 thin film Reviewed

Shoji Kakio,Masaya Nozawa,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2003 IEEE International Ultrasonics Symposium   2122 - 2125   2003.9

Lamb-Wave-Type High Frequency Resonator Reviewed

Yasuhiko Nakagawa,Satoru Tanaka,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   42 ( 5B )   3086 - 3090   2003.5

An integrated acoustooptic frequency shifter driven by surface acoustic wave for 1.55 µm optical wavelength Reviewed Major achievement

Shoji Kakio,Nianyu Zou,Michihide Kitamura,Hiromasa Ito,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   42 ( 5B )   3063 - 3066   2003.5

Shear-horizontal-type surface acoustic waves on quartz with Ta2O5 thin film Reviewed Major achievement

Shoji Kakio,Yuichiro Shimatai,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   42 ( 5B )   3161 - 3165   2003.5

Shear-horizontal-type surface acoustic waves on quartz with Ta2O5 thin film Reviewed

Shoji Kakio,Yuichiro Shimatai,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2002 IEEE International Ultrasonics Symposium   423 - 426   2002.9

Leaky surface acoustic waves on langasite with thin dielectric films Reviewed Major achievement

Shoji Kakio,Tamie Yamaguchi,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   40 ( 5B )   3494 - 3497   2002.5

Leaky surface acoustic waves on langasite with thin dielectric films Reviewed

Shoji Kakio,Tamie Yamaguchi,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2001 IEEE International Ultrasonics Symposium   165 - 168   2001.9

Second leaky surface wave propagation on LiTaO3 with thin dielectric films Reviewed

Shoji Kakio,Takeshi Shimo,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 2000 IEEE International Ultrasonics Symposium   2000.9

Suppression of bulk wave radiation from leaky surface acoustic waves by loading with thin dielectric films Reviewed

Shoji Kakio,Kenji Hishinuma,Yasuhiko Nakagawa

J. Appl. Phys.   87 ( 3 )   1440 - 1446   2000.3

弾性表面波による光弾性強調現象とその光変調素子への応用 Reviewed

中川 恭彦,八幡 充洋,垣尾 省司

電子情報通信学会論文誌   J82-C1 ( 12 )   749 - 756   1999.12

Reversal phenomenon in phase velocity of surface acoustic waves on free and metallized surfaces by proton-exchange Reviewed

Shoji Kakio,Hiroyuki Nakamura,Yasuo Kanamori,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   37 ( 5B )   3261 - 3264   1999.5

Suppression of attenuation of leaky surface acoustic waves by loading dielectric thin-film Reviewed

Shoji Kakio,Kenji Hishinuma,Yasuhiko Nakagawa

Proceeding of 1998 IEEE International Ultrasonics Symposium   1998.9

プロトン交換による漏洩弾性表面波のバルク波放射の抑圧 Reviewed

垣尾 省司,青山 和史,中川 恭彦

電子情報通信学会論文誌   80 ( 11 )   1830 - 1837   1997.11

弾性表面波アシストによる薄膜位相格子の作成 Reviewed

中川 恭彦,渡辺 昌彦,八幡 充洋,垣尾 省司

電子情報通信学会論文誌   J80-A ( 10 )   1782 - 1787   1997.10

Fabrication of Thin-Film Phase Grating Using Surface Acoustic Waves Reviewed

Masahiko Watanabe,Mitsuhiro Yawata,Shoji Kakio,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   36 ( 5B )   3119 - 3120   1997.5

Propagation characteristics of leaky surface acoustic wave on proton-exchanged 36°Y-X LiTaO3 Reviewed

Shoji Kakio,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   36 ( 5B )   3064 - 3067   1997.5

Fabrication of Diffraction Grating Assisted by Surface Acoustic Wave Reviewed

Yasuhiko Nakagawa,Mitsuhiro Gunzi,Shoji Kakio

Jpn. J. Appl. Phys.   34 ( 5B )   2650 - 2652   1995.5

Photo-elastic constants of proton-exchanged LiNbO3 Reviewed

Shoji Kakio and Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   34 ( 5B )   2917 - 2919   1995.5

プロトン交換LiTaO3光導波路の電気光学定数の測定 Reviewed

垣尾 省司,皆方 誠

電子情報通信学会論文誌   J76-C1 ( 11 )   514 - 522   1993.11

Surface acoustic wave properties on proton-exchanged 128°-rotated Y-cut LiNbO3 Reviewed

Shoji Kakio,Junji Matsuoka,Yasuhiko Nakagawa

Jpn. J. Appl. Phys.   32 ( 5B )   2359 - 2361   1993.5

薄板LiNbO3/SiC構造における板波共振特性と温度特性

渡邉 紀之、垣尾 省司

第71回応用物理学会春季学術講演会  2024.3  応用物理学会

RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜の BAW 伝搬特性の基 板温度依存性

中山 雄太，鈴木 雅視、垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

LiNbO3/SiC構造上の縦型漏洩弾性表面波特性の解析

武居 諒、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

LiNbO3/水晶接合構造の縦型リーキーSAW高次高調波の共振解析

森田 響生、鈴木 雅視、垣尾 省司、水野 潤

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

成膜条件によるSiAlN膜の極性制御と2層分極反転SiAlN膜HBARの形成・ 評価

福永 慶，鈴木 雅視，垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波伝搬特性の解析

鈴木 渉志,　鈴木 雅視,　垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

板波・弾性表面波における圧電薄板分割による不要伝搬モードの抑圧

原 尚斗，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

圧電材料・デバイスシンポジウム2024  2024.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

Analysis of SAW propagation properties on piezoelectric substrates with periodic voids International conference

Takashi Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023.11 

Analysis of Sezawa mode RSAWs on ScAlN or YbAlN films/high velocity substrates with floated intermediate electrode layers International conference

Kei Hukunaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023.11 

Substrate temperature dependence of BAW propagation properties on (K,Na)NbO3 films deposited by RF sputtering International conference

Yuta Nakayama, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023.11 

Suppression of spurious propagation modes on Love wave-type SAWs by divided piezoelectric substrates International conference

