経歴
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山梨大学 助教
2017年2月 - 現在
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株式会社 日立製作所 日立中央研究所
2016年4月 - 現在
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早稲田大学 理工学術院 研究院助教
2015年12月 - 現在
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早稲田大学 理工学術院 客員次席研究員
2015年5月 - 現在
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名古屋工業大学 研究員
2015年4月 - 現在
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日本学術振興会 特別研究員(DC2)
2013年4月 - 現在
学歴
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名古屋工業大学 工学研究科 機能工学専攻
- 2015年3月
国名： 日本国
課程： 博士後期
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名古屋工業大学 工学研究科 機能工学専攻
- 2012年3月
国名： 日本国
課程： 博士前期
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名古屋工業大学 工学部 機械工学科
- 2010年3月
国名： 日本国
学位
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博士（工学） （ 2015年3月 名古屋工業大学 ）
研究分野
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ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器
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ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電気電子材料工学
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ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性
研究キーワード
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イオンビームによる配向制御
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圧電薄膜
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弾性波デバイス
研究テーマ
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イオンビームアシスト成膜法による薄膜配向制御
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高機能圧電薄膜の開発と弾性波デバイスへの応用
共同研究・競争的資金等の研究
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分極反転構造巨大圧電性他元素ドープAlN薄膜の創成と高周波弾性波フィルタへの応用
2022年4月 - 2025年3月
若手研究
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他元素添加AlN膜/層構造基板による縦型漏洩SAWの高性能化と高周波フィルタ応用
2019年4月 - 2022年3月
若手研究
担当区分：研究代表者 資金の種類：科学研究費補助金
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巨大圧電性希土類AlN膜の配向制御と次世代高周波弾性表面波フィルタへの応用
2017年8月 - 2019年3月
研究活動スタート支援
担当区分：研究代表者 資金の種類：科学研究費補助金
（研究代表者）
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周期的空隙を有する接合構造による擬似板波の励振と高周波・広帯域フィルタへの応用
2023年4月 - 2026年3月
基盤研究(B)
担当区分：研究分担者 資金種別：競争的資金 資金の種類：科学研究費補助金
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2022年4月 - 2024年3月
旭硝子財団 研究奨励プログラム
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2020年10月 - 2022年9月
公益財団法人 泉科学技術振興財団 2020年度研究助成
担当区分：研究代表者 資金の種類：奨学寄附金
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異種材料接合を用いた弾性表面波高調波強勢励振と次世代超高周波フィルタへの応用
2020年4月 - 2023年3月
基盤B
担当区分：研究分担者 資金の種類：科学研究費補助金
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2019年12月 - 2020年12月
公益財団法人カシオ科学振興財団
担当区分：研究代表者 資金の種類：奨学寄附金
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GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
2019年4月 - 2022年3月
基盤研究(B)
担当区分：研究分担者 資金の種類：科学研究費補助金
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2019年4月 - 2021年3月
公益財団法人 稲盛財団 2019年度稲盛研究助成
担当区分：研究代表者 資金の種類：奨学寄附金
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2019年4月 - 2020年3月
公益信託小野音響学研究助成基金 H31年度研究助成
担当区分：研究代表者 資金の種類：奨学寄附金
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2019年4月 - 2020年3月
公益財団法人電気通信普及財団 2018年度研究調査助成
担当区分：研究代表者 資金の種類：奨学寄附金
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2018年4月 - 2019年3月
公益財団法人 池谷科学技術振興財団 2018年度研究助成
担当区分：研究代表者 資金の種類：奨学寄附金
（研究代表者）
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2018年4月 - 2019年3月
公益財団法人 日本板硝子材料工学助成会 平成３０年度研究助成
担当区分：研究代表者 資金の種類：奨学寄附金
（研究代表者）
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異種材料接合による縦型リーキー弾性表面波の高結合化と次世代高周波フィルタへの応用
2017年4月 - 2020年3月
基盤研究(B)
垣尾省司、水野 潤
担当区分：研究分担者 資金の種類：科学研究費補助金
（研究分担者）
論文
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Analysis of Sezawa mode Rayleigh-type SAWs on ScAlN film/floated electrode layer/ScAlN film/high velocity substrates 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2024年2月( ISSN：0021-4922 )
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Resonance analysis of longitudinal leaky surface acoustic wave third harmonic on LiNbO3/quartz bonded structure 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2024年2月( ISSN：0021-4922 )
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Resonance Properties of Leaky SAW Higher Harmonics on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate 査読
2023 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings 2023年9月
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Suppression of Spurious Propagation Modes on Plate Waves and SAWs Using Divided Piezoelectric Thin Plates 査読
2023 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings 2023年9月
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Analysis of SAW Propagation Properties on Piezoelectric Substrate with Periodic Voids 査読
2023 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings 2023年9月
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High Overtone Mode Solid Mounted Resonators with Polarity Inverted Multilayered SiAlN/AlN Films 査読
2023 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings 2023年9月
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Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定
IEICE Technical Report 2023年7月
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Analysis of surface acoustic wave resonance properties on piezoelectric substrates with periodic voids 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2023年7月( ISSN：0021-4922 )
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Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on piezoelectric thin plates bonded to diamond substrate 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2023年7月( ISSN：0021-4922 )
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High-order mode solid mounted resonators with polarity inverted multilayered GeAlN/AlN films 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2023年7月( ISSN：0021-4922 )
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Characteristics of c-axis oriented GeAlN films and applications to higher-order mode BAW resonators 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2023年7月( ISSN：0021-4922 )
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Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on bonded structures consisting of similar and dissimilar materials 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2023年7月( ISSN：0021-4922 )
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Resonance properties of shear-horizontal surface acoustic waves on Ca3TaGa3Si2O14 at room and high temperatures 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2023年7月( ISSN：0021-4922 )
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Analysis of Longitudinal Leaky SAWs on Bonded Structures Consisting of Similar and Dissimilar Materials 査読
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium proceedings 2022年10月
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Deposition and Evaluation of Highly Crystallized Ta2O5 Piezoelectric Thin Film on Pt Crystal Film 査読
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium proceedings 2022年10月
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High-order mode bulk acoustic wave resonators based on polarity-inverted SiAlN/AlN multilayered films for high-frequency operation 査読
Jun sekimoto, Masashi Suzuki, Shoji Kakio
APPLIED PHYSICS LETTERS 2022年10月( ISSN：0003-6951 )
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分極反転ScAlN薄膜/高音速AlN，w-BN基板上を伝搬する高次モードRSAWの結合係数K2増大 招待
鈴木雅視、髙野佑成、垣尾省司
超音波TECHNO 2022年8月
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Analysis of propagation characteristics of Rayleigh surface acoustic waves on Yb0.33Al0.67N piezoelectric films/high-velocity substrates 査読
Masashi Suzuki, Shoji Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2022年7月( ISSN：0021-4922 )
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Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on quartz thin plate bonded to similar-material substrate 査読
Yudai Fujii, Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2022年7月( ISSN：0021-4922 )
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Evaluation of bulk and surface acoustic waves propagation properties of (K, Na) NbO3 films deposited by hydrothermal synthesis or RF magnetron sputtering methods 査読
Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Takahisa Shiraishi, Hiroshi FUNAKUBO, Tsuyoshi Wakabayashi, Kenji Shibata
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2022年7月( ISSN：0021-4922 )
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Enhancement of coupling factor in 0th to 4th mode Rayleigh surface acoustic waves on polarity inverted multilayered ScAlN film/AlN and BN substrates 査読
Yusei Takano, Masashi Suzuki, Shoji Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2022年7月( ISSN：0021-4922 )
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Deposition and evaluation of Ta2O5 piezoelectric thin film on Pt crystal film 査読
K Matsuura, M Suzuki, S Kakio, M Kodera, H Funakubo
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2022年7月( ISSN：0021-4922 )
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Enhanced Electromechanical Coupling in Yb-Substituted III–V Nitride Alloys 査読
Junjun Jia, Naoya Iwata, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
ACS Applied Electronic Materials 2022年6月
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Shear-Horizontal Surface Acoustic Wave on Ca3TaGa3Si2O14 Piezoelectric Single Crystal 査読
Ryoto Suzuki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Noritoshi Kimura
2022 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium 2022年4月
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Experimental and theoretical investigation of kt2 and velocity in YbGaN films by DFT 査読
Y Koike, J Jia, M Suzuki, T Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium proceedings 2021年9月
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Analysis of higher-order mode SAW propagation characteristics on polarity inverted ScAlN films/high velocity III-V nitride substrate 査読
Y Takano, M Suzuki, S Kakio
IEEE International Ultrasonics Symposium proceedings 2021年9月
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Evaluation of BAW and SAW Properties of (K, Na)NbO3 Thin Films Deposited by RF Sputtering 査読
Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi, Kenji Shibata
IEEE International Ultrasonics Symposium proceedings 2021年9月
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Polarity control of (0001) oriented AlN films by Si doping and applications to polarity inverted SiAlN/AlN film bulk acoustic wave resonators 査読
J Sekimoto, M Suzuki, S Kakio
IEEE International Ultrasonics Symposium proceedings 2021年9月
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RFマグネトロンスパッタ法によるc軸配向CrAlN膜の形成と圧電特性評価 招待
鈴木雅視、髙野佑成、垣尾省司
超音波TECHNO 2021年8月
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Analysis of leaky surface acoustic waves on quartz thin plates bonded to similar-material substratedissimilar-material structures 査読 重要な業績