Naoto Hara, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yasushi Yamamoto

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023.11 

Resonance analysis of longitudinal leaky SAW third harmonic on bonded LiNbO3/quartz structure International conference

Hibiki Morita, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Jun Mizuno

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023.11 

A study of resonance properties on leaky SAWs using LiTaO3/SiC/Si structure International conference

Noriyuki Watanabe, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023.11 

Analysis of propagation and resonance properties of longitudinal leaky SAW on LiNbO3/SiC structure International conference

Ryo Takei, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yasushi Yamamoto

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023.11 

Polarity inverted SiAlN/AlN film solid mounted resonators operating in high-overtone mode resonance International conference

Masashi Suzuki, Jun Sekimoto, Kei Fukunaga, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023.11 

Design of Transversal Piezoelectric Boundary Acoustic Wave Filter for Inverter Drive Circuit International conference

Yutaka Mitsui , Shigeyoshi Goka, Kazuya Murakami, Shoji Kakio

The 44th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2023.11 

High-performance SAW Devices Using Bonded Dissimilar-material Structures Invited International conference Major achievement

Shoji Kakio

International Electrotechnical Commission Technical Committee 49  2023.11  International Electrotechnical Commission Technical Committee 49

工学教育賞受賞講演　自発リーダー「学大将」が育つマイハウス教育 Invited Major achievement

垣尾 省司

第71回年次大会・工学教育研究講演会  2023.9  日本工学教育協会

High Overtone Mode Solid Mounted Resonators with Polarity Inverted Multilayered SiAlN/AlN Films International conference

Masashi Suzuki, Jun Sekimoto, Shoji Kakio

2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2023.9  IEEE

Resonance Properties of Leaky SAW Higher Harmonics on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate International conference

Hibiki Morita, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Jun Mizuno

2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2023.9  IEEE

Analysis of SAW Propagation Properties on Piezoelectric Substrate with Periodic Voids International conference

Takashi Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2023.9  IEEE

Suppression of Spurious Propagation Modes on Plate Waves and Saws Using Divided Piezoelectric Thin Plates International conference

Naoto Hara, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yasushi Yamamoto

2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2023.9  IEEE

異種材料接合構造上のリーキー系 SAW 高次高調波の共振特性

森田 響生，鈴木 雅視，垣尾 省司，水野 潤

第52回EMシンポジウム  2023.7  電気学会EM委員会

LiNbO3/SiC 構造上の縦型漏洩弾性表面波の解析

武居 諒，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

第52回EMシンポジウム  2023.7  電気学会EM委員会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波伝搬特性の解析

鈴木 渉志，鈴木 雅視，垣尾 省司

第52回EMシンポジウム  2023.7  電気学会EM委員会

ラブ波型弾性表面波における圧電基板分割による不要伝搬モードの抑圧

原 尚斗，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

第52回EMシンポジウム  2023.7  電気学会EM委員会

Analysis of Leaky Surface Acoustic Waves and Thermal Conduction on LiTaO3/SiC/Si Structure International conference

Noriyuki Watanabe, Shoji Kakio

The 2023 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & European Frequency and Time Forum  2023.5  IEEE

Analysis of Leaky Surface Acoustic Waves and Thermal Conduction on LiTaO3/SiC/Si Structure International conference

Noriyuki Watanabe, Shoji Kakio

Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium and the European Frequency and Time Forum  2023.5 

LiNbO3/SiC 構造上の縦型漏洩弾性表面波共振特性の解析

武居諒，鈴木雅視，垣尾省司，山本泰司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023.3  応用物理学会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波伝搬特性の解析

鈴木 渉志、鈴木 雅視、垣尾 省司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023.3  応用物理学会

分極反転構造および中間電極挿入構造ScAlN薄膜/高音速基板上を伝搬する1次モードRSAW特性解析

福永 慶、鈴木 雅視、垣尾 省司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023.3  応用物理学会

板波における圧電薄板分割によるスプリアス応答の抑圧

原 尚斗、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023.3  応用物理学会

LiTaO3/水晶接合構造上のリーキーSAW三次高調波の共振特性－ 1GHz帯における評価 －

森田 響生、鈴木 雅視、垣尾 省司、水野 潤

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023.3  応用物理学会

[第53回講演奨励賞受賞記念講演] Ca3TaGa3Si2O14ラブ波型SH波の高温下における共振特性 Invited

鈴木 涼人、鈴木 雅視、垣尾 省司、木村 悟利

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023.3  応用物理学会

LiTaO3/SiC/Si 構造上のリーキーSAW の温度特性と熱伝導過渡特性の解析

渡邉 紀之、垣尾 省司

第70回応用物理学会春季学術講演会  2023.3  応用物理学会

異種材料接合構造上のリーキーSAW高次高調波の共振特性

森田 響生，鈴木 雅視，垣尾 省司，水野 潤

弾性波素子技術コンソーシアム第10回研究会  2023.3  弾性波素子技術コンソーシアム

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波共振・伝搬特性の解析

鈴木 渉志，鈴木 雅視，垣尾 省司

弾性波素子技術コンソーシアム第10回研究会  2023.3  弾性波素子技術コンソーシアム

板波・弾性表面波における圧電薄板分割による不要伝搬モードの抑圧

原 尚斗，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

弾性波素子技術コンソーシアム第10回研究会  2023.3  弾性波素子技術コンソーシアム

圧電薄板/ダイヤモンド基板構造上の縦型漏洩弾性表面波共振特性の解析

原 尚斗，鈴木 雅視，垣尾 省司，山本 泰司

第51回EMシンポジウム  2022.12  電気学会EM委員会

LiNbO3/水晶接合構造のリーキーSAW 高調波の共振特性

森田 響生，鈴木 雅視，垣尾 省司 ，水野 潤

第51回EMシンポジウム  2022.12  電気学会EM委員会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波共振特性の解析

鈴木 渉志，鈴木 雅視，垣尾 省司

第51回EMシンポジウム  2022.12  電気学会EM委員会

Evaluation of Ta2O5 Piezoelectric Thin Film Prepared on Pt/Si Substrate at Low Deposition Rate International conference

Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera, Hiroshi Funakubo

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022.11 

Fabrication and evaluation of high-order mode solid mounted resonators with polarity inverted GeAlN/AlN multilayered films International conference

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022.11 

Piezoelectric characteristics of c-axis oriented GeAlN films and applications to polarity inverted film HBARs International conference

Masashi Suzuki, Jun Sekimoto, Shoji Kakio

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022.11 

Analysis of Longitudinal Leaky SAWs on Bonded Structures Consisting of Similar and Dissimilar Materials International conference

Yudai Fujii, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022.11 

Analysis of SAW Resonance Properties on Piezoelectric Substrates with Periodic Voids International conference

Takashi Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022.11 

Analysis of Longitudinal Leaky Surface Acoustic Waves on Piezoelectric Thin Plates Bonded to Diamond Substrate International conference

Naoto Hara, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yasushi Yamamoto

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022.11 

Resonance Properties of Leaky SAW Harmonics on LiNbO3/Quartz Bonded Structures International conference

Hibiki Morita, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Jun Mizuno

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022.11 

Resonance Properties of Shear-Horizontal Surface Acoustic Wave on Ca3TaGa3Si2O14 at High Temperature International conference

Ryoto Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Noritoshi Kimura

The 43rd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2022.11 

Deposition and Evaluation of Highly Crystallized Ta2O5 Piezoelectric Thin Film on Pt Crystal Film International conference

Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera, Hiroshi Funakubo

2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2022.10  IEEE

High-Order Mode Film Bulk Acoustic Wave Resonators Consisting of Polarity Inverted Multilayered GeAlN/AlN Films International conference

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2022.10  IEEE

Analysis of Longitudinal Leaky SAWs on Bonded Structures Consisting of Similar and Dissimilar Materials International conference

Yudai Fujii, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2022.10  IEEE

Ca3TaGa3Si2O14ラブ波型SH波の高温下における共振特性

鈴木 涼人、鈴木 雅視、垣尾 省司、木村 悟利

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

[第52回講演奨励賞受賞記念講演] GeドープによるAlN膜の極性制御と高次モード薄膜共振子への応用 [第52回講演奨励賞受賞記念講演] 高周波フィルタ応用に向けた高次モード極性反転Ge(Si)AlN/AlN多層膜共振子 Invited

関本 淳、鈴木 雅視1、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

SRO/Pt/Si基板上のTa2O5圧電薄膜の低レートにおける成膜と評価

松浦 佳祐、鈴木 雅視、垣尾 省司、小寺 正徳、舟窪 浩

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

ScAlN圧電薄膜を装荷した水晶同種材料接合構造における縦型リーキーSAWの伝搬・共振特性

藤井 雄大、鈴木 雅視、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

圧電薄板/ダイヤモンド基板構造上の縦型漏洩弾性表面波共振特性の解析

原 尚斗、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

LiTaO3 薄板と SiC-on-Si 基板の接合構造における漏洩弾性表面波の解析

渡邉 紀之、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波共振特性の解析

鈴木 渉志、鈴木 雅視、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

LiNbO3/水晶接合構造のリーキーSAW五次高調波の共振特性

森田 響生、鈴木 雅視、垣尾 省司、水野 潤

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

分極反転SiAlN/AlN多層膜を用いた5GHz動作高次モードSMR型共振子

鈴木 雅視、関本 淳、福永 慶、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

ラブ波型弾性表面波における圧電基板分割による不要伝搬モードの抑圧

原 尚斗、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

周期的空隙を用いた弾性表面波伝搬特性の制御

鈴木 渉志、鈴木 雅視、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

中間電極挿入構造YbAlN薄膜/高音速基板上を伝搬するセザワモードRSAW特性解析

福永 慶、鈴木 雅視、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

LiNbO3/水晶接合構造上の縦型リーキーSAW三次高調波の共振解析

森田 響生、鈴木 雅視、垣尾 省司、水野 潤

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

LiNbO3/SiC構造上の縦型漏洩弾性表面波伝搬特性の解析

武居 諒、鈴木 雅視、垣尾 省司、山本 泰司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜のBAW伝搬特性の 基板温度依存性

中山 雄太、鈴木 雅視、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

薄板LiNbO3/SiC構造における板波共振特性の解析

渡邉 紀之、垣尾 省司

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2022.9  応用物理学会

Shear-Horizontal Surface Acoustic Wave on Ca3TaGa3Si2O14 Piezoelectric Single Crystal International conference

R. Suzuki, M. Suzuki, S. Kakio, and N. Kimura

2022 IEEE International Frequency Control Symposium  2022.4  IEEE

GeドープによるAlN膜の極性制御と高次モード薄膜共振子への応用

関本 淳、鈴木 雅視、垣尾 省司

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022.3 

Ca3TaGa3Si2O14圧電単結晶上の高安定ラブ波型SH波

鈴木 涼人、鈴木 雅視、垣尾 省司、木村 悟利

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022.3 

SRO/Pt/Si基板上のTa2O5圧電薄膜の成膜と評価

松浦 佳祐、鈴木 雅視、垣尾 省司、小寺 正徳、舟窪 浩

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022.3 

LiNbO3/水晶接合構造のリーキーSAW三次高調波の共振特性

森田 響生，鈴木 雅視，垣尾 省司，水野 潤

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022.3 

同種・異種材料接合構造における縦型リーキーSAWの伝搬・共振特性

藤井 雄大，鈴木 雅視，垣尾 省司

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022.3 

SrRuO3/Pt/Si基板上のTa2O5圧電薄膜の成膜と評価

松浦 佳祐，鈴木 雅視，垣尾 省司，小寺 正徳，舟窪 浩

弾性波素子技術コンソーシアム第6回研究会  2022.3  弾性波素子技術コンソーシアム

Pt 結晶膜上への Ta2O5 圧電薄膜の成膜と評価

松浦佳祐, 鈴木雅視, 垣尾省司, 小寺正徳,舟窪浩

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

Sc,Yb ドープ AlN 分極反転薄膜/高音速基板上の高次モードRSAW における結合係数増幅

高野佑成, 鈴木雅視, 垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

Ca3TaGa3Si2O14 圧電単結晶上のラブ波型 SH 波

鈴木涼人, 鈴木雅視, 垣尾省司, 木村悟利

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

水晶同種材料接合構造における縦型漏洩弾性表面波の伝搬・共振特性の解析

藤井雄大, 藤巻貴海, 鈴木雅視, 垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

極性反転 SiAlN/AlN 多層膜 HBAR の形成、評価と極性反転AlNFBAR の共振特性解析

関本淳, 鈴木雅視, 垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

水熱合成または高周波スパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3 膜の BAW・SAW 伝搬特性

吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, 伊東良晴,舘山明紀, 白石貴久, 舟窪浩, 若林剛, 柴田憲治

圧電材料・デバイスシンポジウム2022  2022.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

新規ランガサイト型圧電単結晶上のラブ波型SH波

鈴木涼人，鈴木雅視，垣尾省司，木村悟利

弾性波素子技術コンソーシアム第5回研究会  2021.11  弾性波素子技術コンソーシアム

Growth of polarity inverted SiAlN/AlN multilayered films and applications to high-order mode BAW resonators International conference

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021.10 

Deposition and Evaluation of Ta2O5 Piezoelectric Thin Film on Pt Crystal Film International conference

Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera, Hiroshi Funakubo

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021.10 

Analysis of longitudinal leaky SAW on quartz thin plate bonded to similar-material substrate International conference

Y. Fujii, T. Fujimaki, M. Suzuki, and S. Kakio

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021.10 

Theoretical analysis of Rayleigh SAW propagation characteristics on YbAlN films/ high velocity substrates International conference

Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021.10 

Enhancement of coupling factor K2 in higher-mode RSAW on polarity inverted ScAlN films/high velocity AlN or BN substrates International conference

Yusei Takano, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021.10 

Resonance Property of Shear-horizontal Surface Acoustic Wave on New Langasite-type Piezoelectric Single Crystal International conference

Ryoto Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Noritoshi Kimura

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021.10 

SAW Propagation Properties of (K,Na)NbO3 Films Deposited by Hydrothermal Synthesis or RF Sputtering International conference

Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi, Kenji Shibata

The 42nd Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2021.10 

Pt 結晶膜上の Ta2O5圧電薄膜の成膜と評価

松浦 佳祐，鈴木 雅視，垣尾 省司，小寺 正徳，舟窪 浩

第50回EMシンポジウム  2021.9  電気学会EM委員会

新規ランガサイト型圧電単結晶上のラブ波型 SH 波

鈴木 涼人，鈴木 雅視，垣尾 省司，木村 悟利

第50回EMシンポジウム  2021.9  電気学会EM委員会

水晶同種材料接合構造上の縦型漏洩弾性表面波の解析

藤井 雄大，藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第50回EMシンポジウム  2021.9  電気学会EM委員会

Polarity Control of (0001) Oriented AlN Films by Si Doping and Applications to Polarity Inverted SiAlN/AlN Film Bulk Acoustic Wave Resonators International conference

Jun Sekimoto, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2021.9  IEEE

Analysis of Higher-Order Mode Saw Propagation Characteristics on Polarity Inverted ScAlN Films / High Velocity III-V Nitride Substrate International conference

Yusei Takano, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2021.9  IEEE

Evaluation of BAW and SAW Properties of (K,Na)NbO3 Thin Films Deposited by RF Sputtering International conference

Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi, Kenji Shibata

2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2021.9  IEEE

水晶同種接合構造上の縦型漏洩弾性表面波の解析

藤井 雄大，藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021.9  応用物理学会

極性反転SiAlN/AlN多層膜の形成と高次モード薄膜音響共振子への応用

関本 淳、鈴木 雅視、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021.9  応用物理学会

極性反転ScAlN薄膜/高音速窒化物基板上の2次モードRSAW伝搬特性

高野 佑成、鈴木 雅視、垣尾 省司

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021.9  応用物理学会

水熱合成(K,Na)NbO3膜のSAW伝搬特性の評価

吉澤 宗眞、鈴木 雅視、垣尾 省司、伊東 良晴、舘山 明紀、舟窪 浩、若林 剛

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021.9  応用物理学会

Pt結晶膜上のTa2O5圧電薄膜の成膜とSAW伝搬特性の解析

松浦 佳祐、鈴木 雅視、垣尾 省司、小寺 正徳、舟窪 浩

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021.9  応用物理学会

新規ランガサイト型圧電単結晶上のラブ波型SH波の共振特性

鈴木 涼人、鈴木 雅視、垣尾 省司、木村 悟利

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021.9  応用物理学会

水晶同種材料接合構造上の縦型漏洩弾性表面波の解析

藤井 雄大，藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

弾性波素子技術コンソーシアム第4回研究会  2021.9  弾性波素子技術コンソーシアム

RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜のBAW・SAW特性

吉澤 宗眞、鈴木 雅視、垣尾 省司、伊東 良晴、舘山 明紀、舟窪 浩、若林 剛、柴田 憲治

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021.3 

Si添加による極性制御を用いた2層極性反転SiAlN/AlN膜音響共振子

関本 淳、鈴木 雅視、垣尾 省司

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021.3 

Pt結晶膜上へのTa2O5圧電薄膜の成膜と評価

松浦 佳祐、鈴木 雅視、垣尾 省司、小寺 正徳、舟窪 浩

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021.3 

LiNbO3や水晶を用いた同種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2021  2021.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

LiTaO3/水晶接合構造におけるリーキーSAW高調波の共振特性

浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，水野 潤

圧電材料・デバイスシンポジウム2021  2021.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

水熱合成 (K ,Na)NbO3膜の電気機械結合係数評価

吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, 伊東良晴, 伊東良晴, 舘山明紀, 舟窪浩, 若林剛

圧電材料・デバイスシンポジウム2021  2021.1  圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員会

Evaluation of Electromechanical Coupling Coefficients of Hydrothermally Synthesized (K,Na)NbO3 Films International conference

Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020.11 

Enhancement of leaky SAW harmonics excitation using bonded dissimilar material structures International conference

S. Asakawa, M. Suzuki，S. Kakio，A. Tezuka，and J. Mizuno

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020.11 

Shear-horizontal Surface Acoustic Wave on New Langasite-type Piezoelectric Single Crystal International conference