T Fujimaki, M Suzuki, S Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2021年4月( ISSN：0021-4922 )
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Increase of electromechanical coupling coefficient kt 2 in (0001)-oriented AlN films by chromium doping 査読 重要な業績
Y Takano, R Hayakawa, M Suzuki, S Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2021年4月( ISSN：0021-4922 )
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Enhancement of leaky surface acoustic wave harmonics excitation using bonded dissimilar-material structures 査読 重要な業績
S Asakawa, M Suzuki, S Kakio, A Tezuka, J Mizuno
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2021年4月( ISSN：0021-4922 )
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Leaky SAW Propagation Properties on LiNbO3 Thin Plate Bonded to Similar-Material Substrate 査読
Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium 2020年9月
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Resonance Properties of Leaky SAW Harmonics on Bonded Dissimilar-Material Structures 査読
Shiori Asakawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Jun Mizuno
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium 2020年9月
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Experimental and theoretical investigation of kt2and mechanical quality factor Qm in YbAlN films using DFT 査読
Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium 2020年9月
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Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on LiNbO3/amorphous layer/quartz structure 査読
Shiori Asakawa, Junki Hayashi, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, Jun Mizuno
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2020年5月( ISSN：0021-4922 )
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Analysis of leaky surface acoustic wave characteristics propagating on high piezoelectric ScAlN film/high velocity quartz substrate 査読
Masashi Suzuki, Shoji Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2020年4月( ISSN：0021-4922 )
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Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded LiTaO3/quartz bonded structure 査読
Shoji Kakio, Yoshiki Kato, Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Ami Tezuka, Hiroyuki Kuwae, Hiroaki Yokota, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida, Jun Mizuno
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2020年4月( ISSN：0021-4922 )
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Analysis of leaky surface acoustic waves on LiNbO3 or LiTaO3 thin plate bonded to similar-material substrates 査読
Takumi Fujimaki, Masashi Suzuki, Shoji Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2020年4月( ISSN：0021-4922 )
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Analysis of Longitudinal Leaky SAW on LiNbO3/amorphous Layer/quartz Structure 査読
2019 IEEE Ultrasonics symposium proceedings 2019年10月
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Electromechanical Coupling Coefficient Kt2 of Cr Doped AlN Films Grown by Sputtering Deposition 査読
2019 IEEE Ultrasonics symposium proceedings 2019年10月
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Longitudinal leaky surface acoustic wave with low attenuation on LiTaO3 or LiNbO3 thin plate bonded to quartz substrate 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58 ( SG ) 2019年7月( ISSN：0021-4922 )
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Acousto-optic modulators driven by longitudinal leaky surface acoustic waves on LiNbO3 thin-plate bonded structures 査読
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58 ( SG ) 2019年7月( ISSN：0021-4922 )
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Analysis of longitudinal leaky surface acoustic wave propagation characteristics on a piezoelectric ScAlN layer/sapphire or quartz substrate 査読 重要な業績
Japanese Journal of Applied Physics 2019年6月
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Evaluation of SiO2 Thin films on piezoelectric substrates using line-focus-beam ultrasonic material characterization system 査読
Japanese Journal of Applied Physics 2019年6月
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LiNbO3薄板接合構造上の縦型リーキー弾性表面波を用いた音響光学変調素子
電気学会研究会資料・電気回路研究会 2018年12月
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圧電基板上に装荷したSiO2薄膜の直線集束ビーム超音波材料解析システムによる評価
電気学会研究会資料・電気回路研究会 2018年12月
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RFマグネトロンスパッタ法で形成したCr添加AlN膜の圧電特性
電気学会研究会資料・電気回路研究会 2018年12月
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LiTaO3/水晶構造における縦型リーキーSAWの共振特性
電気学会研究会資料・電気回路研究会 2018年12月
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LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW特性の解析―支持基板の物理定数依存性―
電気学会研究会資料・電気回路研究会 2018年12月
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Evaluation of Piezoelectric Ta2O5 Thin Films Using Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System 査読
R. Suenaga, M. Suzuki, S. Kakio, Y. Ohashi, M. Arakawa, J. Kushibiki
Proceedings 2018 IEEE Ultrasonics symposium 2018年10月
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Theoretical analysis and design of longitudinal leaky SAW device consisting of ScAlN film / piezoelectric single crystal 査読
Masashi Suzuki and Shoji Kakio
Proceedings 2018 IEEE Ultrasonics symposium 2018年10月
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Acousto-Optic Modulators Driven by Longitudinal Leaky Surface Acoustic Waves on Bonded Structures 査読
K. Hakiri, M. Suzuki, S. Kakio.
Proceedings 2018 IEEE Ultrasonics symposium 2018年10月
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Longitudinal Leaky Surface Acoustic Wave with Low Attenuation on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate 査読
J. Hayashi, K. Yamaya, S. Asakawa, M. Suzuki, S. Kakio, H. Kuwae, T. Yonai, K. Kishida, J. Mizuno
Proceedings 2018 IEEE Ultrasonics symposium 2018年10月
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Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators 査読
H. Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, N. Hiroshiba, T. Yanagitani
Proceedings 2018 IEEE Ultrasonics symposium 2018年10月
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Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer 査読
Masahiko Kawabe, Shinji Takayanagi, Hayato Ichihashi, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani and Mami Matsukawa
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 2018年7月( ISSN：0885-3010 )
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High coupling and highly stable leaky surface acoustic waves on LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate 査読
Junki Hayashi, Kosuke Yamaya, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Haruka Suzaki, Toshifumi Yonai, Kazuhito Kishida and Jun Mizuno
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57 ( 7S1 ) 07LD21 2018年6月( ISSN：0021-4922 )
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Propagation properties of leaky surface acoustic wave on water-loaded piezoelectric substrate 査読
Ryota Suenaga, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yuji Ohashi, Mototaka Arakawa and Jun-ichi Kushibiki
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57 ( 7S1 ) 07LC10 2018年6月( ISSN：0021-4922 )
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Double-diffraction waveguide-type acousto-optic modulator with interchangeable input and output ports
Yuya Hiramatsu, Masashi Suzuki and Shoji Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57 ( 7S1 ) 07LD16 2018年6月( ISSN：0021-4922 )
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Propagation characteristics of longitudinal-type leaky surface acoustic wave on layered structure consisting of ScxAl1-xN film / LiNbO3 substrate 査読 重要な業績
Masashi Suzuki, Masashi Gomi, and Shoji Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57 ( 7S1 ) 07LD06-1 - 07LD06-7 2018年4月
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Acousto-optic Bragg diffraction using longitudinal leaky surface acoustic wave 査読
Kentaro Hakiri, Masashi Suzuki and Shoji Kakio
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57 ( 7S1 ) 07LD01 2018年4月( ISSN：0021-4922 )
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Acoustic wave velocities and refractive indices in an m-plane GaN single crystal plate and c-axis oriented ScAlN films measured by Brillouin scattering tecnique 査読
1. H．Ichihashi,T. Yanagitani, M. Suzuki, S．Takayanagi, M．kawabe, S．Tomita and M．Matsukawa
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 2016年3月( ISSN：0885-3010 )
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非破壊検査用の高分解能超音波プローブ
柳谷隆彦, 鈴木雅視, 高柳真司
日本音響学会誌 2015年5月
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Fast wave velocity measurement by brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film
Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, and Mami Matsukawa
Proc. 2015 IEEE Ultrason. Symp. 2015年
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Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary 査読
Takahiko Yanagitani and Masashi Suzuki
Applied Physics Letters 2014年9月
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Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators
Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani, and Hiroyuki Odagawa
Applied Physics Letters 2014年5月
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Enhanced piezoelectricity in YbGaN films near phase boundary
Takahiko Yanagitani and Masashi Suzuki
Applied Physics Letters 2014年2月
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Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-brillouin scattering technique
4. Hayato Ichihashi, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, and Mami Matsukawa
Proc. 2014 IEEE Ultrason. Symp. 2014年
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Significant shear mode softening in a c-axis tilt nanostructured hexagonal thin film induced by a self-shadowing effect
Takahiko Yanagitani and Masashi Suzuki,
Scripta Materialia 2013年8月
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c軸平行配向AIN薄膜を用いた極性反転すべり共振子
鈴木雅視, 柳谷隆彦
超音波TECHNO 2012年1月
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Polarization inverted (0001)/(000-1) ScAIN film resonators operating in second overtone mode
Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani,
Proc. 2012 IEEE Ultrason. Symp. 2012年