Shoji Kakio, Yusuke Takiguchi, Takuto Nakayama, Masashi Suzuki, Noritoshi Kimura

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020.11 

【Plenary Talk】High-performance surface acoustic wave devices using composite substrate structures Invited International conference Major achievement

Shoji Kakio

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020.11 

Analysis of leaky surface acoustic waves on quartz thin plates bonded to similar-material substrate International conference

T. Fujimaki, M. Suzuki, and S. Kakio

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020.11 

Enhancement of leaky SAW harmonics excitation using bonded dissimilar material structures International conference

S. Asakawa, M. Suzuki，S. Kakio，A. Tezuka，and J. Mizuno

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020.11 

Increase of electromechanical coupling coefficient in c-axis oriented AlN films by chromium doping at low concentrations International conference

Yusei Takano, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 41st Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2020.11 

同種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

弾性波素子技術コンソーシアム第1回研究会  2020.11  弾性波素子技術コンソーシアム

異種材料接合構造を用いたリーキーSAW高調波の強勢励振

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

弾性波素子技術コンソーシアム第1回研究会  2020.11  弾性波素子技術コンソーシアム

次世代インバータシステム用一方向性SAW フィルタの電気的特性

五箇繁善，綿田堅，今村圭吾，垣尾省司，和田圭二

第49回EMシンポジウム  2020.10  電気学会EM委員会

異種材料接合構造を用いたリーキーSAW高調波の強勢励振

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

第49回EMシンポジウム  2020.10  電気学会EM委員会

同種・異種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

第49回EMシンポジウム  2020.10  電気学会EM委員会

Cr ドープc 軸配向AlN 薄膜の圧電特性

髙野佑成，早川竜盛，鈴木雅視，垣尾省司

第49回EMシンポジウム  2020.10  電気学会EM委員会

水熱合成(K, Na)NbO3 膜のBAW・SAW 特性

吉澤宗眞，鈴木雅視，垣尾省司，伊東良晴，舘山明紀，舟窪浩，若林剛

第49回EMシンポジウム  2020.10  電気学会EM委員会

同種・異種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

電子情報通信学会・日本音響学会2020年度超音波研究会(US)  2020.9  電子情報通信学会・日本音響学会 超音波研究会(US)

LiTaO3/水晶接合構造上のリーキーSAW共振特性の周波数依存性

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

電子情報通信学会・日本音響学会2020年度超音波研究会(US)  2020.9  電子情報通信学会・日本音響学会 超音波研究会(US)

モード結合理論と等価回路解析法によるSAW共振子の解析

垣尾 省司

弾性波素子技術研究コンソーシアム 新学校シリーズ　弾性波素子技術　夏の学校  2020.9  弾性波素子技術コンソーシアム

LiTaO3と水晶の接合構造を用いたリーキーSAW共振子の高周波特性

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

2020年電子情報通信学会ソサイエティ大会  2020.9  電子情報通信学会

水晶を用いた同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

2020年電子情報通信学会ソサイエティ大会  2020.9  電子情報通信学会

Leaky SAW propagation properties on LiNbO3 thin plate bonded to similar-material substrate International conference

T. Fujimaki, M. Suzuki, and S. Kakio

2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2020.9  IEEE

水熱合成(K,Na)NbO3膜の電気機械結合係数の評価

吉澤 宗眞、鈴木 雅視、垣尾 省司、伊東 良晴、舘山 明紀、舟窪 浩、若林 剛

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020.9  応用物理学会

Resonance properties of leaky SAW harmonics on bonded dissimilar-material structures International conference

S. Asakawa, M. Suzuki, S. Kakio, A. Tezuka, and J. Mizuno

2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2020.9  IEEE

LiTaO3/水晶接合構造を用いたリーキーSAW高調波の強勢励振

浅川詩織, 鈴木雅視，垣尾省司，手塚彩水，水野潤

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020.9  応用物理学会

LiNbO3同種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性

藤巻貴海，鈴木雅視，垣尾省司

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020.9  応用物理学会

ScAlN圧電層/LiNbO3圧電基板での縦型リーキーSAW伝搬におけるオイラー角の検討

高野 佑成、鈴木 雅視、垣尾 省司

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020.9  応用物理学会

[講演奨励賞受賞記念講演] LiNbO3/SiO2/水晶構造におけるリーキーSAWの解析

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，水野 潤

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020.3 

異種材料接合構造上のリーキーSAW高調波の共振特性

浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，水野 潤

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020.3 

LiTaO3・LiNbO3薄板を用いた同種材料接合構造における縦型リーキーSAWの解析

藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020.3 

Crドープがｃ軸配向AlN薄膜の結晶配向性と電気機械結合係数に及ぼす影響

高野 佑成，早川 竜盛，鈴木 雅視，垣尾 省司

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020.3 

新規ランガサイト型圧電単結晶におけるラブ波型SH波の解析

垣尾 省司，滝口 侑介，鈴木 雅視，木村 悟利

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020.3 

RFマグネトロンスパッタ法により形成したc軸配向CrAlN 膜の電気機械結合係数評価

高野 佑成，早川 竜盛，鈴木 雅視，垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2020  2020.1 

同種材料接合構造におけるリーキーSAW の解析

藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2020  2020.1 

異種材料接合構造における SAW 高調波の振る舞い

浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，水野 潤

圧電材料・デバイスシンポジウム2020  2020.1 

ランガサイト型圧電単結晶上のラブ波型SH波の伝搬特性解析

垣尾 省司，滝口 侑介，鈴木 雅視，木村 悟利

EMデバイス・システムの先端技術ならびに応用技術調査専門委員会技術報告会  2019.12 

Power transmission characteristics of EWC-SPUDT SAW filter for inverter gate drive circuit International conference

Ken Watada, Fumiya Kobayashi, Ryo Nonaka, Shigeyoshi Goka, Shoji Kakio, Keiji Wada

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019.11 

Analysis of longitudinal leaky SAW on LiNbO3/amorphous layer/quartz structure International conference

Shiori Asakawa, Junki Hayashi, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019.11 

Piezoelectric characteristics of c-axis oriented CrAlN films grown by RF magnetron sputtering International conference

Yusei Takano, Ryusei Hayakawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019.11 

Theoretical analysis of leaky SAW propagation characteristics on ScAlN film/quartz International conference

Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019.11 

Analysis of leaky surface acoustic waves on similar-material bonded structure International conference

Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019.11 

Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded LiTaO3/quartz bonded structure International conference

Shoji Kakio, Yoshiki Kato, Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, Jun Mizuno

The 40th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2019.11 

Electromechanical coupling coefficient Kt2 of Cr doped AlN films grown by sputtering deposition International conference

Masashi Suzuki, Shoji Kakio

2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2019.10  IEEE

Analysis of longitudinal leaky SAW on LiNbO3/amorphous layer/quartz structure International conference

Shiori Asakawa, Junki Hayashi, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2019.10  IEEE

LiNbO3/SiO2/水晶構造におけるリーキーSAWの解析

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，水野 潤

第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019.9  応用物理学会

LiNbO3同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析

藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019.9  応用物理学会

ScAlN薄膜/回転Yカット水晶基板上LSAWにおける最適構造探索

鈴木 雅視，垣尾 省司

第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019.9  応用物理学会

リーキー系SAW伝搬解析と高性能異種材料接合基板構造への適用

垣尾 省司

日本学術振興会　弾性波素子技術第150委員会 新学校シリーズ　弾性波素子技術　夏の学校  2019.9  独立行政法人日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会

水負荷 LiTaO3/水晶接合構造上の漏洩弾性表面波の伝搬特性

垣尾 省司，加藤 良基，末永 凌大，鈴木 雅視，手塚 彩水，桑江 博之，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤， “

第48回EMシンポジウム  2019.6 

ScAlN 圧電層/水晶基板上を伝搬する SAW 特性理論解析

鈴木 雅視，垣尾 省司

第48回EMシンポジウム  2019.6 

LiNbO3/アモルファス層/水晶構造における縦型リーキーSAW の解析

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第48回EMシンポジウム  2019.6 

同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析

藤巻 貴海，鈴木 雅視，垣尾 省司

第48回EMシンポジウム  2019.6 

LiTaO3 薄板と水晶基板の接合によるリーキー系弾性表面波の高結合・高安定化

垣尾 省司，林 純貴，浅川 詩織，鈴木 雅視，手塚 彩水，桑江 博之，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第156回研究会  2019.4  日本学術振興会

リーキー系SAW伝搬解析と高性能異種材料接合基板構造への適用

垣尾 省司

日本学術振興会　弾性波素子技術第150委員会 新学校シリーズ　弾性波素子技術　春の学校  2019.3  独立行政法人日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会

同種材料接合を用いたLiNbO3光導波路の作製

垣尾 省司，望月 翔太，波切 堅太郎，藤巻 貴海，鈴木 雅視，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019.3 

ScAlN薄膜/水晶基板上縦型リーキーSAWの伝搬減衰に速い横波，遅い横波成分が及ぼす影響の理論的検討

鈴木 雅視，垣尾 省司

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019.3 

LiTaO3/アモルファス層/水晶構造における縦型リーキーSAWの解析

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019.3 

[講演奨励賞受賞記念講演] 縦型リーキーSAWを用いたチャネル光導波路型音響光学変調素子

波切 堅太郎，鈴木 雅視，垣尾 省司

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019.3 

水負荷LiTaO3/水晶接合構造上の漏洩弾性表面波の伝搬特性

垣尾 省司，加藤 良基，末永 凌大，鈴木 雅視，手塚 彩水，桑江 博之，横田 裕章，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第66回応用物理学会春季学術講演会  2019.3 

異種材料接合による弾性表面波素子の高性能化

垣尾省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2019  2019.1 

LiNbO3薄板接合構造上の縦型リーキー弾性表面波を用いた音響光学変調素子

波切堅太郎,鈴木雅視,垣尾省司

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018.12 

LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW特性の解析－支持基板の物理定数依存性－

林 純貴，浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018.12 

LiTaO3/水晶構造における縦型リーキーSAW共振特性

浅川 詩織，林 純貴，鈴木 雅視，垣尾 省司，手塚 彩水，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018.12 

RFマグネトロンスパッタ法で形成したCr添加AlN膜の圧電特性

鈴木 雅視，早川 竜盛，垣尾 省司

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018.12 

圧電基板上に装荷したSiO2薄膜の直線集束ビーム超音波材料解析システムによる評価

末永凌大,鈴木雅視,垣尾省司,大橋雄二,荒川元孝,櫛引淳一

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018.12 

SAWフィルタを用いたインバータ用ゲート駆動システムにおける電力伝送方式の検証

野中　凌,五箇繁善,垣尾省司,和田圭二

電子回路研究会「圧電材料・デバイスと応用」  2018.12 

Theoretical analysis of longitudinal wave leaky SAW propagation characteristics on ScAlN film/Quartz or Sapphire substrate International conference

Masashi Suzuki, Naoya Sawada, and Shoji Kakio

The 39th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2018.10 

Evaluation of SiO2 Thin Film on Piezoelectric Substrate by the Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System International conference

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa, and Jun-ichi Kushibiki

The 39th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2018.10 

Acousto-Optic Modulators Driven by Longitudinal Leaky Surface Acoustic Waves on LiNbO3 Thin-Plate Bonded Structures International conference

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

The 39th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2018.10 

Longitudinal Leaky SAW with Low Attenuation on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate International conference

J. Hayashi, K. Yamaya, S. Asakawa, M. Suzuki, S. Kakio, A. Tezuka, H. Kuwae, T. Yonai, K. Kishida, and J. Mizuno

The 39th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2018.10 

Evaluation of Piezoelectric Ta2O5 Thin Films Using Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System International conference

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa, and Jun-ichi Kushibiki

2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2018.10 

Theoretical analysis and design of longitudinal leaky SAW device consisting of ScAlN film / piezoelectric single crystal substrate International conference