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c-axis parallel oriented A1N film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering
Masashi Suzuki and Takahiko Yanagitani
Proc. 2011 IEEE Ultrason. Symp. 2011年
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Polarization-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator
Masashi Suzuki and Takahiko Yanagitani
Proc. 2011 IEEE Ultrason. Symp 2011年
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Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films
Masashi Suzuki and Takahiko Yanagitani
Proc. 2010 IEEE Ultrason. Symp. 2010年
講演・口頭発表等
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Polarity inverted SiAlN/AlN film solid mounted resonators operating in high-overtone mode resonance 国際会議
44th Symposium on Ultrasonic Electronics 2023年11月
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High Overtone Mode Solid Mounted Resonators with Polarity Inverted Multilayered SiAlN/AlN Films 国際会議
2023 IEEE International Ultrasonics Symposium 2023年9月
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Piezoelectric characteristics of c-axis oriented GeAlN films and applications to polarity inverted film HBARs 国際会議
The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics 2022年11月
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分極反転 SiAlN/AlN GeAlN/AlN多層膜を用いた高次モード薄膜共振子の作製および評価
弾性波素子技術コンソーシアム第8回研究会 2022年9月
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次世代情報通信端末向け高周波数弾性表面波(SAW)フィルタの開発 招待
2021年度早稲田大学各務記念材料技術研究所オープンセミナー 2021年12月
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Theoretical analysis of Rayleigh SAW propagation characteristics on YbAlN films / high velocity substrates 国際会議
The 42nd Symposium on UltraSonic Electronics 2021年10月
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他元素（Si, Sc, Yb）ドープ AlN 圧電膜を用いた BAW・SAW デバイスの開発 招待
第５０回ＥＭシンポジウム 2021年9月
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Si添加による極性制御を用いた2層極性反転SiAlN/AlN膜音響共振子
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月
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Pt結晶膜上へのTa2O5圧電薄膜の成膜と評価
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月
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RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜のBAW・SAW特性
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月
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LiNbO3 や水晶を用いた同種材料接合構造におけるリーキーSAW の伝搬・共振特性
圧電材料・デバイスシンポジウム2021 2021年1月
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水熱合成(K,Na)NbO3 膜の電気機械結合係数の評価
圧電材料・デバイスシンポジウム2021 2021年1月
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LiTaO3/水晶接合構造におけるリーキーSAW 高調波の共振特性
圧電材料・デバイスシンポジウム2021 2021年1月
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Enhancement of Leaky SAW Harmonics Excitation Using Bonded Dissimilar Material Structures 国際会議
The 41st Symposium on Ultrasonic Electronics 2020年11月
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Analysis of Leaky Surface Acoustic Waves on Quartz Thin Plates Bonded to Similar-Material Substrate 国際会議
The 41st Symposium on Ultrasonic Electronics 2020年11月
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Increase of electromechanical coupling coefficient in c-axis oriented AlN films by chromium doping at low concentrations 国際会議
The 41st Symposium on Ultrasonic Electronics 2020年11月
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Shear-horizontal Surface Acoustic Wave on New Langasite-type Piezoelectric Single Crystal 国際会議
The 41st Symposium on Ultrasonic Electronics 2020年11月
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Evaluation of Electromechanical Coupling Coefficients of Hydrothermally Synthesized (K,Na)NbO3 Films 国際会議
The 41st Symposium on Ultrasonic Electronics 2020年11月
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異種材料接合構造を用いたリーキーSAW 高調波の強勢励振
第49回EMシンポジウム 2020年10月
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Cr ドープ c 軸配向 AlN 薄膜の圧電特性
第49回EMシンポジウム 2020年10月
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水熱合成(K, Na)NbO3膜の BAW・SAW 特性
第49回EMシンポジウム 2020年10月
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同種・異種材料接合構造におけるリーキーSAW の伝搬・共振特性
第49回EMシンポジウム 2020年10月
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水晶を用いた同種材料接合構造におけるリーキー SAWの解析
2020年電子情報通信学会ソサイエティ大会 2020年9月
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LiTaO3 と水晶の接合構造を用いたリーキー SAW共振子の高周波特性
2020年電子情報通信学会ソサイエティ大会 2020年9月
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Multilayer Piezoelectric ScAlN Film Transducers for Ultrasonic Microscopy in the VHF Range 国際会議
2020 IEEE International Ultrasonic Symposium 2020年9月
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ScAlN圧電層 / LiNbO3圧電基板での縦型リーキーSAW伝搬におけるオイラー角の検討
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月
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LiNbO3同種材料接合構造におけるリーキSAWの伝搬・共振特性
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月
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水熱合成(K,Na)NbO3膜の電気機械結合係数の評価
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月