Masashi Suzuki and Shoji Kakio

2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2018.10 

Acousto-Optic Modulator Driven by Longitudinal Leaky Surface Acoustic Waves on Bonded Structures International conference

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2018.10 

Longitudinal Leaky Surface Acoustic Wave with Low Attenuation on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate International conference

J. Hayashi, K. Yamaya, S. Asakawa, M. Suzuki, S. Kakio, H. Kuwae, T. Yonai, K. Kishida, and J. Mizuno

2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2018.10 

導波路型音響光学変調器を用いた光子アハラノフ・ボーム効果の観測

平松 裕也，鈴木 雅視，垣尾 省司

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018.9 

SiO2被膜によるトランスバーサル型SAWフィルタの絶縁性能向上

市川 佑樹，五箇 繁善，垣尾 省司，綿田 堅，野中 凌，和田 圭二

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018.9 

LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW特性の解析－支持基板の物理定数依存性－

林 純貴，浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018.9 

LiTaO3/水晶構造における縦型リーキーSAW共振特性の解析　―スプリアス応答の電極膜厚依存性―

浅川 詩織，林 純貴，山谷 浩介，鈴木 雅視，垣尾 省司，須崎 遥，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018.9 

ScAlN薄膜/水晶基板上を伝搬する縦型リーキーSAWに水晶カット角とSAW伝搬方向が及ぼす影響

鈴木 雅視，澤田 直弥，垣尾 省司

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018.9 

スパッタ成膜法によるc軸配向CrAlN薄膜の形成と電気機械結合係数kt2評価

鈴木 雅視，早川 竜盛，垣尾 省司

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018.9 

LN/水晶接合構造上の縦型リーキーSAWを用いた音響光学変調素子

波切 堅太郎，鈴木 雅視，垣尾 省司

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018.9 

直線集束ビーム超音波材料解析システムによるSiO2薄膜装荷36°YカットLiTaO3の評価

末永 凌大，鈴木 雅視，垣尾 省司，大橋 雄二，荒川 元孝，櫛引 淳一

第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018.9 

縦型リーキー弾性表面波を用いた音響光学変調素子

波切 堅太郎，鈴木 雅視，垣尾 省司

第47回EMシンポジウム  2018.6 

LiNbO3・LiTaO3 薄板と水晶基板の接合による縦型リーキー弾性表面波の低損失化

林 純貴，山谷 浩介，浅川 詩織，鈴木 雅視，垣尾 省司，桑江 博之，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

第47回EMシンポジウム  2018.6 

直線集束ビーム超音波材料解析システムによる圧電性 Ta2O5薄膜の評価

末永 凌大，鈴木 雅視，垣尾 省司，大橋 雄二，荒川 元孝，櫛引 淳一

第47回EMシンポジウム  2018.6 

LiTaO3 薄板と水晶基板の接合によるリーキー系弾性表面波の高結合・高安定化

林 純貴，山谷 浩介，鈴木 雅視，垣尾 省司，須崎 遥，米内 敏文，岸田 和人，水野 潤

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第152回研究会  2018.5  日本学術振興会

High coupling and highly stable leaky SAWs on LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate Invited International conference

Seventh International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems  2018.3 

LiTaO3薄板と水晶基板の接合による縦型リーキー系弾性表面波の高結合・高安定化

林純貴，山谷浩介，鈴木雅視，垣尾省司，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

圧電材料・デバイスシンポジウム2018  2018.2 

Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded piezoelectric substrate International conference

Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa, and Jun-ichi Kushibiki

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017.10 

Acousto-optic Bragg diffraction using longitudinal-type leaky SAW International conference

Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017.10 

Acousto-optic and electro-optic modulators for photonic Aharonov–Bohm effect International conference

Yuya Hiramatsu, Masashi Suzuki, and Shoji Kakio

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017.10 

Theoretical analysis of longitudinal-type leaky surface acoustic wave on LiNbO3 with oriented ScAlN film International conference

Masashi Suzuki, Masashi Gomi, and Shoji Kakio

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017.10 

High coupling and highly stable leaky SAWs on LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate International conference

Junki Hayashi, Kosuke Yamaya, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Haruka Suzaki, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, and Jun Mizuno

The 38th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2017.10 

High-coupling leaky SAWs on LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate International conference

2017 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  2017.9 

縦型漏洩弾性表面波を用いた音響光学ブラッグ回折

波切堅太郎，鈴木雅視，垣尾省司

第78回応用物理学会秋季学術講演会  2017.9 

ScAlN薄膜/LiNbO3基板における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析

鈴木雅視，垣尾省司

第78回応用物理学会秋季学術講演会  2017.9 

水負荷圧電基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性

末永凌大，鈴木雅視，垣尾省司，大橋雄二，荒川元孝，櫛引淳一

第78回応用物理学会秋季学術講演会  2017.9 

LiNbO3薄板/水晶基板上の縦型リーキー弾性表面波の伝搬特性，” 第78回応用物理学会秋季学術講演会

林純貴，山谷浩介，鈴木雅視，垣尾省司，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

第78回応用物理学会秋季学術講演会  2017.9 

LiNbO3・LiTaO3薄板と高音速基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

垣尾省司，五味将史，林純貴，鈴木雅視，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

第46回EMシンポジウム  2017.6 

LiNbO3・LiTaO3薄板と水晶基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

垣尾省司，五味将史，林純貴，鈴木雅視，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第148回研究会  2017.5  日本学術振興会

LN/サファイア接合構造上の縦型リーキーSAWを用いた音響光学変調素子

波切堅太郎，鈴木雅視，垣尾省司

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017.3 

LiNbO3・LiTaO3薄板/水晶基板における縦型リーキーSAW特性の基板カット角依存性

山谷浩介，林純貴，鈴木雅視，垣尾省司，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017.3 

ScAlN薄膜/水晶基板またはサファイア基板構造における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析

澤田直弥，鈴木雅視，垣尾 省司

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017.3 

直線集束ビーム超音波材料解析システムによる圧電性Ta2O5薄膜の評価

末永凌大，鈴木雅視，垣尾省司，大橋雄二，荒川元孝，櫛引淳一

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017.3 

LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW 共振特性の界面ボイドによる影響

林純貴，山谷浩介，鈴木雅視，垣尾省司，須崎遥，米内敏文，岸田和人，水野潤

第65回応用物理学会春季学術講演会  2017.3 

LiTaO3薄板と水晶基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

垣尾 省司，五味 将史，林 純貴, 須崎 遥, 米内 敏文, 岸田 和人, 水野 潤

第64回応用物理学会春季学術講演会  2017.3 

圧電薄板と高音速基板の接合によるリーキー系弾性表面波の高結合化

五味 将史，片岡 拓哉，林 純貴，垣尾 省司

圧電材料・デバイスシンポジウム2017  2017.2 

SAWデバイスを用いた3レベルインバータシステムの検証

小林 史弥、久保 慶太、五箇 繁善、和田 圭二、垣尾 省司

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第147回研究会  2017.1  日本学術振興会

SAWフィルタを用いた３レベルインバータシステムの検証

小林 史弥、久保 慶太、五箇 繁善、和田 圭二、垣尾 省司

平成28年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会，超精密周波数計測，比較を目指す未来型回路技術調査専門委員会合同委員会』技術報告  2016.12 

圧電薄板と高音速基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

垣尾 省司，五味 将史，片岡 拓哉，林 純貴

平成28年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会，超精密周波数計測，比較を目指す未来型回路技術調査専門委員会合同委員会』技術報告  2016.12 

Three-level inverter system based on multiplex transmission using surface acoustic wave filters International conference

Keita Kubo, Nanae Kanai, Fumiya Kobayashi, Shigeyoshi Goka, Keiji Wada, Shoji Kakio

The 37th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2016.11 

Evaluation of Piezoelectric Ta2O5 Thin Films Deposited on SrTiO3 Substrates International conference

Yu Sugaya, Shoji Kakio

The 37th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2016.11 

High-coupling leaky SAWs on LiNbO3 or LiTaO3 thin plate bonded to high-velocity substrate International conference

Masashi Gomi, Takuya Kataoka, Junki Hayashi, and Shoji Kakio

The 37th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2016.11 

SAWフィルタを用いた多重通信システムの単相3レベルインバータへの適用

久保 慶太、金井 七重、小林 史弥、五箇 繁善、和田 圭二、垣尾 省司

第77 回応用物理学会秋季学術講演会  2016.9 

LiNbO3・LiTaO3薄板と高音速基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

五味 将史，片岡 拓哉，林 純貴，垣尾 省司

第77回応用物理学会秋季学術講演会  2016.9 

チタン酸ストロンチウム基板上への圧電性Ta2O5 薄膜の成膜と評価

菅谷 悠， 垣尾 省司

第77 回応用物理学会秋季学術講演会  2016.9 

ScAlN/回転Y-X LiTaO3構造におけるリーキーSAWの理論解析

垣尾 省司，勝谷 信介，保坂 桂子

第77 回応用物理学会秋季学術講演会  2016.9 

SAWフィルタを用 いた多重通信システムのブリッジインバーへ適用

久保 慶太 ，上田 健介 ，鈴木 陽文 ，五箇 繁善 ，和田 圭二 ，垣 尾 省司

第45回EMシンポジウム  2016.6 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司，勝谷 信介，保坂 桂子

第45回EMシンポジウム  2016.6 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司，勝谷 信介，保坂 桂子

日本学術振興会　弾性波技術第150委員会　第144回研究会  2016.5  日本学術振興会

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― LiTaO3基板への適用 ―

垣尾 省司,勝谷 信介,保坂 桂子

第63回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集  2016.3 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,保坂 桂子

圧電材料・デバイスシンポジウム2016予稿集  2016.2 

Loss reduction of longitudinal-type leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film

Sixth International Symposium on Acoustic Wave Devices　for Future Mobile Communication Systems  2015.11 

Loss reduction of leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film

Proc. of The 36th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2015.11 

Loss reduction of longitudinal-type leaky surface acoustic wave by loading with ScAlN thin film

Proc. of The 36th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2015.11 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,保坂 桂子

平成27年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会』技術報告  2015.10 

ScAlN 薄膜装荷による縦型リーキー弾性表面波の低損失化

五味 将史,垣尾 省司

平成27年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会』技術報告  2015.10 

高周波スパッタリング法によるTa2O5圧電薄膜の作製と強誘電特性の評価

菅谷　悠,垣尾 省司

平成27年度第2回『EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会』技術報告  2015.10 

Loss reduction of leaky surface acoustic wave by loading with high-velocity thin film

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium  2015.10 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,保坂 桂子

日本音響学会2015年秋季研究発表会講演論文集  2015.9 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― 回転YカットLiNbO3におけるカット角依存性 ―

垣尾 省司,保坂 桂子

第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集  2015.9 

ScAlN 薄膜装荷による縦型リーキー弾性表面波の低損失化

五味 将史,垣尾 省司

第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集  2015.9 

アモルファスTa2O5 薄膜装荷Y-X LiTaO3 上のラブ波型弾性表面波

垣尾 省司,深沢 遼,保坂 桂子

第44回EMシンポジウム  2015.6 

高音速薄膜装荷による縦型漏洩弾性表面波の低損失化

松倉 史弥,垣尾 省司

第43回EMシンポジウム  2015.6 

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化

垣尾 省司,保坂 桂子

第62回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集  2015.3 

アモルファスTa2O5薄膜装荷Y-X LiTaO3上のラブ波型弾性表面波

垣尾 省司,深沢 遼,保坂 桂子

圧電材料・デバイスシンポジウム2015予稿集  2015.2 

Love-type surface acoustic wave on Y-X LiTaO3 with amorphous Ta2O5 thin film

Proc. of The 35th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS  2014.12 

アモルファスTa2O5薄膜装荷Y-X LiTaO3上のラブ波型弾性表面波

垣尾 省司,深沢 遼,保坂 桂子

第75回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集  2014.9 

アモルファスTa2O5薄膜装荷Y-X LiTaO3上のラブ波型弾性表面波

垣尾 省司,深沢 遼,保坂 桂子

日本音響学会2014年秋季研究発表会講演論文集  2014.9