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LiTaO3/水晶接合構造を用いたリーキーSAW高調波の強勢励振
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月
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Resonance Properties of Leaky SAW Harmonics on Bonded Dissimilar-Material Structures 国際会議
2020 IEEE International Ultrasonic Symposium 2020年9月
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Analysis of Leaky Surface Acoustic Wave Propagation Characteristics on Piezoelectric ScAlN Layer / Quartz Substrate 国際会議
2020 IEEE International Ultrasonic Symposium 2020年9月
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Leaky SAW Propagation Properties on LiNbO3 Thin Plate Bonded to Similar-Material Substrate 国際会議
2020 IEEE International Ultrasonic Symposium 2020年9月
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LiNbO3/SiO2/水晶構造におけるリーキーSAWの解析
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月
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LiTaO3・LiNbO3薄板を用いた同種材料接合構造における縦型リーキーSAWの解析
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月
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新規ランガサイト型圧電単結晶におけるラブ波型SH波の解析
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月
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異種材料接合構造上のリーキーSAW高調波の共振特性
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月
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Crドープがｃ軸配向AlN薄膜の結晶配向性と電気機械結合係数に及ぼす影響
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月
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RFマグネトロンスパッタ法により形成したc軸配向CrAlN膜の電気機械結合係数評価
圧電材料・デバイスシンポジウム2020 2020年1月
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異種材料接合構造におけるSAW高調波の振る舞い
圧電材料・デバイスシンポジウム2020 2020年1月
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同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析
圧電材料・デバイスシンポジウム2020 2020年1月
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Piezoelectric Characteristics of c-Axis Oriented CrAlN Films Grown by RF Magnetron Sputtering 国際会議
The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics 2019年11月
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Analysis of Leaky Surface Acoustic Waves on Similar-Material Bonded Structure 国際会議
The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics 2019年11月
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Propagation Properties of Leaky SAW on Water-loaded LiTaO3/Quartz Bonded Structure 国際会議
The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics 2019年11月
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Theoretical Analysis of Leaky SAW Propagation Characteristics on ScAlN film/Quartz 国際会議
The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics 2019年11月
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Analysis of Longitudinal Leaky SAW on LiNbO3/amorphous Layer/quartz Structure 国際会議
2019 IEEE Ultrasonics symposium 2019年10月
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Electromechanical Coupling Coefficient Kt2 of Cr Doped AlN Films Grown by Sputtering Deposition 国際会議
2019 IEEE Ultrasonics symposium 2019年10月
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LiNbO3同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月
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LiNbO3/SiO2/水晶構造におけるリーキーSAWの解析
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月
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ScAlN薄膜/回転Yカット水晶基板上LSAWにおける最適構造探索
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月
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ScAlN 圧電層/水晶基板上を伝搬する SAW 特性理論解析
第48回EMシンポジウム 2019年6月
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同種材料接合構造におけるリーキーSAW の解析
第48回EMシンポジウム 2019年6月
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LiNbO3/アモルファス層/水晶構造における縦型リーキーSAW の解析
第48回EMシンポジウム 2019年6月
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水負荷 LiTaO3/水晶接合構造上の漏洩弾性表面波の伝搬特性
第48回EMシンポジウム 2019年6月
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水負荷LiTaO3/水晶接合構造上の漏洩弾性表面波の伝搬特性
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月
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ScAlN薄膜/水晶基板上縦型リーキーSAWの伝搬減衰に速い横波，遅い横波成分が及ぼす影響の理論的検討
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月
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LiNbO3/アモルファス層/水晶構造における縦型リーキーSAWの解析
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月
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縦型リーキーSAWを用いたチャネル光導波路型音響光学変調素子
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月
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LiNbO3薄板接合構造上の縦型リーキー弾性表面波を用いた音響光学変調素子
電子回路研究会 ・テーマ「圧電材料・デバイスと応用」 2018年12月
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RFマグネトロンスパッタ法で形成したCr添加AlN膜の圧電特性
電子回路研究会 ・テーマ「圧電材料・デバイスと応用」 2018年12月
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圧電基板上に装荷したSiO2薄膜の直線集束ビーム超音波材料解析システムによる評価
電子回路研究会 ・テーマ「圧電材料・デバイスと応用」 2018年12月
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LiTaO3/水晶構造における縦型リーキーSAWの共振特性
電子回路研究会 ・テーマ「圧電材料・デバイスと応用」 2018年12月
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LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW特性の解析―支持基板の物理定数依存性―
電子回路研究会 ・テーマ「圧電材料・デバイスと応用」 2018年12月
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Evaluation of SiO2 Thin Film on Piezoelectric Substrate by the Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System 国際会議
The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics 2018年10月
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Theoretical analysis of longitudinal wave leaky SAW propagation characteristics on ScAlN film/Quartz or Sapphire substrate 国際会議
The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics 2018年10月
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Longitudinal Leaky SAW with Low Attenuation on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate 国際会議
The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics 2018年10月
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Acousto-Optic Modulators Driven by Longitudinal Leaky Surface Acoustic Waves on LiNbO3 Thin-Plate Bonded Structures 国際会議
The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics 2018年10月
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Evaluation of Piezoelectric Ta2O5 Thin Films Using Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System 国際会議
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium 2018年10月
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Theoretical analysis and design of longitudinal leaky SAW device consisting of ScAlN film / piezoelectric single crystal 国際会議
Masashi Suzuki, Naoya Sawada, Shoji Kakio
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium 2018年10月
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Longitudinal Leaky SAW with Low Attenuation on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate 国際会議
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium 2018年10月
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Acousto-Optic Modulator Driven by Longitudinal Leaky Surface Acoustic Waves on Bonded Structures 国際会議
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium 2018年10月
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導波路型音響光学変調器を用いた光子アハラノフ・ボーム効果の観測
平松 裕也、鈴木 雅視、垣尾 省司
2018年第79回応用物理学会秋季講演会 2018年9月
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LiTaO3/水晶構造における縦型リーキーSAW共振特性の解析 -スプリアス応答の電極膜厚依存性-
浅川 詩織、林 純貴、山谷 浩介、鈴木 雅視、垣尾 省司、桑江 博之、米内 敏文、岸田 和人、水野 潤
2018年第79回応用物理学会秋季講演会 2018年9月
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ScAlN薄膜/水晶基板上を伝搬する縦型リーキーSAWに水晶カット角とSAW伝搬方向が及ぼす影響
鈴木 雅視、澤田 直弥、垣尾 省司
2018年第79回応用物理学会秋季講演会 2018年9月
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スパッタ成膜法によるc軸配向CrAlN薄膜の形成と電気機械結合係数kt2評価
鈴木 雅視、早川竜盛、垣尾 省司
2018年第79回応用物理学会秋季講演会 2018年9月
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LN/水晶接合構造上の縦型リーキーSAWを用いた音響光学変調素子
波切 堅太郎、鈴木 雅視、垣尾 省司
2018年第79回応用物理学会秋季講演会 2018年9月
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直線集束ビーム超音波材料解析システムによるSiO2薄膜装荷36°YカットLiTaO3の評価
末永 凌大、鈴木 雅視、垣尾 省司、大橋 雄二、荒川 元孝、櫛引 淳一
2018年第79回応用物理学会秋季講演会 2018年9月
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LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW特性の解析 -支持基板の物理定数依存性-
林 純貴、浅川 詩織、鈴木 雅視、垣尾 省司、桑江 博之、米内 敏文、岸田 和人、水野 潤
2018年第79回応用物理学会秋季講演会 2018年9月
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縦型リーキー弾性表面波を用いた音響光学変調素子
第４7回EMシンポジウム 2018年6月
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直線集束ビーム超音波材料解析システムによる圧電性 Ta2O5薄膜の評価
第４7回EMシンポジウム 2018年6月
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LiNbO3・LiTaO3薄板と水晶基板の接合による縦型リーキー弾性表面波の低損失化
第４7回EMシンポジウム 2018年6月
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LiNbO3・LiTaO3薄板/水晶基板における縦型リーキーSAW特性の基板カット角依存性
第65回応用物理学会 春季学術講演会 2018年3月
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LN/サファイア接合構造上の縦型リーキーSAWを用いた音響光学変調素子
波切 堅太郎、鈴木 雅視、垣尾 省司
第65回応用物理学会 春季学術講演会 2018年3月
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LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW共振特性の界面ボイドによる影響
第65回応用物理学会 春季学術講演会 2018年3月
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直線集束ビーム超音波材料解析システムによる圧電性Ta2O5薄膜の評価
第65回応用物理学会 春季学術講演会 2018年3月
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ScAlN薄膜/水晶基板またはサファイア基板構造における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析 重要な業績
第65回応用物理学会 春季学術講演会 2018年3月
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Simple and rapid measurement of hypersonic wave velocity by Brillouin scattering method 国際会議
The 38th symposium on Ultrasonic Electronics (USE2017) 2017年10月
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Theoretical Analysis of Longitudinal-type Leaky Surface Acoustic Wave on LiNbO3 with Oriented ScAlN Film 国際会議 重要な業績
The 38th symposium on Ultrasonic Electronics (USE2017) 2017年10月
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Propagation Properties of Leaky Surface Acoustic Wave on Water-loaded Piezoelectric Substrate 国際会議
The 38th symposium on Ultrasonic Electronics (USE2017) 2017年10月
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High Coupling and Highly Stable Leaky SAWs on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate 国際会議
The 38th symposium on Ultrasonic Electronics (USE2017) 2017年10月
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Acousto-optic and Electro-optic Modulators for Photonic Aharonov–Bohm Effect 国際会議
The 38th symposium on Ultrasonic Electronics (USE2017) 2017年10月
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Acousto-optic Bragg Diffraction Using Longitudinal-type Leaky SAW 国際会議
The 38th symposium on Ultrasonic Electronics (USE2017) 2017年10月
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High-Coupling Leaky SAWs on LiTaO3 Thin Plate Bonded to Quartz Substrate 国際会議
2017 IEEE International Ultrasonic Symposium 2017年9月
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ScAlN薄膜トランスデューサを用いたBrillouin散乱法の簡略化
第78回応用物理学会秋季講演会 2017年9月
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ScAlN薄膜/LiNbO3板構造における縦型リーキSAW伝搬特性の理論解析
第78回応用物理学会秋季講演会 2017年9月
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縦型漏洩弾性表面波を用いた音響光学ブラッグ回折
第78回応用物理学会秋季講演会 2017年9月
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LiNbO3薄板/水晶基板上の縦型リーキー弾性表面波の伝搬特性
第78回応用物理学会秋季講演会 2017年9月
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水負荷圧電基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性
第78回応用物理学会秋季講演会 2017年9月
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LiNbO3・LiTaO3薄板と水晶基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化
第４６回EMシンポジウム 2017年6月
産業財産権
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高周波フィルタ
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圧電体薄膜及びそれを用いた圧電素子
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薄膜共振子
柳谷隆彦, 鈴木雅視, 渡辺好章
受賞
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電気学会 2018年電子・情報・システム部門 技術委員会奨励賞
2019年4月 電気学会 RFマグネトロンスパッタ法で形成したCr添加AlN膜の圧電特性
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超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウムUSE2014奨励賞
2014年
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第34回応用物理学会講演奨励賞
2013年
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日本音響学会 第5回 学生優秀発表賞
2012年
担当授業科目（学内）
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電気応用実験
2017年度
指導実績
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2023年度
種別：修士（専攻科Bコース）学位論文指導
指導人数 ：1人
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2023年度
種別：学部（専攻科Aコース）卒業論文指導
指導人数 ：1人
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2022年度
種別：修士（専攻科Bコース）学位論文指導
指導人数 ：1人
卒業／修了／学位取得人数 ：1人
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2022年度
種別：学部（専攻科Aコース）卒業論文指導
指導人数 ：1人
卒業／修了／学位取得人数 ：1人
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2021年度
種別：学部（専攻科Aコース）卒業論文指導
指導人数 ：1人
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2021年度
種別：修士（専攻科Bコース）学位論文指導
指導人数 ：2人
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2020年度
種別：学部（専攻科Aコース）卒業論文指導
指導人数 ：1人
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2020年度
種別：修士（専攻科Bコース）学位論文指導
指導人数 ：1人
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2019年度
種別：学部（専攻科Aコース）卒業論文指導
指導人数 ：1人
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2018年度
種別：学部（専攻科Aコース）卒業論文指導 期間：12ヶ月
指導人数 ：2人
卒業／修了／学位取得人数 ：2人
担当教員数：2人
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2017年度
種別：学部（専攻科Aコース）卒業論文指導 期間：12ヶ月
指導人数 ：1人
卒業／修了／学位取得人数 ：1人
担当教員数：2人
その他の学部学生指導
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2020年度
クラス担任（期間）： 2020年 - 2023年
外部発表指導の実績
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2023年度
日本語論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：4人
英語 論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：2人
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2022年度
日本語論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：4人
英語 論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：1人
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2021年度
日本語論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：5人
英語 論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：4人
英語 論文発表指導・学術論文 （指導人数）：1人
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2020年度
日本語論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：3人
英語 論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：1人
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2019年度
日本語論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：1人
英語 論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：1人
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2017年度
日本語論文発表指導・口頭発表 （指導人数）：1人
社会貢献活動
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電気学会東京支部山梨支所主催こどもサイエンス教室
役割：講師
2023年3月
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甲府昭和高校での高大連携講座
役割：講師
甲府昭和高校 2022年7月
所属学協会
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応用物理学会
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IEEE
委員歴
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EMシンポジウム EM委員会
2021年4月 - 現在
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圧電材料・デバイスシンポジウム 圧電材料・デバイスシンポジウム 運営委員
2020年12月 - 現在
団体区分：学協会